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레이저 직접 박막 패터닝 방법

  • 기술번호 : KST2015125435
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따라서 (a) 광투과성 기판을 제공하는 단계와, (b) 상기 기판의 일면에 레이저 흡수 금속층을 형성하는 단계와, (c) 상기 레이저 흡수 금속층 상에 ITO 층을 형성하는 단계와, (d) 펄스 레이저 빔 조사 수단으로부터 나오는 펄스 레이저 빔을 공간적 광 변조기를 통해 통과시켜, 상기 레이저 흡수 금속층 및 ITO 층이 형성된 기판의 반대쪽 표면으로 조사시키는 단계로서, 상기 공간적 광 변조기는 사용자가 원하는 임의의 형태의 패턴으로 되어 있고, 상기패턴에 대응하여 상기 펄스 레이저 빔이 통과하여, 상기 기판의 반대쪽 표면으로 조사되는 것인, 상기 펄스 레이저 빔 조사 단계와, (e) 상기 기판의 반대쪽 표면을 통과한 상기 펄스 레이저 빔이 상기 레이저 흡수 금속층에 조사되도록 하여, 상기 금속층에 열탄성력을 야기함으로써, 상기 레이저가 조사된 레이저 흡수 금속층 부위 및 그 레이저 흡수 금속층 상에 형성된 ITO 층을 상기 기판으로부터 분리시켜, 상기 공간적 광 변조기의 패턴에 대응되는 패턴이 상기 레이저 흡수 금속층 및 ITO 층에 대하여 형성되도록 하는 패터닝 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 병렬식 레이저 조사에 의한 ITO 층을 포함하는 다층 구조의 박막 패터닝 방법이 제공된다.
Int. CL H01L 21/306 (2006.01) H01L 21/268 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01)
CPC H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01)
출원번호/일자 1020090028776 (2009.04.03)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1039549-0000 (2011.06.01)
공개번호/일자 10-2010-0110447 (2010.10.13) 문서열기
공고번호/일자 (20110609) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.04.03)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이명규 대한민국 서울 송파구
2 신현권 대한민국 서울 서대문구
3 심보연 대한민국 서울특별시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김승욱 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로 ***, ***호(서초동, 두산베어스텔)(아이피마스터특허법률사무소)
2 이채형 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 ** (대치동 동구빌딩 *층) Neo국제특허법률사무소

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.04.03 수리 (Accepted) 1-1-2009-0201601-58
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.12.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0568801-05
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.02.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0087958-47
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.02.08 수리 (Accepted) 1-1-2011-0087937-99
5 등록결정서
Decision to grant		 2011.05.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0276465-75
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
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번호 청구항
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(a) 광투과성 기판을 제공하는 단계와, (b) 상기 기판의 일면에 레이저 흡수 금속층을 형성하는 단계와, (c) 펄스 레이저 빔 조사 수단으로부터 나오는 펄스 레이저 빔을 공간적 광 변조기를 통해 통과시켜, 상기 레이저 흡수 금속층이 형성된 기판의 반대쪽 표면으로 조사시키는 단계로서, 상기 공간적 광 변조기는 사용자가 원하는 임의의 형태의 패턴으로 되어 있고, 상기 패턴에 대응하여 상기 펄스 레이저 빔이 통과하여, 상기 기판의 반대쪽 표면으로 조사되는 것인, 상기 펄스 레이저 빔 조사 단계와, (d) 상기 기판의 반대쪽 표면을 통과한 상기 펄스 레이저 빔이 상기 레이저 흡수 금속층에 조사되도록 하여, 상기 금속층에 열탄성력을 야기함으로써, 상기 레이저가 조사된 레이저 흡수 금속층을 상기 기판으로부터 분리시켜, 상기 공간적 광 변조기의 패턴에 대응되는 패턴이 상기 레이저 흡수 금속층에 대하여 형성되도록 하는 패터닝 단계와, (e) 상기 패턴화된 레이저 흡수 금속층 및 상기 기판의 표면에 대하여 ITO 층을 증착하는 단계와, (f) 상기 펄스식 레이저 빔 조사 수단으로부터 나오는 펄스 레이저 빔을 상기 기판의 반대쪽 표면으로부터 조사하여, 상기 ITO 층을 패턴화하는 단계로서, 상기 펄스 레이저 빔은 상기 기판의 표면에 직접 접촉하고 있는 ITO 층은 그대로 통과하고, 레이저 흡수 금속층에서는 흡수되어, 레이저 흡수 금속층 및 그 위에 증착된 ITO를 기판으로부터 분리시켜, 상기 기판의 표면에는 ITO 층만이 패턴화된 채 남아 있게 되는, 상기 ITO 층 패턴화 단계 를 포함하는 것을 특징으로 하는 병렬식 레이저 조사에 의한 ITO 박막 패터닝 방법
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청구항 6에 있어서, 상기 열탄성은 상기 레이저 빔의 에너지 흡수로 인한 온도 상승 및 그로 인한 상기 금속층의 팽창에 의해 야기되는 것인 병렬식 레이저 조사에 의한 ITO 박막 패터닝 방법
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청구항 6 또는 청구항 7에 있어서, 상기 열탄성력은 상기 금속층의 입계에서 우선적으로 작용하여, 상기 금속층을 분리시키는 것인 병렬식 레이저 조사에 의한 ITO 박막 패터닝 방법
9 9
청구항 6 또는 청구항 7에 있어서, 상기 광투과성 기판은 유리 또는 플라스틱 기판인 병렬식 레이저 조사에 의한 ITO 박막 패터닝 방법
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청구항 6 또는 청구항 7에 있어서, 상기 금속층은 Au, Ag, Al 또는 Mo 금속층인 병렬식 레이저 조사에 의한 ITO 박막 패터닝 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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1 학술진흥재단 연세대학교 산학협력단 기초연구지원기초과학(공동연구) 무감광 리소그래픽 박막 패터닝 연구