| 1 |
1
물리적 기상증착 장치의 진공챔버 내부에 장착되는 물리적 기상증착 장치용 기판 홀더로서, 베이스;상기 베이스에 고정되고, 복수의 기판을 고정하며, 상기 기판의 증착 표면의 소스물질에 대향하여 노출시키는 기판 고정판;상기 복수의 기판의 각 기판에 대응하여 제공되고, 상기 각 기판의 증착 표면을 개별적으로 블로킹 할 수 있게 제공되며, 개방 위치와 블로킹 위치 사이에 이동하여 상기 증착표면으로의 증착물질 이동을 허용하거나 차단할 수 있게 설치된 셔터;상기 셔터를 구동하는 모터; 및상기 모터의 구동을 제어하는 제어모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 물리적 기상증착 장비용 기판홀더
|
| 2 |
2
제1 항에 있어서, 상기 셔터는 셔터 회전축에 의해 고정되어, 상기 모터의 구동에 의해 상기 개방 위치와 상기 블로킹 위치 사이에서 회전하는 것을 특징으로 하는 물리적 기상 증착장치용 기판홀더
|
| 3 |
3
제1항에 있어서, 상기 셔터는 상기 셔터를 수평 이동시키는 스크류 회전축에 고정되어, 상기 모터의 구동에 의해 상기 개방 위치와 상기 블로킹 위치 사이에서 수평 이동하는 것을 특징으로 하는 물리적 기상 증착장치용 기판홀더
|
| 4 |
4
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 셔터는 상기 기판 고정판의 표면 및 상기 기판의 증착표면으로 설정된 갭을 가지고 이격 배치되어, 상기 갭을 유지하면서 상기 개방 위치와 상기 블로킹 위치 사이에서 이동하는 것을 특징으로 하는 물리적 기상 증착장치용 기판홀더
|
| 5 |
5
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 기판고정판은 상기 기판이 수용되는 고정홈과, 상기 고정홈과 연결된 관통 개구로 형성되고 상기 기판의 증착표면으로의 증착물질의 이동 경로가 되는 윈도우를 포함하는 것을 특징으로 하는 물리적 기상 증착장치용 기판홀더
|
| 6 |
6
제2항에 있어서, 상기 셔터가 상기 셔터 회전축에 의해 상기 개방 위치에서 상기 블로킹 위치 사이에서 회전할 때, 상기 셔터 회전축을 승강시키는 캠부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 물리적 기상 증착장치용 기판홀더
|
| 7 |
7
제6항에 있어서, 상기 기판고정판은 상기 기판이 수용되는 고정홈과, 상기 고정홈과 연결된 관통 개구로 형성되고 상기 기판의 증착표면으로의 증착물질의 이동 경로가 되는 윈도우를 포함하고, 상기 캠부는, 상기 개방 위치에서는 상기 셔터가 상기 기판 고정판의 하면으로부터 설정된 이격거리로 위치하도록 하고, 상기 블로킹 위치로 회전 이동할 때 상기 셔터가 상기 기판 고정판의 하면에 근접한 상태로 상기 윈도우를 블로킹하도록 구성된 것을 특징으로 하는 물리적 기상 증착장치용 기판홀더
|
| 8 |
8
제6항 또는 제7항에 있어서, 상기 캠부는 상기 셔터 회전축에 결합되어 상기 셔터 회전축과 함께 회전하며, 축방향 일측 단부에 경사면을 갖는 캠; 및상기 캠의 경사면에 단부가 접촉되게 배치되는 캠 가이드로서, 상기 캠이 회전할 때 상기 캠 가이드의 단부와 상기 경사면의 접촉 위치 변경에 따라 상기 캠이 상기 셔터회전축과 함께 승강되도록 안내하는 캠 가이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 물리적 기상 증착장치용 기판홀더
|
| 9 |
9
제8항에 있어서, 상기 캠부는, 상기 캠을 상기 캠 가이드 방향으로 탄성지지하는 스프링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 물리적 기상 증착장치용 기판홀더
|
