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실질적인 반구 형태를 가지며, 그것의 비구면에 원뿔대 형태의 돌출부가 구비된 렌즈;상기 돌출부 표면에 설치되며, 상기 돌출부 상부 중앙에 형성된 개구를 포함하는 금속 박막; 및상기 돌출부 상면에 일정 두께를 가지면서 피복된 이머젼층을 포함하는 렌즈 구조체
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제 1 항에 있어서,상기 금속 박막은 알루미늄막인 렌즈 구조체
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제 1 항에 있어서, 상기 이머젼층은 공기보다 큰 굴절율을 갖고 광학적으로 투명한 물질인 렌즈 구조체
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제 3 항에 있어서, 상기 이머젼층은 자외선 응고 수지 또는 중합체인 렌즈 구조체
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제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,상기 이머젼층은 50 내지 100nm 의 두께를 갖는 렌즈 구조체
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제 1 항에 있어서, 상기 이머젼층 표면을 덮는 보호층을 추가로 포함하는 렌즈 구조체
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제 6 항에 있어서, 상기 보호층은 다이아몬드 유사 탄소층인 렌즈 구조체
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반구 형태의 렌즈를 제공하는 단계;상기 렌즈 저부의 평탄에 원뿔대 형태의 돌출부가 형성되도록 상기 렌즈 가장자리 부분을 절삭 가공하는 단계;상기 돌출부 상면에 중심에 개구를 갖는 금속 박막을 형성하는 단계; 및상기 돌출부 상면에 이머젼층을 형성하는 단계를 포함하는 렌즈 구조체 제조방법
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제 8 항에 있어서, 상기 이머젼층을 형성하는 단계는, 상기 이머젼층으로 액상 물질을 도포하는 단계; 및상기 액상 물질을 구속하기 위한 성형 프레임을 형성하는 단계를 포함하는 렌즈 구조체의 제조방법
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제 8 항에 있어서,상기 이머젼층 상부에 보호층을 추가로 형성하는 단계를 포함하는 렌즈 구조체의 제조방법
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광원부; 상기 광원부로부터 광을 제공받아 상기 광의 직경이 나노미터 사이즈를 갖도록 하여, 상기 나노미터 직경의 광을 기록매체에 집속시키는 렌즈부; 및상기 기록 매체가 장착되는 스테이지를 포함하는 광학 시스템
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제 11 항에 있어서, 상기 렌즈부는 상기 광원부로부터 제공되는 광을 1차적으로 집속하는 대물 렌즈,상기 대물렌즈에서 집속된 광을 상기 나노미터 사이즈 직경을 갖도록 집속시키는 렌즈 구조체, 및상기 대물 렌즈 및 렌즈 구조체를 지지하는 홀더를 포함하며,상기 렌즈 구조체는 돌출부가 구비된 렌즈, 상기 렌즈 돌출부 표면에 설치되며 상기 돌출부 상부 중앙에 형성된 상기 나노 미터 직경의 개구를 포함하는 금속 박막, 및 상기 금속 박막 상부에 피복된 이머젼층을 포함하는 나노 미터 광학 시스템
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제 12 항에 있어서, 상기 홀더는 상기 대물 렌즈가 삽입,고정되는 제 1 하우징, 상기 제 1 하우징을 시스템 내벽에 부착시키는 지지부재,상기 렌즈 구조체가 삽입,고정되는 제 2 하우징, 및상기 제 2 하우징을 상기 제 1 하우징에 연결시키며, 상기 렌즈 구조체의 위치를 미세 조정하는 탄성 부재를 포함하는 광학 시스템
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광학계의 스테이지에 레지스트 물질이 도포된 기록 매체를 로딩하는 단계;실질적인 반구 형태를 가지며, 평탄면 중앙에 원뿔대 형태의 돌출부가 형성되어 있고, 원뿔대 상면에 해당하는 돌출부에 개구를 갖는 금속 박막 및 이머젼층이 형성되어 있는 렌즈 구조체를 제공하는 단계;상기 렌즈 구조체를 광학계에 세팅하는 단계; 상기 렌즈 구조체를 상기 기록 매체에 접촉시키는 단계; 및상기 광학계로부터 광을 조사하여 노광을 진행하는 단계를 포함하는 리소그래피 방법
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