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시소운동이 적용된 기판장착장치

  • 기술번호 : KST2022007537
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 시소운동이 적용된 기판장착장치에 관한 것이다. 상기 장치는, 증착 대상 기체를 상향 증발시키는 증발원; 상기 증발원의 상측에 이격 배치된 베이스 고정부; 상기 베이스 고정부의 하측에 배치된 베이스; 상기 베이스의 양단이 서로 반대방향으로 상하 운동하는 시소 운동을 수행하도록 일측이 상기 베이스 고정부에 회전 가능하게 장착되고 타측이 상기 베이스에 장착되는 시소 회전축; 기판이 장착되는 기판 홀더로서, 상기 베이스의 하측에서 상기 베이스에 연결되어 상기 베이스와 함께 시소운동 가능한 기판 홀더; 및 상기 시소 회전축의 회전을 제어하여 상기 기판 홀더의 시소 운동시 틸팅 각도를 조절하는 틸팅 구동부를 포함할 수 있다.
Int. CL C23C 14/50 (2006.01.01) C23C 14/24 (2006.01.01) H01L 51/00 (2006.01.01) H01L 21/687 (2006.01.01)
CPC C23C 14/50(2013.01) C23C 14/24(2013.01) H01L 51/001(2013.01) H01L 21/68785(2013.01)
출원번호/일자 1020200162615 (2020.11.27)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0074291 (2022.06.03) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.11.27)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이도권 서울특별시 성북구
2 김진환 서울특별시 성북구
3 이하람 서울특별시 성북구
4 장윤희 서울특별시 성북구
5 김인호 서울특별시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 티앤아이 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, A동 ****호(문정동, 엠스테이트)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2020.11.27 수리 (Accepted) 1-1-2020-1283573-50
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2021.07.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
증착 대상 기체를 상향 증발시키는 증발원;상기 증발원의 상측에 이격 배치된 베이스 고정부;상기 베이스 고정부의 하측에 배치된 베이스;상기 베이스의 양단이 서로 반대방향으로 상하 운동하는 시소 운동을 수행하도록 일측이 상기 베이스 고정부에 회전 가능하게 장착되고 타측이 상기 베이스에 장착되는 시소 회전축;기판이 장착되는 기판 홀더로서, 상기 베이스의 하측에서 상기 베이스에 연결되어 상기 베이스와 함께 시소운동 가능한 기판 홀더; 및상기 시소 회전축의 회전을 제어하여 상기 기판 홀더의 시소 운동시 틸팅 각도를 조절하는 틸팅 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는, 시소운동이 적용된 기판장착장치
2 2
제1항에 있어서,상기 증발원과 상기 기판 홀더 사이의 거리는 200mm 이하인 것을 특징으로 하는, 시소운동이 적용된 기판장착장치
3 3
제1항에 있어서,상기 기판 홀더의 상부에는 상기 베이스와 마주보는 측에 열전냉각소자가 장착되고, 상기 베이스에는 냉각수가 유동 가능한 냉각수관이 형성된 것을 특징으로 하는, 시소운동이 적용된 기판장착장치
4 4
제1항에 있어서,상기 시소 회전축은 상기 베이스 고정부에 끼워진 회전체, 및 회전체로부터 연장되어 상기 베이스에 장착되는 회전암을 포함하며, 상기 틸팅 구동부는 증착 공정 중, 상기 회전체를 상기 베이스 고정부의 측단면상에서 시계방향 및 반시계방향으로 번갈아 회전시켜, 기판 홀더의 양단을 주기적으로 상하 운동시키는 것을 특징으로 하는, 시소운동이 적용된 기판장착장치
5 5
제4항에 있어서,상기 기판 홀더를 수평면상에서 회전시켜 상기 기판 홀더의 스핀 운동이 가능하도록 일측이 상기 베이스에 삽입되며 타측이 기판 홀더에 장착된 스핀축; 및상기 스핀축의 스핀 운동을 제어하는 스핀 구동부를 더 포함하며,상기 스핀 구동부는 상기 시소 운동 시에 상기 기판 홀더의 스핀 운동이 함께 이루어지도록 상기 스핀축을 구동하는 것을 특징으로 하는, 시소운동이 적용된 기판장착장치
6 6
제4항에 있어서,상기 기판 홀더는 축선이 상기 증발원의 법선상에 위치하며,상기 틸팅 각도는 상기 축선에 대한 상기 기판 홀더의 일측면과 상기 증발원의 법선 사이의 각도이며, 상기 틸팅 구동부는 상기 틸팅 각도를 30˚ 이상 150˚ 이하에서 변화시키는 것을 특징으로 하는, 시소운동이 적용된 기판장착장치
7 7
제4항에 있어서,상기 기판 홀더를 직선 경로를 따라 이동시키는 이동 구동부를 더 포함하고,상기 증발원은 복수개이며, 상기 이동 구동부는 상기 시소 운동 시에 상기 기판 홀더를 상기 증발원이 배열된 방향을 따라 왕복 직선 이동시키는 것을 특징으로 하는, 시소운동이 적용된 기판장착장치
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
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