요약 | 플래쉬 램프를 이용한 그래핀 제조방법, 제조장치 및 이를 이용하여 제조된 그래핀이 제공된다. 본 발명에 따른 그래핀 제조장치는 기판; 상기 기판의 일 측면으로 반응가스가 유입되는 유입부; 상기 유입된 반응가스가 상기 기판의 타 측면으로 배출되는 배출부; 및 상기 기판으로부터 이격되어 상기 기판에 빛을 조사하기 위한 플래쉬 램프를 포함하는 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따른 그래핀 제조방법 및 장치는 대면적으로 조사되는 플래쉬 램프의 열을 이용, 그래핀 성장가스를 반응시켜 기판 상에 그래핀을 성장시킨다. 따라서, 종래 기술에 비하여 보다 경제적인 방식으로, 대면적의 그래핀 제조가 가능하다. |
---|---|
Int. CL | B01J 19/08 (2006.01) C01B 31/02 (2006.01) C23C 16/26 (2006.01) |
CPC | C01B 32/184(2013.01) C01B 32/184(2013.01) C01B 32/184(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020100091640 (2010.09.17) |
출원인 | 한국과학기술원 |
등록번호/일자 | 10-1198482-0000 (2012.10.31) |
공개번호/일자 | 10-2012-0029684 (2012.03.27) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20121106) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | 1020120043977; |
심사청구여부/일자 | Y (2010.09.17) |
심사청구항수 | 5 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국과학기술원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 이건재 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
2 | 최인성 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 특허법인 다해 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 삼성로***, *층(삼성동,고운빌딩) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국과학기술원 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2010.09.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0607618-58 |
2 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2012.02.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0119326-89 |
3 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2012.04.26 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2012-0335282-22 |
4 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2012.04.26 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0335281-87 |
5 | [분할출원]특허출원서 [Divisional Application] Patent Application |
2012.04.26 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0335220-13 |
6 | 등록결정서 Decision to grant |
2012.10.24 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0635904-28 |
7 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
8 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
9 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
번호 | 청구항 |
---|---|
1 |
1 그래핀 제조방법으로 기판 상에 금속층을 적층하는 단계;상기 금속층 표면 상에 반응가스를 접촉시키는 단계; 및반응가스가 접촉된 금속층 표면 상에 플래쉬 램프로 빛을 조사하여, 가열하는 단계를 포함하며, 여기에서 플래쉬 램프는 복수 개이며, 상기 복수 개의 플래쉬 램프에 의하여 조사되는 빛은 상기 금속층의 모든 영역에 도달하는 것을 특징으로 하는 그래핀 제조방법 |
2 |
2 제 1항에 있어서, 상기 플래쉬 램프로부터 조사된 빛 중 일부는 상기 플래쉬 램프 후면에 구비된 곡면 거울에 의하여 반사되어, 상기 금속층에 조사되는 것을 특징으로 하는 그래핀 제조방법 |
3 |
3 제 2항에 있어서, 상기 반응가스는 메탄 및 수소를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 제조방법 |
4 |
4 제 1항에 있어서, 상기 금속층은 구리 또는 니켈을 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 제조방법 |
5 |
5 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 따른 방법에 의하여 제조된 그래핀 |
6 |
6 삭제 |
7 |
7 삭제 |
8 |
8 삭제 |
9 |
9 삭제 |
10 |
10 삭제 |
11 |
11 삭제 |
12 |
12 삭제 |
13 |
13 삭제 |
14 |
14 삭제 |
15 |
15 삭제 |
16 |
16 삭제 |
17 |
17 삭제 |
지정국 정보가 없습니다 |
---|
순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
---|---|---|---|---|
1 | KR101172625 | KR | 대한민국 | FAMILY |
2 | KR101260606 | KR | 대한민국 | FAMILY |
3 | KR1020120053489 | KR | 대한민국 | FAMILY |
4 | WO2012036537 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | FAMILY |
5 | WO2012036537 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | FAMILY |
순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
---|---|---|---|---|
DOCDB 패밀리 정보가 없습니다 |
국가 R&D 정보가 없습니다. |
---|
특허 등록번호 | 10-1198482-0000 |
---|
표시번호 | 사항 |
---|---|
1 |
출원 연월일 : 20100917 출원 번호 : 1020100091640 공고 연월일 : 20121106 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20121024 청구범위의 항수 : 5 유별 : C01B 31/02 발명의 명칭 : 플래쉬 램프를 이용한 그래핀 제조장치, 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 그래핀 존속기간(예정)만료일 : 20191101 |
순위번호 | 사항 |
---|---|
1 |
(권리자) 한국과학기술원 대전광역시 유성구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 120,000 원 | 2012년 10월 31일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 105,000 원 | 2015년 09월 30일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 105,000 원 | 2016년 10월 04일 | 납입 |
제 6 년분 | 금 액 | 105,000 원 | 2017년 09월 28일 | 납입 |
제 7 년분 | 금 액 | 145,000 원 | 2018년 10월 02일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 | 2010.09.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0607618-58 |
2 | 의견제출통지서 | 2012.02.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0119326-89 |
3 | [명세서등 보정]보정서 | 2012.04.26 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2012-0335282-22 |
4 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2012.04.26 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0335281-87 |
5 | [분할출원]특허출원서 | 2012.04.26 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0335220-13 |
6 | 등록결정서 | 2012.10.24 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0635904-28 |
7 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
8 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
9 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
기술번호 | KST2014046883 |
---|---|
자료제공기관 | NTB |
기술공급기관 | 한국과학기술원 |
기술명 | 플래쉬 램프를 이용한 그래핀 제조장치, 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 그래핀 |
기술개요 |
플래쉬 램프를 이용한 그래핀 제조방법, 제조장치 및 이를 이용하여 제조된 그래핀이 제공된다. 본 발명에 따른 그래핀 제조장치는 기판; 상기 기판의 일 측면으로 반응가스가 유입되는 유입부; 상기 유입된 반응가스가 상기 기판의 타 측면으로 배출되는 배출부; 및 상기 기판으로부터 이격되어 상기 기판에 빛을 조사하기 위한 플래쉬 램프를 포함하는 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따른 그래핀 제조방법 및 장치는 대면적으로 조사되는 플래쉬 램프의 열을 이용, 그래핀 성장가스를 반응시켜 기판 상에 그래핀을 성장시킨다. 따라서, 종래 기술에 비하여 보다 경제적인 방식으로, 대면적의 그래핀 제조가 가능하다. |
개발상태 | 기술개발완료 |
기술의 우수성 | |
응용분야 | 기타 분자 화학공정 기술 |
시장규모 및 동향 | |
희망거래유형 | 기술매매,라이센스, |
사업화적용실적 | |
도입시고려사항 |
과제고유번호 | 1345166334 |
---|---|
세부과제번호 | 2010-0009903 |
연구과제명 | 플렉시블 디스플레이 신모드 개발 및 특성 향상 기술 연구 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
성과제출연도 | 2012 |
연구기간 | 200709~201602 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | IT(정보기술) |
과제고유번호 | 1345187049 |
---|---|
세부과제번호 | 2012R1A2A1A03010415 |
연구과제명 | 나노복합소재를 이용한 고효율 나노자가발전기 제작 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
성과제출연도 | 2012 |
연구기간 | 201205~201504 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
과제고유번호 | 1345121182 |
---|---|
세부과제번호 | 2010-0009903 |
연구과제명 | 플렉시블 디스플레이 신모드 개발 및 특성 향상 기술 연구 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
성과제출연도 | 2010 |
연구기간 | 200709~201602 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | IT(정보기술) |
[1020120139584] | 플렉서블 소자 제조방법, 이를 이용한 플렉서블 발광 다이오드 제조방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 발광 다이오드 | 새창보기 |
---|---|---|
[1020120135308] | 유기전계발광소자 분리방법, 이를 이용한 플렉서블 유기전계발광소자 제조방법, 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 유기전계발광소자 | 새창보기 |
[1020120127008] | 레이저를 이용한 소자 분리 방법, 플렉서블 소자 제조방법 | 새창보기 |
[1020120117368] | 광유전학용 GaN LED 소자 | 새창보기 |
[1020120107405] | 응력 완화에 의한 배터리 용량 증대 방법 및 이에 의하여 증대된 용량을 갖는 유연 배터리 | 새창보기 |
[1020120105120] | 플라스틱 전지소자 제조방법, 이에 따라 제조된 플라스틱 전지소자 | 새창보기 |
[1020120093852] | 다층 구조의 이차전지 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[1020120093023] | 블록공중합체 자기조립기술을 이용한 저항 변화 메모리 소자 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[1020120078872] | 플렉서블 압전소자를 이용한 전기발생장치 및 센서 네트워크 전원 공급 시스템 | 새창보기 |
[1020120049825] | 수용해성 접착제를 이용한 플렉서블 전자소자 제조방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 전자소자 | 새창보기 |
[1020120043977] | 플래쉬 램프를 이용한 그래핀 제조장치, 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 그래핀 | 새창보기 |
[1020120025179] | LCP를 이용한 플렉서블 전자소자 제조방법 및 이를 이용한 플렉서블 메모리 소자 제조방법 | 새창보기 |
[1020120014138] | 플렉서블 소자 제조방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 소자 | 새창보기 |
[1020120010649] | 절연 나노입자를 이용한 상변화 메모리 소자, 플렉서블 상변화 메모리 소자 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[1020120005866] | 광역학 치료용 플렉서블 광소자 제조방법 및 이에 따라 제조된 플렉서블 광소자 | 새창보기 |
[1020110112383] | 레이저를 이용한 그래핀 반도체 소자 제조방법, 이에 의하여 제조된 그래핀 반도체 소자, 및 그래핀 반도체 소자를 포함하는 그래핀 트랜지스터 | 새창보기 |
[1020110013514] | 플렉서블 질화갈륨 발광다이오드 제조방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 질화갈륨 발광다이오드 | 새창보기 |
[1020110012806] | LCP를 이용한 플렉서블 전자소자 제조방법 및 이를 이용한 플렉서블 메모리 소자 제조방법 | 새창보기 |
[1020110006115] | 레이저를 이용한 반도체 소자 제조방법, 이에 의햐여 제조된 그래핀 반도체 및 그래핀 트랜지스터 | 새창보기 |
[1020100121453] | 층상구조 기판을 이용한 플라스틱 태양전지 제조방법, 이에 따라 제조된 플라스틱 태양전지 | 새창보기 |
[1020100120111] | 플렉서블 나노제너레이터 제조방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 나노제너레이터 | 새창보기 |
[1020100111651] | 희생기판을 이용한 플라스틱 압전소자 제조방법, 이에 따라 제조된 플라스틱 압전소자 | 새창보기 |
[1020100111650] | 층상구조 기판을 이용한 플라스틱 소자 제조방법, 이에 따라 제조된 플라스틱 소자 | 새창보기 |
[1020100111319] | 플라스틱 전지소자 제조방법, 이에 따라 제조된 플라스틱 전지소자 | 새창보기 |
[1020100106426] | 레이저를 이용한 그래핀 특성 향상 방법, 이를 이용한 그래핀 제조방법, 이에 의하여 제조된 그래핀 | 새창보기 |
[1020100100610] | 플라스틱 바이오 센서 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[1020100099844] | 플라스틱 기반 바이오 센서 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[1020100098331] | 플렉서블 나노제너레이터 제조방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 나노제너레이터 | 새창보기 |
[1020100091640] | 플래쉬 램프를 이용한 그래핀 제조장치, 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 그래핀 | 새창보기 |
[1020100091600] | 레이저를 이용한 그래핀 반도체 소자 제조방법, 이에 의하여 제조된 그래핀 반도체 소자, 및 그래핀 반도체 소자를 포함하는 그래핀 트랜지스터 | 새창보기 |
[1020100091599] | 레이저를 이용한 그래핀 제조방법, 이에 의하여 제조된 그래핀, 이를 위한 제조장치 | 새창보기 |
[1020100091217] | 레이저를 이용한 그래핀 제조방법, 이에 의하여 제조된 그래핀, 이를 위한 제조장치 | 새창보기 |
[1020100036651] | 레이저를 이용한 플렉서블 바이오센서 및 이를 이용한 검출방법 | 새창보기 |
[1020100036650] | 실리카 결합물질을 이용한 플렉서블 바이오 센서 및 그 제조방법 및 이를 이용한 검출방법 | 새창보기 |
[1020100036649] | 금 결합물질을 이용한 플렉서블 바이오 센서 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[1020100009076] | 열구동 전자종이화면 장치 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015119262][한국과학기술원] | 탄소나노시트의 분산방법 | 새창보기 |
---|---|---|
[KST2015113148][한국과학기술원] | 마이크로웨이브를 이용한 금속성 탄소나노튜브의 분리방법 | 새창보기 |
[KST2015112973][한국과학기술원] | 단일 탄소나노입자를 포함하는 형광-탄소나노입자 및 그제조방법 | 새창보기 |
[KST2015119307][한국과학기술원] | 플래쉬 램프를 이용한 그래핀 제조장치, 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 그래핀 | 새창보기 |
[KST2015117770][한국과학기술원] | 액적을 이용한 3차원 그래핀 제조방법 및 이에 의하여 제조된 3차원 그래핀 | 새창보기 |
[KST2014067355][한국과학기술원] | 질병 진단용 날숨센서 | 새창보기 |
[KST2015115185][한국과학기술원] | 탄소나노구조체를 이용한 코어-쉘 혼성 구조체 제조방법, 이에 이하여 제조된 탄소나노튜브-이산화티탄 코어-쉘 구조체 | 새창보기 |
[KST2015115651][한국과학기술원] | 탄소나노튜브/금속 나노복합소재 및 이의 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015115157][한국과학기술원] | 플래쉬 램프 및 이온 임플란테이션 기술을 이용한 그래핀 제조방법, 이에 의하여 제조된 그래핀, 이를 위한 제조장치 | 새창보기 |
[KST2014046880][한국과학기술원] | 레이저를 이용한 그래핀 제조방법, 이에 의하여 제조된 그래핀, 이를 위한 제조장치 | 새창보기 |
[KST2015113760][한국과학기술원] | 형광 나노입자 결합형 나노튜브 캔틸레버 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015116510][한국과학기술원] | 플래티늄 나노입자-자성 나노입자-산화 그래핀 혼성체 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015116897][한국과학기술원] | 폴리도파민 유도 플라즈모닉 나노하이브리드를 이용한 보조인자 재생방법 | 새창보기 |
[KST2015115679][한국과학기술원] | 탄소나노튜브/금속 나노복합소재 및 이의 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015112334][한국과학기술원] | 탄소나노튜브 제조 방법 및 장치 | 새창보기 |
[KST2015115311][한국과학기술원] | 그래핀-탄소나노튜브 나노 구조체 및 그 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2015115156][한국과학기술원] | 레이저 및 이온 임플란테이션 기술을 이용한 그래핀 제조방법, 이에 의하여 제조된 그래핀, 이를 위한 제조장치 | 새창보기 |
[KST2015119475][한국과학기술원] | 레이저를 이용한 그래핀 제조방법, 이에 의하여 제조된 그래핀, 이를 위한 제조장치 | 새창보기 |
[KST2015114530][한국과학기술원] | 음각화된 패턴을 포함한 탄성막을 이용한 다양한 모양의 콜로이드 광결정 입자의 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015114631][한국과학기술원] | 직경이 조절된 탄소 나노튜브 분자체의 제조방법 및 그 응용 | 새창보기 |
[KST2015118854][한국과학기술원] | 탄소 나노 튜브를 함유한 전자파 차폐필름 및 이를 이용한 전자파 차폐재 | 새창보기 |
[KST2015115548][한국과학기술원] | 다중 진공 여과 방법을 이용한 단일벽 탄소나노튜브 포화 흡수체 제작법 | 새창보기 |
[KST2015115162][한국과학기술원] | 환원 그래핀 산화물-금속 나노입자 복합필름의 제조방법, 이에 의하여 제조된 환원 그래핀 산화물-금속 나노입자 복합필름 및 이를 이용한 바이오센서 | 새창보기 |
[KST2015118252][한국과학기술원] | 전이금속 나노촉매의 활성화 방법 | 새창보기 |
[KST2015115155][한국과학기술원] | 플래쉬 램프를 이용한 그래핀 제조장치, 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 그래핀 반도체 소자 | 새창보기 |
[KST2019009531][한국과학기술원] | 핫전자 기반의 산화물-금속 하이브리드 역촉매 | 새창보기 |
[KST2015115028][한국과학기술원] | 폴리(아릴렌 에테르)계 고분자가 부착된 탄소 나노튜브의 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015114168][한국과학기술원] | 레이저를 이용한 그래핀 특성 향상 방법, 이를 이용한 그래핀 제조방법, 이에 의하여 제조된 그래핀 | 새창보기 |
[KST2015116955][한국과학기술원] | 탄소나노소재, 탄소나노소재-고분자 복합소재, 탄소섬유-탄소나노소재-고분자 복합소재, 및 이들의 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2014063938][한국과학기술원] | 새집증후군 유해가스 검출용 초고감도 나노섬유 센서 | 새창보기 |
심판사항 정보가 없습니다 |
---|