요약 | 본 발명에 따라서 비휘발성 저항 스위칭 메모리 소자가 제공되는데, 바닥 전극 역할을 하는 p형 Si 기판과; 상기 Si 기판 위에 형성되어, 비휘발성 메모리 소자의 동작 전압을 제어하고 전류의 ON/OFF 비를 증대시키는 절연층과; 상기 절연층 상에 형성되는 저항성 스위칭 거동층과; 상기 저항성 스위칭 거동층 상에 형성되는 금속층을 포함하는 것을 특징으로 한다. |
---|---|
Int. CL | H01L 27/115 (2006.01) H01L 21/8247 (2006.01) |
CPC | H01L 45/04(2013.01) H01L 45/04(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020090110061 (2009.11.16) |
출원인 | 연세대학교 산학협력단 |
등록번호/일자 | 10-1081739-0000 (2011.11.03) |
공개번호/일자 | 10-2011-0053508 (2011.05.24) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20111109) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2009.11.16) |
심사청구항수 | 5 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 연세대학교 산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 서대문구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 명재민 | 대한민국 | 경기도 고양시 일산동구 |
2 | 최지혁 | 대한민국 | 경기도 안양시 동안구 |
3 | 사친드라나스 다스 | 대한민국 | 서울특별시 서대문구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 김승욱 | 대한민국 | 서울특별시 서초구 강남대로 ***, ***호(서초동, 두산베어스텔)(아이피마스터특허법률사무소) |
2 | 이채형 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 ** (대치동 동구빌딩 *층) Neo국제특허법률사무소 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 연세대학교 산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 서대문구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2009.11.16 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0700131-16 |
2 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2011.02.11 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
3 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2011.03.15 | 수리 (Accepted) | 9-1-2011-0021700-15 |
4 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2011.03.18 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0153688-43 |
5 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2011.05.16 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0359599-17 |
6 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2011.06.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0458224-56 |
7 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2011.07.18 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0549748-70 |
8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2011.08.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0634515-11 |
9 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2011.08.17 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2011-0634524-22 |
10 | 등록결정서 Decision to grant |
2011.10.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0629615-18 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2011.12.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5252006-10 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5062749-37 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.06.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5088566-87 |
14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.09.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5114224-78 |
번호 | 청구항 |
---|---|
1 |
1 비휘발성 저항 스위칭 메모리 소자로서, 바닥 전극 역할을 하는 p형 Si 기판과; 상기 Si 기판 위에 50 nm~300 nm의 두께로 형성되어, 비휘발성 메모리 소자의 동작 전압을 제어하고 전류의 ON/OFF 비를 증대시키는 절연층과; 상기 절연층 상에 형성되는 저항성 스위칭 거동층과; 상기 저항성 스위칭 거동층 상에 형성되는 금속층 을 포함하고, 상기 저항 스위칭 메모리 소자의 저항 스위칭 동작 중에 상기 절연층 내부에 상기 저항성 스위칭 거동층을 구성하는 금속 산화물의 금속에 의해 금속 경로가 형성되어, 상기 메모리 소자의 임의의 전압에서의 상기 ON/OFF 비를 증대시키며, 상기 비휘발성 저항 스위칭 메모리 소자의 동작 전압은 상기 절연층의 두께를 조절하여 제어되는 것을 특징으로 하는 비휘발성 저항 스위칭 메모리 소자 |
2 |
2 삭제 |
3 |
3 청구항 1에 있어서, 상기 비휘발성 저항 스위칭 메모리 소자의 동작 전압은 상기 절연층의 두께가 증가함에 따라 증가하는 것인 비휘발성 저항 스위칭 메모리 소자 |
4 |
4 청구항 1 또는 청구항 3에 있어서, 상기 절연층은 SiO2로 이루어지는 것을 특징으로 하는 비휘발성 저항 스위칭 메모리 소자 |
5 |
5 청구항 4에 있어서, 상기 저항성 스위칭 거동층은 NiO로 이루어지는 것을 특징으로 하는 비휘발성 저항 스위칭 메모리 소자 |
6 |
6 청구항 5에 있어서, 상기 비휘발성 저항 스위칭 메모리 소자의 임의의 전압에서의 ON/OFF 비는 105인 것을 특징으로 하는 비휘발성 저항 스위칭 메모리 소자 |
지정국 정보가 없습니다 |
---|
패밀리정보가 없습니다 |
---|
국가 R&D 정보가 없습니다. |
---|
특허 등록번호 | 10-1081739-0000 |
---|
표시번호 | 사항 |
---|---|
1 |
출원 연월일 : 20091116 출원 번호 : 1020090110061 공고 연월일 : 20111109 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20111028 청구범위의 항수 : 5 유별 : H01L 27/115 발명의 명칭 : 비휘발성 저항 스위칭 메모리 소자 존속기간(예정)만료일 : 20191104 |
순위번호 | 사항 |
---|---|
1 |
(권리자) 연세대학교 산학협력단 서울특별시 서대문구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 120,000 원 | 2011년 11월 03일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 150,000 원 | 2014년 08월 06일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 111,300 원 | 2016년 01월 05일 | 납입 |
제 6 년분 | 금 액 | 105,000 원 | 2016년 10월 31일 | 납입 |
제 7 년분 | 금 액 | 203,000 원 | 2017년 11월 03일 | 납입 |
제 8 년분 | 금 액 | 145,000 원 | 2018년 10월 29일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 | 2009.11.16 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0700131-16 |
2 | 선행기술조사의뢰서 | 2011.02.11 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
3 | 선행기술조사보고서 | 2011.03.15 | 수리 (Accepted) | 9-1-2011-0021700-15 |
4 | 의견제출통지서 | 2011.03.18 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0153688-43 |
5 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2011.05.16 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0359599-17 |
6 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2011.06.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0458224-56 |
7 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2011.07.18 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0549748-70 |
8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2011.08.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0634515-11 |
9 | [명세서등 보정]보정서 | 2011.08.17 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2011-0634524-22 |
10 | 등록결정서 | 2011.10.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0629615-18 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2011.12.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5252006-10 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5062749-37 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.06.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5088566-87 |
14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.09.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5114224-78 |
기술정보가 없습니다 |
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과제고유번호 | 1345096876 |
---|---|
세부과제번호 | 과C6A2005 |
연구과제명 | 휴먼트로닉스정보소재사업단 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
연구주관기관명 | 연세대학교 |
성과제출연도 | 2009 |
연구기간 | 200603~201302 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | 기타 |
과제고유번호 | 1345165039 |
---|---|
세부과제번호 | 과C6A2005 |
연구과제명 | 휴먼트로닉스정보소재사업단 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
연구주관기관명 | 연세대학교 |
성과제출연도 | 2011 |
연구기간 | 200603~201302 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | 기타 |
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