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기판을 구비하는 단계, 상기 기판 상하부에 각각 절연층과 보호층을 형성하는 단계, 기판 상부에 형성된 상기 절연층 위에 히터를 형성하고 히터와 연결되어 있는 히터전극을 형성하는 단계, 상기 히터 위에 절연층을 형성하는 단계, 상기 절연층 위에 전극라인과 탄소나노튜브전극을 형성하는 단계, 상기 탄소나노튜브전극 위에 촉매금속을 형성하는 단계, 기판의 하부를 비등방성 식각하여 다이아프램을 제작하는 단계, 탄소나노튜브를 성장시키는 단계, 홀이 가공되어 있는 캡으로 패키징하는 단계를 포함하는 탄소나노튜브 가스센서의 제작방법
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기판을 구비하는 단계,상기 기판을 식각하여 채널을 제작하는 단계,상기 기판 전체면에 절연층을 형성하는 단계,상기 채널 내부 양 측면에 히터를 증착하는 단계,기판 상부에 상기 히터와 연결되는 히터전극을 증착하는 단계,상기 채널 내부 양 측면의 히터 위에 절연층을 형성하는 단계,상기 채널 내부 양 측면의 절연층 위에 탄소나노튜브전극을 형성하는 단계,상기 채널 내부 양 측면의 탄소나노튜브전극 위에 촉매금속을 형성하는 단계,상기 채널 내부 양 측의 상기 탄소나노튜브전극 사이에 탄소나노튜브를 성장시키는 단계,홀이 가공되어 있는 캡으로 패키징하는 단계를 포함하는 탄소나노튜브 가스센서의 제작방법
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제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 절연층이 실리콘 산화막으로 이루어진 탄소나노튜브 가스센서의 제작방법
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제 1항에 있어서, 상기 보호층이 실리콘 질화막으로 이루어진 탄소나노튜브 가스센서의 제작방법
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제 1항에 있어서, 상기 기판 상하부의 절연층 및 보호층의 두께가 500 nm 이상인 탄소나노뷰트 가스센서의 제작방법
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제 2항에 있어서, 상기 절연층의 두께가 1 ㎛ 이하인 탄소나노튜브 가스센서의 제작방법
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7
제 1항에 있어서, 상기 히터가 스퍼터증착, 이온빔증착, 화학기상증착(CVD), 습식식각(wet etching) 또는 건식식각(dry etching) 공정을 이용하여 형성되는 탄소나노튜브 가스센서의 제작방법
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제 2항에 있어서, 상기 히터가 기판을 기울여 스퍼터 또는 E-빔(beam) 공정을 이용하여 형성되는 탄소나노튜브 가스센서의 제작방법
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제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 히터가 금속 또는 폴리실리콘으로 이루어진 탄소나노튜브 가스센서의 제작방법
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제 9항에 있어서, 상기 금속이 Pt, Ti 또는 Cr 중에서 선택된 탄소나노튜브 가스센서의 제작방법
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제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 히터의 두께가 0
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제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 히터전극이 Pt, Ti 또는 Cr 중에서 선택된 어느 하나의 금속으로 이루어진 탄소나노튜브 가스센서의 제작방법
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13
제 1항에 있어서, 상기 히터 위의 절연층의 두께가 히터 두께 이상인 탄소나노튜브 가스센서의 제작방법
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제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 탄소나노튜브전극이 양단의 전극이 일정한 길이로 마주보도록 형성되는 탄소나노뷰트 가스센서의 제작방법
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15
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 탄소나노튜브전극의 두께가 1 ㎛ 이하인 탄소나노튜브 가스센서의 제작방법
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제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 촉매금속이 리프트-오프 방식 또는 이온빔 리소그래피를 이용하여 형성되는 탄소나노튜브 가스센서의 제작방법
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17
제 16항에 있어서, 상기 촉매금속의 두께가 20 nm 이하인 탄소나노튜브 가스센서의 제작방법
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제 16항에 있어서, 상기 촉매금속이 Co, Ni 또는 Fe 중에서 선택된 탄소나노튜브 가스센서의 제작방법
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제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 탄소나노튜브가 열화학기상증착법(thermal CVD) 또는 플라즈마화학기상증착법(PECVD)을 이용하여 직접 성장하는 탄소나노튜브 가스센서의 제작방법
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제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 탄소나노튜브의 길이가 1 ㎛ 이상인 탄소나노튜브 가스센서의 제작방법
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제 1항에 있어서, 상기 탄소나노튜브가 수평 성장 또는 수직 성장하는 탄소나노튜브 가스센서의 제작방법
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제 2항에 있어서, 상기 탄소나노튜브가 벽면에 수직인 방향으로 수평 성장하는 탄소나노튜브 가스센서의 제작방법
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제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 캡이 유리 또는 플라스틱으로 이루어진 탄소나노튜브 가스센서의 제작방법
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기판 하부에 형성되어 있는 보호층, 다이아프램 구조로 제작되어 있는 기판, 상기 기판 상부에 형성되어 있는 절연층, 상기 절연층 위에 형성되어 있는 히터와 히터전극, 상기 히터 위에 형성되어 있는 절연층, 상기 절연층 위에 형성되어 있는 탄소나노튜브전극과 전극라인, 상기 탄소나노튜브전극 위에 형성되어 있는 촉매금속, 상기 촉매금속 위에 형성되어 있는 탄소나노튜브, 홀이 가공되어 있는 캡으로 이루어진 탄소나노튜브 가스센서
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채널을 포함하는 벌크 구조로 제작되어 있는 기판, 상기 기판 전체면에 형성되어 있는 절연층, 상기 채널 양면에 형성되어 있는 히터와 기판 상부에 형성되어 있는 히터전극, 상기 히터 위에 형성되어 있는 절연층, 상기 절연층 위에 형성되어 있는 탄소나노튜브전극과 촉매금속, 상기 채널 양쪽의 탄소나노튜브전극 사이에 형성되어 있는 탄소나노튜브, 홀이 가공되어 있는 캡으로 이루어진 탄소나노튜브 가스센서
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채널을 포함하는 벌크 구조로 제작되어 있는 기판, 상기 기판 전체면에 형성되어 있는 절연층, 상기 채널 양면에 형성되어 있는 히터와 기판 상부에 형성되어 있는 히터전극, 상기 히터 위에 형성되어 있는 절연층, 상기 절연층 위에 형성되어 있는 탄소나노튜브전극과 촉매금속, 상기 채널 양쪽의 탄소나노튜브전극 사이에 형성되어 있는 탄소나노튜브, 홀이 가공되어 있는 캡으로 이루어진 탄소나노튜브 가스센서
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