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기록매체에 미세 패턴을 기록할 수 있도록 하는 광변조 미세개구 어레이 장치로서,매트릭스 형태로 배열된 1개 이상의 광량조절셀을 구비하며, 각 광량조절셀은 입사하는 광이 통과하는 정도를 개별적으로 조절할 수 있는 공간 광변조부;매트릭스 형태로 배열된 1개 이상의 마이크로렌즈를 구비하며, 각 마이크로렌즈는 상기 각 광량조절셀을 통과한 광을 집속시키는 마이크로렌즈 어레이;상기 마이크로렌즈 어레이가 한쪽 면상에 부착되며, 광학적으로 투명한 재료로 이루어지고, 상기 마이크로렌즈의 초점거리와 실질적으로 동일한 두께를 갖는 기판;상기 기판의 다른쪽 면상에 배치되고, 1개 이상의 미세 개구를 구비하며, 각 미세 개구는 상기 각 마이크로렌즈에 의하여 집속되어 상기 기판을 통과한 광을 방출시키는 개구 어레이;고체 상태의 재료로 이루어지며, 상기 개구 어레이의 각 미세 개구의 주변에 배치되어 상기 기록매체의 표면과 상기 개구 어레이 사이의 거리를 일정하게 유지시키는 간격유지층; 및상기 개구 어레이로부터 소정의 두께를 갖도록 형성되며, 공기보다 큰 굴절율을 갖고 광학적으로 투명한 유전체로 이루어지는 이머젼 박막층을 포함하는 광변조 미세개구 어레이 장치
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청구항 1에 있어서,상기 이머젼 박막층은 고체 상태의 재료로 이루어지며, 상기 간격유지층과 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 광변조 미세개구 어레이 장치
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청구항 1에 있어서,상기 간격유지층의 상기 개구 어레이와 대향하는 면상에 배치되는 보호막층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광변조 미세개구 어레이 장치
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청구항 3에 있어서,상기 보호막층은 다이아몬드 유사 탄소로 이루어진 것을 특징으로 하는 광변조 미세개구 어레이 장치
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청구항 1에 있어서,상기 이머젼 박막층은 액체인 것을 특징으로 하는 광변조 미세개구 어레이 장치
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청구항 1에 있어서,상기 개구 어레이의 각 미세 개구는 상기 이머젼 박막층과 동일한 재료로 채워지는 것을 특징으로 하는 광변조 미세개구 어레이 장치
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청구항 1에 있어서,상기 개구 어레이는 금속 재질의 박막층에 1개 이상의 미세 개구가 매트릭스 형태로 배열되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 광변조 미세개구 어레이 장치
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기록매체에 고속으로 미세패턴을 기록하는 시스템으로서,소정의 파장을 갖는 광을 방출하는 광원부와;상기 광원부로부터 방출된 광을 평행광으로 만드는 평행광 생성부와;매트릭스 형태로 배열된 1개 이상의 광량조절셀을 구비하며, 상기 평행광 생성부로부터 출사되는 광이 각 광량조절셀로 입사되고, 각 광량조절셀은 광이 투과되는 정도를 개별적으로 조절할 수 있는 공간 광변조부; 매트릭스 형태로 배열된 1개 이상의 마이크로렌즈를 구비하며, 각 마이크로렌즈는 상기 각 광량조절셀을 통과한 광을 집속시키는 마이크로렌즈 어레이; 상기 마이크로렌즈 어레이가 한쪽 면상에 부착되며, 광학적으로 투명한 재료로 이루어지고, 상기 마이크로렌즈의 초점거리와 실질적으로 동일한 두께를 갖는 기판; 상기 기판의 다른쪽 면상에 배치되고, 1개 이상의 미세 개구를 구비하며, 각 미세 개구는 상기 각 마이크로렌즈에 의하여 집속되어 상기 기판을 통과한 광을 방출시키는 개구 어레이; 고체 상태의 재료로 이루어지며, 상기 개구 어레이의 각 미세 개구의 주변에 배치되어 상기 기록매체의 표면과 상기 개구 어레이 사이의 거리를 일정하게 유지시키는 간격유지층; 및, 상기 개구 어레이로부터 소정의 두께를 갖도록 형성되며, 공기보다 큰 굴절율을 갖고 광학적으로 투명한 유전체로 이루어지는 이머젼 박막층을 구비하는 광변조 미세개구 어레이 장치와;상기 광변조 미세개구 어레이 장치의 개구 어레이로부터 방출되는 광에 의하여 소정의 패턴이 기록되는 기록매체를 지지하는 기록매체 지지장치; 및상기 광변조 미세개구 어레이 장치 또는 상기 기록매체 지지장치와 연결되어 그 연결된 장치를 이동시킴으로써 상기 광변조 미세개구 어레이 장치와 상기 기록매체 지지장치에 의하여 지지되는 기록매체 사이에 상대운동을 발생시키는 스캔 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 고속 미세패턴 기록시스템
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청구항 9에 있어서,상기 광변조 미세개구 어레이 장치의 상기 이머젼 박막층은 고체로 이루어진 것을 특징으로 하는 고속 미세패턴 기록시스템
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청구항 10에 있어서,상기 광변조 미세개구 어레이 장치는 상기 이머젼 박막층의 상기 개구 어레이와 대향하는 면상에 배치되는 보호막층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고속 미세패턴 기록시스템
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청구항 11에 있어서,상기 광변조 미세개구 어레이 장치와 상기 기록매체 사이의 상대운동은 상기 보호막층의 표면과 상기 기록매체의 표면이 접촉한 상태에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 고속 미세패턴 기록시스템
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청구항 12에 있어서,상기 기록매체 지지장치는 상기 기록매체에서 상기 보호막층과 접촉하지 않는 쪽의 면에 압력을 가하여 상기 이머젼 박막층의 표면과 상기 기록매체의 표면이 양호하게 접촉된 상태로 상대이동할 수 있도록 보장하는 것을 특징으로 하는 고속 미세패턴 기록시스템
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청구항 9에 있어서,상기 광변조 미세개구 어레이 장치의 상기 이머젼 박막층은 액체인 것을 특징으로 하는 고속 미세패턴 기록시스템
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청구항 14에 있어서,상기 광변조 미세개구 어레이 장치와 상기 기록매체 사이의 상대운동은 상기 간격유지층의 표면과 상기 기록매체의 표면이 접촉한 상태에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 고속 미세패턴 기록시스템
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청구항 15에 있어서,상기 기록매체 지지장치는 상기 기록매체에서 상기 이머젼 박막층과 접촉하지 않는 쪽의 면에 압력을 가하여 상기 이머젼 박막층의 표면과 상기 기록매체의 표면이 양호하게 접촉된 상태로 상대이동할 수 있도록 보장하는 것을 특징으로 하는 고속 미세패턴 기록시스템
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