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측면 방출형 선형증발원, 그 제작 방법 및 선형증발기

  • 기술번호 : KST2015121502
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 측면 방출형 선형증발원, 그 제작방법 및 선형증발기에 관한 것이다. 진공속에서 도가니를 가열하여, 도가니에서 방출되는 재료를 기판에 증착하는 방법을 사용하는 증발시스템에서, 도가니와 발열부로 구성되고 증발원의 측면에 형성된 방출구를 갖는 선형증발원, 그 선형증발원의 제작방법 및 선형증발기에 관한 것이다.본 발명에서는 증발장치용 PBN 방출부와, 상기 방출부의 외부표면에 증착되어 가열에 적합하게 패터닝된 발열부와, 상기 방출부의 측면에 형성된 다수개의 방출구를 포함하는 선형증발원, 그 제작 방법 및 선형증발기가 제시된다.
Int. CL C23C 14/24 (2006.01) C23C 14/04 (2006.01)
CPC C23C 14/243(2013.01) C23C 14/243(2013.01) C23C 14/243(2013.01) C23C 14/243(2013.01) C23C 14/243(2013.01) C23C 14/243(2013.01) C23C 14/243(2013.01)
출원번호/일자 1020100054881 (2010.06.10)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-1265067-0000 (2013.05.10)
공개번호/일자 10-2011-0135138 (2011.12.16) 문서열기
공고번호/일자 (20130516) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.06.10)
심사청구항수 17

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 우덕하 대한민국 서울특별시 서대문구
2 김선호 대한민국 서울특별시 종로구
3 이석 대한민국 서울특별시 서초구
4 변영태 대한민국 경기도 구리시
5 전영민 대한민국 서울특별시 강남구
6 김재헌 대한민국 부산광역시 동구
7 박민철 대한민국 서울특별시 강남구
8 김신근 대한민국 서울특별시 마포구
9 정용우 대한민국 서울특별시 동대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이종일 대한민국 서울특별시 영등포구 당산로**길 **(당산동*가) 진양빌딩 *층(대일국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.06.10 수리 (Accepted) 1-1-2010-0373596-64
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.04.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.05.16 수리 (Accepted) 9-1-2011-0041346-13
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.03.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0144631-86
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2012.05.11 수리 (Accepted) 1-1-2012-0378444-74
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2012.06.11 수리 (Accepted) 1-1-2012-0462900-97
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2012.07.11 수리 (Accepted) 1-1-2012-0553514-88
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.08.13 수리 (Accepted) 1-1-2012-0643744-16
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.08.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0643743-60
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.11.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0660758-34
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.12.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-1095172-79
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.12.31 수리 (Accepted) 1-1-2012-1095171-23
13 등록결정서
Decision to grant		 2013.05.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0301312-55
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
15 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2014.06.18 수리 (Accepted) 1-1-2014-0568408-66
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
진공 증착시스템에서 사용되는 선형증발원에 있어서,재료를 담기 위한 상측이 개구된 PBN(pyrolytic boron nitride, 열분해질화붕소) 도가니와,상기 PBN 도가니의 외부 표면에 증착되고, 가열 패턴이 형성된 제1 발열부와,상기 PBN 도가니의 측면과 상기 제1 발열부를 관통하여 형성된 다수개의 측면 방출구와,상기 PBN 도가니의 내부 표면 및 상기 방출구의 표면에 형성된 제1 보호막과,상기 제1 발열부와 상기 제1 보호막을 전기적으로 절연시키기 위한 절연부를 포함하는 측면 방출형 선형증발원
2 2
삭제
3 3
청구항 1에 있어서,상기 PBN 도가니의 개구부를 덮는 PBN 뚜껑체와,상기 PBN 뚜껑체의 외부 표면에 증착되고, 가열 패턴이 형성된 제2 발열부를 더 포함하는 측면 방출형 선형증발원
4 4
청구항 3에 있어서,상기 PBN 뚜껑체의 하측 표면에 증착되고, 상기 제2 발열부와 전기적으로 절연되어 있는 제2 보호막을 더 포함하는 측면 방출형 선형증발원
5 5
진공 증착시스템에서 사용되는 선형증발원에 있어서,재료를 담기 위한 PBN(pyrolytic boron nitride, 열분해질화붕소) 도가니와,상기 PBN 도가니의 외부 표면에 증착되고, 가열 패턴이 형성된 제1 발열부와,PBN으로 구성된 PBN 방출부와,상기 PBN 방출부의 외부 표면에 증착되고, 가열 패턴이 형성된 제2 발열부와,상기 PBN 방출부의 측면과 상기 제2 발열부를 관통하여 형성된 적어도 하나의 측면 방출구와,상기PBN 도가니의 내부 표면에 증착되고, 상기 제1 발열부와 전기적으로 절연되어 있는 제1 보호막과,상기 PBN 방출부의 내부 표면 및 상기 방출구의 표면에 증착되고, 상기 제2 발열부와 전기적으로 절연되어 있는 제2 보호막을 포함하는 측면 방출형 선형증발원
6 6
삭제
7 7
청구항 3 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1 및 제2 발열부에 전류를 인가했을 때, 상기 제2 발열부의 온도가 상기 제1 발열부의 온도보다 높게 유지되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 측면 방출형 선형증발원
8 8
청구항 1, 청구항 3 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,상기 발열부 및 보호막은 두께 1000 마이크로미터 이하의 열분해 흑연(PG, Pyrolytic Graphite)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 측면 방출형 선형증발원
9 9
청구항 1, 청구항 3 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,상기 발열부의 패턴은 대칭형인 것을 특징으로 하는 측면 방출형 선형증발원
10 10
청구항 1 또는 청구항 5에 있어서,상부와 하부의 증착 속도를 같게 유지하기 위하여, 상부측에 위치한 상기 측면 방출구의 간격이 하부측에 위치한 상기 측면 방출구의 간격보다 좁은 것을 특징으로 하는 측면 방출형 선형증발원
11 11
청구항 1 또는 청구항 5에 있어서,상부와 하부의 증착 속도를 같게 유지하기 위하여, 상부측에 위치한 상기 측면 방출구와 하부측에 위치한 상기 측면 방출구의 간격을 일정하게 유지하면서, 상부측에 위치한 상기 측면 방출구의 크기가 하부측에 위치한 상기 측면 방출구의 크기보다 큰 것을 특징으로 하는 측면 방출형 선형증발원
12 12
진공 증착 시스템의 선형증발원 제작방법에 있어서, 상측이 개구된 PBN 도가니를 준비하는 단계와, 상기 PBN 도가니의 외부 표면에 PG를 증착하여 제1 발열층을 형성하는 단계와, 상기 PBN 도가니의 측면과 상기 제1 발열층을 관통하는 다수개의 측면 방출구를 형성하는 단계와,상기 PBN 도가니 외부 표면에 형성된 상기 제1 발열층에 가열 패턴을 형성하는 단계와,상기 PBN 도가니의 내부 및 상기 측면 방출구의 표면에 PG를 증착하여 제1 보호막을 형성하는 단계와;상기 제1 발열부와 상기 제1 보호막을 전기적를 절연시키기 위한 절연부를 형성하는 단계를 포함하는 측면 방출형 선형증발원 제조 방법
13 13
청구항 12에 있어서,상기 PBN 도가니의 상측 개구부를 덮기 위한 PBN 뚜껑체를 준비하는 단계와, 상기 PBN 뚜껑체의 외부 표면에 PG를 증착하여 제2 발열층을 형성하는 단계와, 상기 PBN 뚜껑체의 외부 표면에 형성된 제2 발열층에 가열 패턴을 형성하는 단계를 더 포함하는 측면 방출형 선형증발원 제조 방법
14 14
진공 증착 시스템의 선형증발원 제작방법에 있어서, PBN 도가니를 준비하는 단계와, 상기 PBN 도가니의 측면에 다수개의 방출구를 형성하는 단계와, 상기 PBN 도가니의 내부 및 외부 표면에 PG를 증착하여 상기 PBN 도가니의 외부표면에 제1 발열층과 내부표면에 제1 보호막을 형성하는 단계와, 상기 PBN 도가니 외부 표면에 형성된 제1 발열층에 가열 패턴을 형성하는 단계와, 상기 제1 발열층과 제1 보호막을 전기적으로 절연시키는 절연부를 형성하는 단계를 포함하는 측면 방출형 선형증발원 제조 방법
15 15
청구항 14에 있어서,상기 PBN 도가니를 덮고, 증발을 위한 방출구가 형성된 PBN 뚜껑체를 준비하는 단계와, 상기 PBN 뚜껑체의 내부 및 외부 표면에 PG를 증착하여 상기 PBN 뚜껑체의 외부 표면에 제2 발열층과 내부 표면에 제2 보호막을 형성하는 단계와, 상기 PBN 뚜껑체의 외부 표면에 형성된 상기 제2 발열층에 가열 패턴을 형성하는 단계와, 상기 제2 발열층과 상기 제2 보호막을 전기적으로 절연시키기 위한 절연부를 형성하는 단계를 더 포함하는 측면 방출형 선형증발원 제조 방법
16 16
진공 증착 시스템의 선형증발원 제작방법에 있어서, PBN 도가니를 준비하는 단계와, 상기 PBN 도가니의 외부 표면에 PG를 증착하여 제1 발열층을 형성하는 단계와, 상기 PBN 도가니 외부 표면에 형성된 상기 제1 발열층에 가열 패턴을 형성하는 단계와,PBN 방출부를 준비하는 단계와, 상기 PBN 방출부의 외부 표면에 PG를 증착하여 제2 발열층을 형성하는 단계와, 상기 PBN 방출부 외부 표면에 형성된 상기 제2 발열층에 가열 패턴을 형성하는 단계와,상기 PBN 방출부의 측면에 적어도 하나의 측면 방출구를 형성하는 단계와,상기 PBN 방출부의 내부 표면에 PG를 증착하여 제2 보호막을 형성하는 단계와, 상기 제2 발열층과 상기 제2 보호막을 전기적으로 절연시키기 위한 절연부를 형성하는 단계를 포함하는 측면 방출형 선형증발원 제조 방법
17 17
삭제
18 18
청구항 1, 청구항 3 내지 청구항 5 기재의 측면 방출형 선형증발원 중 어느 하나를 포함하는 선형증발기
19 19
청구항 18에 있어서, 상기 선형증발기는 진공 플랜지 및 전원공급용전극을 포함하고, 상기 전원공급용전극을 지지대로 하여 상기 선형증발원이 상기 진공플랜지에 장착되는 것을 특징으로 하는 선형증발기
20 20
청구항 19에 있어서,상기 전원공급용전극은 상기 PBN 도가니에 형성된 측면 방출구에서 떨어진 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 선형증발기
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1 교육과학기술부 한국과학기술연구원 신기술융합형 성장동력사업 후각/미각 센싱용 아나로그 신호처리 기술 개발
2 교육과학기술부 한국과학기술연구원 공공복지안전연구사업 환경위해 및 생화학테러 물질의 광검출 기술의 소형화 원천 기술 개발