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수직자화 박막 구조체 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015123931
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 수직자화 박막 구조체 및 그 제조 방법을 제공한다. 수직자화 박막 구조체는, i) 베이스층, ii) 베이스층 위에 위치하고, L10 결정 구조를 가지는 자성층, 및 iii) 자성층 위에 위치하는 금속 산화물층을 포함한다.
Int. CL H01F 41/14 (2006.01) H01F 10/18 (2006.01) B32B 15/04 (2006.01) H01F 41/22 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020110120757 (2011.11.18)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-1308105-0000 (2013.09.06)
공개번호/일자 10-2013-0055165 (2013.05.28) 문서열기
공고번호/일자 (20130912) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.11.18)
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최경민 대한민국 서울특별시 성북구
2 민병철 대한민국 서울특별시 성북구
3 신경호 대한민국 서울 노원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.11.18 수리 (Accepted) 1-1-2011-0913208-21
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.01.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.02.08 수리 (Accepted) 9-1-2013-0010101-98
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.04.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0222624-19
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.05.31 수리 (Accepted) 1-1-2013-0487133-48
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.05.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0487134-94
7 등록결정서
Decision to grant		 2013.09.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0613488-55
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
베이스층,상기 베이스층 위에 위치하는 절연층상기 절연층 위에 위치하고, L10 결정 구조를 가지는 자성층,상기 자성층 위에 위치하는 금속 산화물층, 및상기 금속 산화물층 위에 위치하는 전극층을 포함하고,상기 금속 산화물층의 두께는 상기 자성층의 두께보다 작은 수직자화 박막 구조체
2 2
제1항에 있어서,상기 금속 산화물층은 TiO2, Ta2O5, Al2O3, Cr2O3, ZrO2, ZnO, Cu2O 및 NiO로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 금속 산화물을 포함하는 수직자화 박막 구조체
3 3
제2항에 있어서,상기 자성층은 A100-xBx의 화학식을 가지는 화합물을 포함하고, 상기 A는 Fe(철), Co(코발트), Ni(니켈), Mn(망간) 및 Cr(크롬)으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 원소이고, 상기 B는 Pt(백금), Pd(팔라듐), Ni(니켈), Rh(로듐), Au(금), Hg(수은) 및 Al(알루미늄)으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 원소이며, 상기 x는 25 내지 75인 수직자화 박막 구조체
4 4
제3항에 있어서,상기 x는 40 내지 60인 수직자화 박막 구조체
5 5
제1항에 있어서,상기 자성층은 0보다 크고 50at% 이하의 B(Boron)를 포함하고, 상기 금속 산화물층은 B2O3를 포함하는 수직자화 박막 구조체
6 6
삭제
7 7
제1항에 있어서,상기 절연층은 MgO층을 포함하고, 상기 MgO층의 두께는 2nm 이하인 수직자화 박막 구조체
8 8
제1항에 있어서,상기 베이스층은 자성 재료를 포함하는 수직자화 박막 구조체
9 9
제8항에 있어서,상기 자성 재료는 FePtB 및 CoPtB로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 화합물로 형성된 수직자화 박막 구조체
10 10
제1항에 있어서,상기 절연층과 상기 자성층 사이에 위치하고, 체심입방(body centered cubic, BCC) 결정 구조를 가지며
11 11
삭제
12 12
베이스층을 제공하는 단계,상기 베이스층 위에 자성층을 제공하는 단계,상기 자성층 위에 금속층을 제공하는 단계, 및상기 베이스층, 상기 자성층 및 상기 금속층의 열처리 단계를 포함하고,상기 열처리 단계에서, 상기 자성층은 L10 결정 구조를 가지도록 변환되고, 상기 자성층의 c축은 상기 자성층의 판면이 뻗은 방향에 수직인 방향으로 정렬되며, 상기 금속층은 금속 산화물층으로 변환되는 수직자화 박막 구조체의 제조 방법
13 13
제12항에 있어서,상기 베이스층과 상기 자성층 사이에 절연층을 제공하는 단계를 더 포함하고,상기 열처리 단계에서, 상기 절연층을 상기 베이스층, 상기 자성층 및 상기 금속층과 함께 열처리하는 수직자화 박막 구조체의 제조 방법
14 14
제13항에 있어서,상기 절연층과 상기 금속층 사이에 또다른 자성층을 제공하는 단계를 더 포함하고,상기 열처리 단계에서, 상기 또다른 자성층을 상기 베이스층, 상기 절연층, 상기 자성층 및 상기 금속층과 함께 열처리하는 수직자화 박막 구조체의 제조 방법
15 15
제12항에 있어서,상기 열처리 단계에서의 열처리 온도는 400℃ 내지 900℃인 수직자화 박막 구조체의 제조 방법
16 16
제15항에 있어서,상기 열처리 단계에서의 산소 분압은 1010 bar 내지 1 bar인 수직자화 박막 구조체의 제조 방법
17 17
제13항에 있어서,상기 열처리 단계 후에 상기 금속 산화물층의 두께를 줄이는 단계, 및상기 금속 산화물층 위에 전극층을 제공하는 단계를 더 포함하는 수직자화 박막 구조체의 제조 방법
18 18
제17항에 있어서,상기 금속 산화물층의 두께를 감소시키는 단계는 상기 금속 산화물층을 아르곤 이온 밀링(Ar ion milling), 반응성 이온 에칭(Reactive Ion Etching) 또는 화학기계적 평탄화(Chemical Mechanical Planarization)하여 상기 금속 산화물층을 부분적으로 제거하는 수직자화 박막 구조체의 제조 방법
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 EP02595164 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
2 EP02595164 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
3 US09355669 US 미국 FAMILY
4 US20130130063 US 미국 FAMILY

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 EP2595164 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
2 EP2595164 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
3 US2013130063 US 미국 DOCDBFAMILY
4 US9355669 US 미국 DOCDBFAMILY
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