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미세먼지 감지장치 및 이를 이용한 미세먼지 검출방법

  • 기술번호 : KST2014060008
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 정전기력을 이용하여 미세먼지를 흡착하는 멤스 센서부; 상기 멤스 센서부에 부착되며, 상기 멤스 센서부를 공진시키는 구동부; 및 상기 멤스 센서부에 흡착된 상기 미세먼지로 인한 상기 센서부의 변위를 이용하여 상기 미세먼지의 질량을 검출하는 광 간섭계;를 포함하는 미세먼지 감지장치 및 이를 이용한 미세먼지 검출방법이 개시된다. 상기의 멤스 센서부에 의하여 실시간으로 미세먼지를 검출할 수 있으며, 미세먼지를 측정하기 위한 장치를 소형화하여 이동성을 증대시킬 수 있다. 정전기력, 멤스, 미세먼지, 광간섭계
Int. CL B81B 7/02 (2017.01.01) G01N 15/14 (2006.01.01) G02B 27/00 (2006.01.01) B81B 7/00 (2017.01.01)
CPC B81B 7/02(2013.01) B81B 7/02(2013.01) B81B 7/02(2013.01) B81B 7/02(2013.01) B81B 7/02(2013.01)
출원번호/일자 1020090071666 (2009.08.04)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1243645-0000 (2013.03.08)
공개번호/일자 10-2011-0013951 (2011.02.10) 문서열기
공고번호/일자 (20130325) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.11.14)
심사청구항수 20

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박봉현 대한민국 서울특별시 송파구
2 이승백 대한민국 경기도 용인시 기흥구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유병욱 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로**길* 백년빌딩*층(세연특허법률사무소)
2 한승범 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로**길* (역삼동) 백년빌딩 *층(세연특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 서울특별시 성동구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.08.04 수리 (Accepted) 1-1-2009-0476964-87
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2010.02.02 수리 (Accepted) 1-1-2010-0072790-99
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2011.11.14 수리 (Accepted) 1-1-2011-0895472-45
4 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2011.11.14 수리 (Accepted) 1-1-2011-0895148-67
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.09.21 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.11.06 수리 (Accepted) 9-1-2012-0082366-55
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.12.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0777137-12
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.02.18 수리 (Accepted) 1-1-2013-0140353-93
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.02.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0140354-38
10 등록결정서
Decision to grant		 2013.03.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0159286-12
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2014-5068294-39
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5022074-70
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
삭제
2 2
정전기력을 이용하여 미세먼지를 흡착하는 멤스(MEMS) 센서부;상기 멤스 센서부에 부착되며, 상기 멤스 센서부를 공진시키는 구동부; 및상기 멤스 센서부에 흡착된 상기 미세먼지로 인한 상기 센서부의 변위를 이용하여 상기 미세먼지의 질량을 검출하는 광 간섭계;를 포함하며,상기 멤스 센서부는 멤스 구조물 및 상기 멤스 구조물에 부착되어 정전기력을 발생시키는 흡착 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 미세먼지 감지장치
3 3
제2항에 있어서,상기 구동부는 피에조 압전 홀더 및 상기 피에조 압전 홀더에 전기적 에너지를 공급하는 피에조 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 미세먼지 감지장치
4 4
제3항에 있어서, 상기 피에조 전극은 상기 피에조 압전 홀더의 상부 또는 하부에 각각 부착되는 상부 전극 또는 하부 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 미세먼지 감지장치
5 5
제4항에 있어서,상기 피에조 전극에는 상기 멤스 센서부의 공진 주파수와 동일한 주파수의 정상파가 가해지는 것을 특징으로 하는 미세먼지 감지장치
6 6
제5항에 있어서,상기 광 간섭계는,상기 피에조 전극에 정상파를 가하는 파형 발생기;상기 멤스 구조물의 일단과 소정 간격을 두고 형성되는 광 커플러;상기 광 커플러에 빛을 공급하는 광 발생기;상기 멤스 구조물에 반사된 빛을 수신하는 광 검출기; 및상기 광 검출기에서 검출된 빛의 파장과 상기 파형 발생기에서 발생된 정상파의 파장을 비교하는 비교기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세먼지 감지장치
7 7
제6항에 있어서, 상기 광 발생기는 레이저를 발생시키는 레이저 다이오드이며, 상기 광 발생기는 상기 레이저 다이오드의 출력 또는 온도를 조절하는 컨트롤러에 연결된 것을 특징으로 하는 미세먼지 감지장치
8 8
제6항에 있어서,상기 비교기는 상기 광 검출기에서 검출된 파형과 상기 파형 발생기에서 발생된 파형을 비교하여 진폭 및 위상을 검출하고, 두 파형의 차이가 보상되도록 상기 파형 발생기에 신호를 보내는 것을 특징으로 하는 미세먼지 감지장치
9 9
제6항에 있어서,상기 광 커플러는 상기 멤스 구조물의 일단과 소정 간격을 두고 제공되는 도파관 또는 광 섬유를 포함하며,상기 광 검출기에서 검출되는 파형은 상기 멤스 구조물의 일단과 상기 도파관 또는 상기 광 섬유 사이의 거리를 나타내는 것을 특징으로 하는 미세먼지 감지장치
10 10
제9항에 있어서,상기 광 간섭계는 상기 미세먼지가 상기 멤스 구조물에 흡착하여 상기 멤스 구조물과 상기 도파관 또는 상기 광 섬유 사이 거리 변화의 광 경로차를 통하여 측정하는 것을 특징으로 하는 미세먼지 감지장치
11 11
제10항에 있어서,상기 광 경로차의 측정은 상기 비교기를 통하여 검출하고,상기 비교기는 록 인 증폭기, 오실로스코프 또는 멀티미터 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 미세먼지 감지장치
12 12
제2항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,상기 멤스 구조물은 캔티레버(cantilever), 브리지(bridge), 사면형 브리지 또는 박막 중 어느 하나의 형태인 것을 특징으로 하는 미세먼지 감지장치
13 13
제12항에 있어서,상기 캔티레버, 상기 브리지 또는 상기 사면형 브리지에는 패들이 형성된 것을 특징으로 하는 미세먼지 감지장치
14 14
제13항에 있어서,상기 패들은 사각형, 원형 또는 다각형 형상으로 형성되어 미세먼지 흡착을 증대시키는 것을 특징으로 하는 미세먼지 감지장치
15 15
제12항에 있어서,상기 흡착 전극은 상기 멤스 구조물에 증착된 금속막 또는 도핑(doping)에 의해서 형성된 것을 특징으로 하는 미세먼지 감지장치
16 16
제15항에 있어서,상기 흡착 전극의 표면에는 습도의 영향을 조절하도록 화학 처리된 것을 특징으로 하는 미세먼지 감지장치
17 17
제12항에 있어서,상기 센서부와 상기 구동부 사이에는 절연을 위한 유전층이 형성된 것을 특징으로 하는 미세먼지 감지장치
18 18
제6항에 따른 미세먼지 감지장치를 이용한 미세먼지 검출방법에 있어서,상기 멤스 구조물의 공진 주파수와 동일 주파수의 정상파를 상기 피에조 전극에 가하여 상기 멤스 구조물을 공진시키는 단계;상기 흡착 전극에 전계를 가하여 발생한 정전기력에 의해 미세먼지를 흡착하는 단계;상기 광 발생기에서 상기 광 커플러로 빛을 보내는 단계;상기 멤스 구조물에서 반사된 빛을 상기 광 검출기에서 수광 하는 단계;상기 광 커플러에서 상기 멤스 구조물로 보내진 빛과 상기 멤스 구조물에서 반사되어 상기 광 검출기로 보내진 빛을 비교하여 진폭 또는 위상을 검출하는 단계; 및상기 진폭 또는 위상을 검출하는 단계에서 검출된 파형의 차이만큼 보상하는 단계;를 포함하는 미세먼지 검출방법
19 19
제18항에 있어서,상기 진폭 또는 위상을 검출하는 단계는 상기 멤스 구조물과 상기 광 커플러 사이의 거리 변화에 따른 광 경로차를 이용하는 것을 특징으로 하는 미세먼지 검출방법
20 20
제18항에 있어서,상기 진폭 또는 위상을 검출하는 단계는 검출된 진폭 또는 위상으로부터 흡착된 미세먼지의 질량 또는 크기를 추출하는 것을 특징으로 하는 미세먼지 검출방법
21 21
제18항에 있어서,상기 빛을 보내는 단계는 상기 광 검출기에서 얻어지는 파형이 가장 큰 정상파가 되도록 빛의 출력 및 온도 컨트롤에 의해 빛의 파장을 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세먼지 검출방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한양대학교 The International Research and Development Program The International Research and Development Program