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임의 형상물체의 표면형상을 계측하는 측정시스템에 있어서 상기 측정시스템은 광원부(500), 검출부(530), 중앙처리부(560)로 구성되고, 상기 광원부(500)는 두 개의 점광원이 가설된 다수개의 광프로브와, 상기 점광원에 빛을 공급하는 광원(501)과, 상기 광원으로부터 광분배기로 입력되는 광을 조절하는 광스위치(502)와, 상기 광스위치(502)로부터 입력된 광을 광프로브에 분배하는 광분배기와, 상기 광분배기로부터 분배된 두개의 광원중에 하나의 위상을 변화시키는 위상변환수단(506,507,508)으로 구성되며, 상기 검출부(530)는 상기 점광원을 측정대상 물체에 조사하여 상기 물체에 생성되는 간섭무늬를 획득하는 검출수단과, 상기 검출수단을 제어하는 검출수단제어부로 구성되고, 중앙처리부(560)는 측정결과를 연산하는 연산부(564), 측정결과를 디스플레이 하는 영상처리부(565), 상기 광스위치(502)를 제어하는 광스위치 제어부(562), 상기 위상변환수단(506,507,508)을 제어하는 위상변환제어부(561) 및 시스템을 관장하는 중앙제어부(563)와로 구성되어 임의 형상물체의 표면형상을 계측하는 것을 특징으로 하는 멀티레터레이션에 근거한 점회절 광원을 이용한 측정시스템
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광원부(500), 검출부(530), 중앙처리부(560)로 구성되는 측정시스템에서 두 개의 점광원이 가설된 광프로브 3개를 사용하여 임의 형상물체의 표면형상을 계측하는데 있어서, 상기 중앙처리부의 연산부(564)에서 처리하는 과정은
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중앙처리부(560), 광원부(500) 검출부(530)로 구성되는 측정시스템에서 두 개의 점광원이 가설된 광프로브 6개를 사용하여 임의 형상물체의 표면형상을 계측하는데 있어서, 상기 중앙처리부의 연산부(564)에서 처리하는 과정은
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중앙처리부(560), 광원부(500) 검출부(530)로 구성되는 측정시스템에서 두 개의 점광원이 가설된 다수의 광프로브를 사용하여 임의 형상물체의 표면형상을 계측하는데 있어서, 측정기에 광프로브를 설치한 점광원의 좌표값과 초기위상차를 결정하는 1단계; 첫 번째 광프로브에서 임의 형상을 갖는 측정대상물체에 빛을 조사하여 간섭무늬를 생성하는 제2단계; 공지의 위상천이알고리즘을 사용하여 첫 번째 광프로브를 구성하는 두 점광원과 측정점의 광경로차를 산출하는 제3단계; 상기 제2단계와 제3단계를 모든 광프로브에 대해 수행하는 제4단계; 상기 산출된 거리를 연산하여 측정점(x, y, z)의 공간좌표를 결정하는 제5단계; 모든 측정점에 대해 상기 제2단계 내지 제5단계의 과정을 수행하여 모든 측정점의 공간좌표를 결정하는 제6단계; 로 구성되어 임의 형상물체의 표면형상을 계측하는 것을 특징으로 하는 멀티레터레이션에 근거한 점회절 광원을 이용한 형상 측정방법
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청구항 제 1항에 있어서 상기 중앙처리부(560)는 광프로브에 설치한 점광원의 좌표값과 초기위상차를 결정하고, 첫 번째 광프로브에서 임의 형상을 갖는 측정대상물체에 빛을 조사하여 간섭무늬를 생성하며, 공지의 위상천이알고리즘을 사용하여 첫 번째 광프로브를 구성하는 두 점광원과 측정점의 광경로차를 산출하도록 상기 각 구성을 제어하고, 모든 광프로브에서 순차적으로 측정대상물체에 빛을 조사하여 간섭무늬를 생성하여, 공지의 위상천이알고리즘을 사용하여 각각의 광프로브를 구성하는 두 점광원과 측정점의 광경로차를 산출하도록 상기 각 구성을 제어한 후, 중앙처리부(560)의 연산부(564)에서 상기 산출된 거리를 연산하여 모든 측정점의 공간좌표를 결정함으로써 임의 형상물체의 표면형상을 계측하는 것을 특징으로 하는 멀티레터레이션에 근거한 점회절 광원을 이용한 형상 측정시스템
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