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기상 관측용 기압소자 및 이를 이용한 기압 측정 시스템

  • 기술번호 : KST2019024053
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기상 관측용 기압소자 및 이를 이용한 기압 측정 시스템에 있어서, 특히 고정밀 기압소자를 포함한 기상 관측에 적용되는 기압계를 제공하며, 아울러 기압소자에 에러상황이 발생하면 외부로 알려서 빠른 속도로 에러상황을 대처할 수 있도록 구성한 것을 특징으로 하는 기상 관측용 기압소자 및 이를 이용한 기압 측정 시스템에 관한 것으로,센서부(센서1, 센서2, ..., 센서n)와, 센서부의 데이터를 처리하는 데이터로거부와, 데이터처리부에서 처리된 기상정보 데이터는 광변환기를 통해 제공받고 원격 제어신호를 광변환기를 통해 출력하는 원격제어부 이루어지되; 상기 센서부는, 기압을 측정하기 위한 기압소자(100)와, 온도를 센싱하기 위한 온도센서(200)와, 상기 기압소자와 온도센서의 데이터를 디지털 신호로 변환하기 위한 아날로그디지털 컨버터(300)와, 디지탈 변환된 신호를 오차 보정하는 제어부(400)와, 상기 제어부의 제어신호에 따라 디지털 신호를 데이터 로거부로 전송하기 위한 저장 및 통신수단(500)과, 각 소자에 전원을 공급하기 위한 전원부(600)로 이루어지고; 상기 데이터 로거부는, 데이터로거, 터치패널, 광변환기로 구성하되, 데이터로거는 CPU, 메모리, 처리프로그램(응용 S/W)으로 구성되는 것이 특징이다.
Int. CL G01W 1/10 (2006.01.01) G01W 1/02 (2006.01.01) G01D 21/02 (2006.01.01) G01L 1/02 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/762 (2006.01.01) H01L 21/324 (2017.01.01) H01L 21/66 (2006.01.01)
CPC G01W 1/10(2013.01) G01W 1/10(2013.01) G01W 1/10(2013.01) G01W 1/10(2013.01) G01W 1/10(2013.01) G01W 1/10(2013.01) G01W 1/10(2013.01) G01W 1/10(2013.01)
출원번호/일자 1020160113789 (2016.09.05)
출원인 (주)파코코리아인더스, 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1814729-0000 (2017.12.27)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20180104) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.09.05)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 (주)파코코리아인더스 대한민국 서울특별시 금천구
2 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 송재혁 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 이규형 대한민국 경기도 군포시 용호*로 **, *
3 김주회 대한민국 경기도 파주시 쇠재로 *** *
4 최윤석 대한민국 서울특별시 강서구
5 배남호 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 민동식 대한민국 서울시 구로구 디지털로**길 ***, ***호 제이앤케이디지털타워(테크원국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 (주)파코코리아인더스 서울특별시 금천구
2 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.09.05 수리 (Accepted) 1-1-2016-0863147-11
2 직권정정안내서
Notification of Ex officio Correction
2016.09.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0132401-51
3 보정요구서
Request for Amendment
2016.09.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0132400-16
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2016.09.22 수리 (Accepted) 1-1-2016-0918889-37
5 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2016.10.13 수리 (Accepted) 1-1-2016-0992228-03
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.07.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.10.13 수리 (Accepted) 9-1-2017-0033815-00
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.10.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0755700-86
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.11.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-1096141-15
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.11.06 수리 (Accepted) 1-1-2017-1096123-04
11 등록결정서
Decision to grant
2017.12.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0899195-50
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
센서부(센서1, 센서2,
2 2
제 1 항에 있어서,상기 기압소자를 제조하기 위한 기판은 SOI Wafer 사용(Top Si 1
3 3
제 2 항에 있어서,전극 부분을 형성하기 위하여 스퍼터 장비로 타이타늄과 알루미늄을 증착 하고 마찬가지고 KrF Scanner 장비를 이용하여 전극 패터닝을 하고, 패터닝 후 식각 장비를 이용하여 알루미늄과 티타늄을 식각하여 이루어짐을 특징으로 하는 기상 관측용 기압소자 및 이를 이용한 기압 측정 시스템
4 4
제 2 항에 있어서,맴브레인 형성을 위해 Contact Aligner 장비를 이용해서 웨이퍼 뒷면 부분을 패터닝 하고 식각 장비를 이용하여 식각 하고, 패키지를 하기 위해 다이싱 장비를 이용해서 크기에 맞게 절단하여서 기압 센서를 제작한 것을 특징으로 하는 기상 관측용 기압소자 및 이를 이용한 기압 측정 시스템
5 5
삭제
6 6
제 1 항에 있어서,상기 제 1 회로 연결 스위치와 회로 작동용 철편 사이에 설치되어 미작동시 제 1 회로 연결 스위치와 회로 작동용 철편이 항상 오프상태를 유지하도록 유도하는 탄발 스프링(1133)과;상기 제 1 회로 연결 스위치의 일단에 설치되며 릴레이 스위치 작동시 회로 작동용 철편이 끌어당겨져 제 1 회로 연결 스위치가 스위칭되면 회로 작동용 철편을 부착시켜 릴레이 스위치의 작동이 멈추어도 전원 유지용 스위칭부의 온 상태를 지속시키는 영구자석(1134)과;상기 회로작동용 철편과 에러신호 출력 제어부 전원 연결용 철편에 결합되며, 경보신호 작동을 중단시키기 위해 사용자가 조작하면 회로 작동용 철편과 에러신호 출력 제어부 전원 연결용 철편을 오프시켜 에러신호 디스플레이부의 동작을 중단시킴으로서 더이상 경보신호가 출력되지 않토록 유도하는 수동 작동 스위치(1135)를 더 포함하여 구성함을 특징으로 하는 기상 관측용 기압소자 및 이를 이용한 기압 측정 시스템
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 기상청 (주)파코코리아인더스 기상산업지원 및 활용기술개발사업 기상용 정밀기압계 개발