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반도체 테스트 장치, 반도체 장치 및 반도체 테스트 방법

  • 기술번호 : KST2015118520
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 관통 전극을 포함하는 기판과 그 상부의 금속 배선층 사이의 정상 연결 여부, 관통 전극과 기판 사이의 절연 여부 등을 테스트할 수 있는 반도체 테스트 장치, 반도체 장치 및 반도체 테스트 방법에 관한 것이다.본 발명에 의한 반도체 테스트 장치는 제어 단자를 포함한 발진기 및 관통 전극 또는 상기 관통 전극과 연결된 금속 배선층과 상기 제어 단자를 선택적으로 연결하는 스위치를 포함한다.
Int. CL H01L 21/66 (2006.01) G01R 31/26 (2014.01)
CPC
출원번호/일자 1020120088725 (2012.08.14)
출원인 에스케이하이닉스 주식회사, 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2014-0022979 (2014.02.26) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.05.18)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이하이닉스 주식회사 대한민국 경기도 이천시
2 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박준서 대한민국 대전 서구
2 이준호 대한민국 경기 성남시 분당구
3 김정호 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김선종 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로 *** (서초동, 서초현대타워아파트) ****(김선종 특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이하이닉스 주식회사 대한민국 경기도 이천시
2 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.08.14 수리 (Accepted) 1-1-2012-0649572-99
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2012-5270171-92
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.04.27 수리 (Accepted) 4-1-2015-5055330-26
8 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2017.05.18 수리 (Accepted) 1-1-2017-0473831-75
9 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2017.07.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
10 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.09.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0133207-34
11 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.09.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0638580-26
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.10.31 수리 (Accepted) 1-1-2017-1081748-78
13 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.10.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-1081749-13
14 등록결정서
Decision to grant		 2018.03.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0170191-60
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
다수의 인버터를 포함하는 링 발진기;상기 링 발진기에서 출력되는 펄스를 카운팅하는 카운터;상기 다수의 인버터 중 어느 하나의 인버터의 출력 단자를 관통 전극에 선택적으로 연결하는 스위치; 및제 1 시간 동안 상기 스위치를 턴오프하고 제 2 시간 동안 상기 스위치를 턴온하되, 상기 제 1 시간 경과 후 상기 카운터의 제 1 출력과 상기 제 2 시간 경과 후 상기 카운터의 제 2 출력을 비교하여, 상기 제 1 출력과 상기 제 2 출력의 차이가 임계점보다 큰 경우 상기 관통 전극이 테스트를 통과한 것으로 판정하는 제어부를 포함하는 반도체 테스트 장치
2 2
다수의 인버터를 포함하는 링 발진기;상기 링 발진기에서 출력되는 펄스를 카운팅하는 카운터;각각 상기 다수의 인버터 중 어느 하나의 인버터의 출력 단자를 다수의 관통 전극 중 어느 하나의 관통 전극과 선택적으로 연결하는 다수의 스위치; 및제 1 시간 동안 상기 다수의 스위치 중 어느 하나의 스위치를 턴오프하고 제 2 시간 동안 상기 어느 하나의 스위치를 턴온하되, 상기 제 1 시간 경과 후 상기 카운터의 제 1 출력과 상기 제 2 시간 경과 후 상기 카운터의 제 2 출력을 비교하여, 상기 제 1 출력과 상기 제 2 출력의 차이가 임계점보다 큰 경우 상기 어느 하나의 스위치와 연결된 관통 전극이 테스트를 통과한 것으로 판정하는 제어부를 포함하는 반도체 테스트 장치
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반도체 기판;상기 반도체 기판에 형성된 관통 전극;다수의 인버터를 포함하는 링 발진기;상기 링 발진기에서 출력되는 펄스를 카운팅하는 카운터;상기 다수의 인버터 중 어느 하나의 인버터의 출력 단자를 상기 관통 전극에 선택적으로 연결하는 스위치; 및제 1 시간 동안 상기 스위치를 턴오프하고 제 2 시간 동안 상기 스위치를 턴온하되, 상기 제 1 시간 경과 후 상기 카운터의 제 1 출력과 상기 제 2 시간 경과 후 상기 카운터의 제 2 출력을 비교하여, 상기 제 1 출력과 상기 제 2 출력의 차이가 임계점보다 큰 경우 상기 관통 전극이 테스트를 통과한 것으로 판정하는 제어부를 포함하는 반도체 장치
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반도체 기판;상기 반도체 기판에 형성된 다수의 관통 전극;다수의 인버터를 포함하는 링 발진기;상기 링 발진기에서 출력되는 펄스를 카운팅하는 카운터;각각 상기 다수의 인버터 중 어느 하나의 인버터의 출력 단자를 상기 다수의 관통 전극 중 어느 하나의 관통 전극과 선택적으로 연결하는 다수의 스위치; 및제 1 시간 동안 상기 다수의 스위치 중 어느 하나의 스위치를 턴오프하고 제 2 시간 동안 상기 어느 하나의 스위치를 턴온하되, 상기 제 1 시간 경과 후 상기 카운터의 제 1 출력과 상기 제 2 시간 경과 후 상기 카운터의 제 2 출력을 비교하여, 상기 제 1 출력과 상기 제 2 출력의 차이가 임계점보다 큰 경우 상기 어느 하나의 스위치와 연결된 관통 전극이 테스트를 통과한 것으로 판정하는 제어부를 포함하는 반도체 장치
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순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US09459309 US 미국 FAMILY
2 US20140049284 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2014049284 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US9459309 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.