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탄소나노튜브를 이용한 3극구조를 가지는 평판형전계방출램프 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015120844
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 탄소나노튜브를 이용한 3극구조를 가지는 평판형 전계방출램프 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 일정한 간격을 유지한 채 서로 대향하도록 배치된 배면기판 및 전면기판; 상기 배면기판 상에 스트라이프 형태로 형성된 캐소드전극; 상기 배면기판 상에 상기 캐소드전극과 교차하는 방향으로 스트라이프 형태로 형성된 그리드전극; 상기 두 기판의 간격을 유지하면서 그 내부를 진공밀봉하는 스페이서; 상기 전면기판 상의 전면(全面)에 형성된 애노드전극; 상기 애노드전극 상에 도포된 형광체; 상기 캐소드전극 및 애노드전극의 교차점에 대응하는 캐소드전극 상에 전자방출소자로서 형성된 카본나노튜브; 상기의 카본나노튜브로부터 방출되는 전자를 제어하기 위한 그리드; 상기 그리드를 배면기판 상에 있는 그리드전극과 접지시키는 전도성 페이스터를 가지는 구조를 가지는 3극형 전계방출램프에 관한 것이다. 또한, 상기의 배면기판과 상면기판을 진공실장함에 있어서 유리프릿으로된 스페이서 만을 사용하여 진공챔버내의 고진공 상태에서 진공 실장함으로서 배기용 세관이 없이 평판형으로 전계방출램프를 제조하는 것을 특징으로 한다탄소나노튜브, 3극구조, 그리드, 유리프릿, 전계방출램프, 실버페이스터
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) C01B 31/02 (2011.01) H01J 1/30 (2011.01)
CPC H01J 1/304(2013.01) H01J 1/304(2013.01)
출원번호/일자 1020020003098 (2002.01.18)
출원인 한국과학기술연구원, 한화나노텍 주식회사
등록번호/일자 10-0450025-0000 (2004.09.14)
공개번호/일자 10-2003-0062739 (2003.07.28) 문서열기
공고번호/일자 (20040924) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.01.18)
심사청구항수 23

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
2 한화나노텍 주식회사 대한민국 인천광역시 부평구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 주병권 대한민국 서울특별시 성북구
2 이덕중 대한민국 서울특별시 마포구
3 이윤희 대한민국 서울특별시 성북구
4 유재은 대한민국 서울특별시 성북구
5 김광윤 대한민국 서울특별시 노원구
6 서상희 대한민국 서울특별시 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
2 한화케미칼 주식회사 서울특별시 중구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2002.01.18 수리 (Accepted) 1-1-2002-0016325-14
2 공지예외적용주장대상(신규성,출원시의특례)증명서류제출서
Submission of Document Verifying Exclusion from Being Publically Known (Novelty, Special Provisions for Application)
2002.01.19 수리 (Accepted) 1-1-2002-5015694-06
3 전자문서첨부서류제출서
Submission of Attachment to Electronic Document
2002.01.19 수리 (Accepted) 1-1-2002-5015693-50
4 서지사항 보정서
Amendment to Bibliographic items
2002.02.02 수리 (Accepted) 1-1-2002-0035541-59
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2002.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2002-0020822-81
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2003.08.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2003.09.15 수리 (Accepted) 9-1-2003-0041254-34
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2003.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0472437-73
9 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2004.01.27 수리 (Accepted) 1-1-2004-0032348-08
10 의견서
Written Opinion
2004.02.27 수리 (Accepted) 1-1-2004-0083304-84
11 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.
2004.02.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2004-0083307-10
12 등록결정서
Decision to grant
2004.07.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0278653-67
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2007.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2007-5097954-03
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2009-5074211-95
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

일정한 간격으로 서로 대향되도록 배치된 배면기판 및 전면기판; 상기 배면기판 상에 스트라이프(stripe) 형태로 형성된 캐소드전극; 상기 배면기판 상에 상기 캐소드전극과 교차하는 방향으로 스트라이프 형태로 형성된 그리드전극; 상기 두 기판 사이의 간격을 유지하면서 그 내부공간을 진공·밀봉하는 스페이서; 상기 전면기판 상의 전면(全面)에 형성된 애노드전극; 상기 애노드전극 상에 도포된 형광체; 상기 캐소드전극 및 애노드전극의 교차점에 대응하는 캐소드전극 상에 전자방출소자로서 형성된 탄소나노튜브; 상기 탄소나노튜브로부터 방출되는 전자를 제어하기 위하여 상기 캐소드전극과 애노드전극 사이에 일정한 간격을 두고 배치된 그리드; 상기 그리드를 설치하기 위하여 상기 배면기판 상에 배치된 지지대; 상기 그리드를 배면기판 상에 위치된 그리드전극과 전기적으로 접지시키기 위해 상기 지지대 외측면에 도포된 전도성페이스터;

로 구성된 3극구조를 가진 전계방출램프

2 2

제 1 항에 있어서, 상기 배면기판 및 상면기판이 석영 또는 유리와 같이 투명한 물질로 되어 있는 3극 구조를 가진 전계방출램프

3 3

제 1 항에 있어서, 상기 캐소드전극과 그리드전극은 스트라이프 형상으로 서로 교차하는 방향으로 패터닝 되어있는 것을 특징으로 하는 3극 구조를 가진 전계방출램프

4 4

제 1 항에 있어서, 상기 캐소드전극의 표면은 주어진 인가전압에 의해 큰 전계를 유도시킬 수 있는 팁(tip)형으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 3극 구조를 가진 전계방출램프

5 5

제 1 항에 있어서, 상기 배면기판과 캐소드전극사이에 반응을 방지하는 절연성을 가진 물질이 증착되어 있는 것을 특징으로 하는 3극 구조를 가진 전계방출램프

6 6

제 1 항에 있어서, 상기 캐소드전극 상에는 코발트, 니켈, 철, 이트륨 또는 이들의 합금으로 구성된 일군으로부터 선택된 적어도 하나의 물질로 촉매금속막이 형성되어 탄소나노튜브의 형성을 촉진하는 것을 특징으로 하는 3극구조를 가진 전계방출형램프

7 7

제 6 항에 있어서, 촉매금속막 상에 촉매금속막을 선택적으로 노출하는 오프닝을 가지는 절연막 패턴을 형성하고, 탄소나노튜브는 상기 촉매금속막 상의 오프닝에 의해서 노출되는 부분상에 선택적으로 위치하는 것을 특징으로 하는 3극 구조를 가진 전계방출램프

8 8

제 1 항에 있어서, 상기 캐소드전극과 애노드전극 사이에는 스테인레스판을 미세식각하여 육각형 형태의 홀(hole)들을 가진 그리드가 배치된 것을 특징으로 하는 3극구조를 가진 전계방출램프

9 9

제 8 항에 있어서, 상기 그리드 상에 형성된 육각형의 직경은 0

10 10

제 1 항에 있어서, 상기 그리드와 전계방출소자와의 간격은 20㎛ 보다는 짧지 않고 500㎛ 보다는 길지 않으며, 그리드와 애노드 기판상에 형성되어 있는 형광체와의 간격은 50㎛이상으로 유지하는 것을 특징으로 하는 3극 구조를 가진 전계방출램프

11 11

제 1 항에 있어서, 상기 스페이서는 실런트로서의 역할도 동시에 수행할 수 있도록 설계되어 있는 것을 특징으로 하는 3극구조를 가진 전계방출램프

12 12

제 11 항에 있어서, 상기 스페이서는 PbO-SiO2를 주성분으로 하여 고온 열처리시 경화되는 유리프릿으로 이루어진 것을 특징으로 하는 3극구조를 가진 전계방출램프

13 13

제 12 항에 있어서, 상기 유리프릿은 300℃ 보다는 낮지 않고 450℃ 보다는 높지 않은 온도에서 고온 경화되는 것을 특징으로 하는 3극구조를 가진 전계방출램프

14 14

제 1 항에 있어서, 상기 지지대에는 그리드와 그리드전극을 전기적으로 접지시키기 위한 전도성 페이스터가 도포된 것을 특징으로 하는 3극구조를 가진 전계방출램프

15 15

제 1 항에 있어서, 상기 상면기판과 맞닿는 스페이서의 면은 일정한 형태로 가공되어 스페이서와 상면기판의 합착시 발생되는 가스가 기판사이의 이격공간 내부로 흘러드는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 3극구조를 가진 전계방출램프

16 16

제 15 항에 있어서, 상기 스페이서는 둥근형태 또는 뾰족한 형태로 말단부가 형성되는 것을 특징으로 하는 3극구조를 가진 전계방출램프

17 17

제 1 항에 있어서, 전계방출램프는 기판사이의 이격공간을 진공상태로 만들기 위한 배기용 세관이 없는 평판형인 것을 특징으로 하는 3극구조를 가진 전계방출램프

18 18

제 1 항에 있어서, 상기 그리드 위에 탄소나노튜브가 형성되어 방출 전자량을 증가시키는 것을 특징으로 하는 3극구조를 가진 전계방출램프

19 19

제 1 항에 있어서, 상기 탄소나노튜브는 금속으로 이루어진 그리드 상에 형성된 고온 성장된 탄소나노튜브인 것을 특징으로 하는 3극구조를 가진 전계방출램프

20 20

제 19 항에 있어서, 상기 배면기판상에 형성되어 있는 캐소드전극이 그리드 상에 형성된 탄소나노튜브에서 방출된 전자 및 형광체에서 방출되는 빛을 반사하는 것을 특징으로 하는 3극구조를 가진 전계방출램프

21 21

전계방출램프를 진공실장함에 있어서, 캐소드전극과 전계방출소자가 형성되어 있는 배면기판 및 애노드전극과 형광체가 형성되어 있는 상면기판을 진공챔버내의 고진공상태에서 가열하여 진공실장함으로써 배기용세관 없이 평판형으로 제조하는 것을 특징으로 하는 전계방출램프의 진공실장 방법

22 22

제 21 항에 있어서, 진공챔버내의 진공도는 1×10-6 Torr 이하로 유지되는 것을 특징으로 하는 전계방출램프의 진공실장 방법

23 23

제 21 항에 있어서, 배면기판과 상면기판사이의 이격공간 내에 가스를 흡착할 수 있는 게터(getter)를 배치함으로써 고온에서의 진공실장시 발생하는 가스를 제거하는 것을 특징으로 하는 진공실장 방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.