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희생기판을 이용한 플라스틱 압전소자 제조방법, 이에 따라 제조된 플라스틱 압전소자

  • 기술번호 : KST2014047096
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 희생기판을 이용한 플라스틱 압전소자 제조방법, 이에 따라 제조된 플라스틱 압전소자가 제공된다. 본 발명에 따른 플렉서블 압전소자 제조방방법은 희생기판 상에 압전소자를 제조하는 단계; 상기 희생기판을 제거한 후, 상기 압전소자를 플라스틱 기판으로 옮기는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 41/22 (2006.01)
CPC H01L 41/313(2013.01) H01L 41/313(2013.01) H01L 41/313(2013.01) H01L 41/313(2013.01)
출원번호/일자 1020100111651 (2010.11.10)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1203176-0000 (2012.11.14)
공개번호/일자 10-2012-0050241 (2012.05.18) 문서열기
공고번호/일자 (20121120) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.11.10)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이건재 대한민국 대전광역시 유성구
2 구민 대한민국 경기도 부천시 오정구
3 박귀일 대한민국 경상북도 구미시
4 황건태 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 다해 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로***, *층(삼성동,고운빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.11.10 수리 (Accepted) 1-1-2010-0734454-13
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.09.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.10.20 수리 (Accepted) 9-1-2011-0085101-54
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.02.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0099609-35
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2012.04.23 수리 (Accepted) 1-1-2012-0323213-67
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.04.27 수리 (Accepted) 1-1-2012-0339743-62
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.04.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0339744-18
8 등록결정서
Decision to grant		 2012.10.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0648415-18
9 [일부 청구항 포기]취하(포기)서
[Abandonment of Partial Claims] Request for Withdrawal (Abandonment)		 2012.11.14 수리 (Accepted) 2-1-2012-0549484-35
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
플라스틱 기판상에 제조된 압전소자 제조방법으로, 상기 방법은 층상구조로 이루어진 희생기판상에 압전소자를 제조하는 단계; 상기 희생기판의 층을 순차적으로 기계적인 방식으로 박리시키는 단계; 및 상기 압전소자를 플라스틱 기판으로 옮기는 단계를 포함하며, 여기에서 상기 압전소자를 상기 플라스틱 기판으로 옮기는 단계는, 상기 희생기판의 층을 기계적인 방식으로 순차적으로 박리시키는 단계 이전, 상기 압전소자의 상부에 전사기판을 접합시키는 단계; 상기 희생기판의 층을 순차적으로 기계적인 방식으로 박리시키는 단계 이후, 상기 전사기판에 접합된 압전소자를 상기 플라스틱 기판으로 옮기는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 압전소자 제조방법
2 2
삭제
3 3
제 1항에 있어서, 층상구조로 이루어진 상기 희생기판은 운모기판인 것을 특징으로 하는 압전소자 제조방법
4 4
삭제
5 5
제 3항에 있어서, 상기 기계적인 방식은 접착용 테이프를 상기 운모기판에 붙인 후, 떼어내는 방식인 것을 특징으로 하는 압전소자 제조방법
6 6
청구항 6은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
7 7
제 1항에 있어서, 상기 압전소자는 순차적으로 적층된 하부전극-압전물질층-상부전극으로 이루어진 것을 특징으로 하는 압전소자 제조방법
8 8
청구항 8은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
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12 12
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR101207075 KR 대한민국 FAMILY
2 KR101336196 KR 대한민국 FAMILY
3 KR101340060 KR 대한민국 FAMILY
4 WO2012047071 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY
5 WO2012047071 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY
6 WO2012047071 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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