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그래핀 제조 방법 및 그에 따라 제조되는 그래핀, 그 그래핀을 포함하는 전자 소자

  • 기술번호 : KST2015122145
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 명세서는, 기판 위에 촉매를 증착하는 단계, 인위적인 탄소 공급원의 제공 없이, 증착된 상기 촉매 내에 증착에 의하여 포함된 탄소가 상기 촉매의 결정 경계를 통하여 상기 기판 및 상기 촉매의 층간에 확산되도록 상기 기판을 가열하는 단계, 상기 확산된 탄소가 그래핀 결정을 형성하고 성장시켜 그래핀을 생성하도록 상기 가열된 기판을 냉각하는 단계, 및 상기 생성된 그래핀을 획득하기 위하여, 상기 촉매를 식각하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 제조 방법, 이에 따라 제조되는 그래핀, 및 그 그래핀을 포함하는 전자 소자에 관한 것이다.
Int. CL C01B 31/02 (2006.01) C23C 16/26 (2006.01) H01L 21/08 (2006.01)
CPC C01B 32/186(2013.01) C01B 32/186(2013.01) C01B 32/186(2013.01) C01B 32/186(2013.01)
출원번호/일자 1020120022507 (2012.03.05)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-1350263-0000 (2014.01.06)
공개번호/일자 10-2013-0101391 (2013.09.13) 문서열기
공고번호/일자 (20140114) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.03.05)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 송용원 대한민국 서울 마포구
2 임정아 대한민국 경기 고양시 일산서구
3 강동석 대한민국 부산 사상구
4 김원준 대한민국 서울 구로구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 서울특별시 성북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.03.05 수리 (Accepted) 1-1-2012-0179091-93
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.05.01 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.06.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0045077-98
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.08.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0568896-24
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.10.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0935289-93
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.10.16 수리 (Accepted) 1-1-2013-0935284-65
7 등록결정서
Decision to grant		 2013.12.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0897435-28
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 위에 촉매를 증착하는 단계;상기 촉매를 증착하는 단계에서 촉매의 출발 물질 또는 기판의 표면에 흡착되어 상기 촉매의 내부에 포함된 탄소가 상기 촉매의 결정 경계를 통하여 상기 기판 및 상기 촉매의 층간에 확산되도록 상기 기판을 가열하고 냉각하여 그래핀을 생성하는 단계; 및상기 생성된 그래핀을 획득하기 위하여, 상기 촉매를 식각하는 단계;를 포함하며,상기 그래핀을 생성하는 단계는 인위적인 탄소 공급원의 제공 없이 이루어지는 것이며, 상기 촉매는 니켈을 포함하는 전도성 금속인 것을 특징으로 하는 그래핀 제조 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 기판의 가열은, 상기 기판의 이동 없이 상기 촉매가 증착되는 증착기 내에서 가열하는 것을 특징으로 하는 그래핀 제조 방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 촉매를 증착하는 단계는,패터닝 된 그래핀을 얻기 위하여 상기 기판 위에 섀도우 마스크(shadow mask)를 적용하는 단계; 및상기 섀도우 마스크 위에 상기 촉매를 증착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 제조 방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 촉매는,니켈로 이루어진 것을 특징으로 하는 그래핀 제조 방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 촉매의 식각은, 상기 촉매 및 상기 그래핀을 전극 또는 금속-반도체 접합으로 사용하는 전자 소자 제작을 위하여, 상기 기판의 일부 표면에만 그래핀이 노출되도록 상기 촉매를 부분적으로 식각하는 것을 특징으로 하는 그래핀 제조 방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 기판을 가열하는 단계는, 진공 하에서 이루어지는 것인, 그래핀 제조방법
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국가 R&D 정보가 없습니다.