요약 | 본 발명은 플래시 메모리 소자의 제조방법에 관한 것으로서, 반도체 기판 상에 제1 절연막 및 고유전막으로 이루어진 이중 구조의 터널 절연막을 형성하는 단계; 상기 터널 절연막 상에 제2 절연막, 블로킹막 및 도전막을 형성하는 단계; 및 상기 도전막, 블로킹막, 제2 절연막 및 터널 절연막을 식각하여 게이트를 형성하는 단계를 포함하고, 상기 고유전막은 하프늄-실리콘-옥시나이트라이드(Hafnium-Silicon-Oxynitried)로 형성하는 것을 특징으로 한다. 터널 절연막, HfSiON, 이중 구조, SiO2, 고유전막, 누설 전류, 리텐션 |
---|---|
Int. CL | H01L 21/8247 (2006.01) H01L 27/115 (2006.01) |
CPC | H01L 29/66825(2013.01) H01L 29/66825(2013.01) H01L 29/66825(2013.01) H01L 29/66825(2013.01) H01L 29/66825(2013.01) H01L 29/66825(2013.01) H01L 29/66825(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020080131296 (2008.12.22) |
출원인 | 연세대학교 산학협력단 |
등록번호/일자 | 10-1151153-0000 (2012.05.22) |
공개번호/일자 | 10-2010-0072786 (2010.07.01) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20120601) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2008.12.22) |
심사청구항수 | 22 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 연세대학교 산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 서대문구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 손현철 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 |
2 | 고대홍 | 대한민국 | 경기도 고양시 일산서구 |
3 | 김용탑 | 대한민국 | 경기도 화성시 영통로**번길 * |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 정영수 | 대한민국 | 서울특별시 금천구 가산디지털 *로 **, ****호 (가산동, 에이스한솔타워)(한영국제특허법률사무소) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 연세대학교 산학협력단 | 서울특별시 서대문구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2008.12.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0879427-32 |
2 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2009.01.06 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0006415-98 |
3 | 보정요구서 Request for Amendment |
2009.01.06 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2009-0000833-12 |
4 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2010.12.16 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0577067-09 |
5 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2011.02.16 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0109411-02 |
6 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2011.03.16 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2011-0190806-11 |
7 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2011.03.16 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0190827-69 |
8 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2011.09.29 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0558503-59 |
9 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2011.11.15 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2011-0902454-99 |
10 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2011.11.15 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0902436-77 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2011.12.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5252006-10 |
12 | 등록결정서 Decision to grant |
2012.04.27 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0247367-64 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5062749-37 |
14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.06.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5088566-87 |
15 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.09.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5114224-78 |
번호 | 청구항 |
---|---|
1 |
1 반도체 기판 상에 제1 절연막 및 고유전막으로 이루어진 이중 구조의 터널 절연막을 형성하고, 상기 고유전막을 형성한 후 급속 열처리(Rapid Thermal Process; RTP) 공정을 실시하여 상기 고유전막을 조밀화시키는 단계;상기 터널 절연막 상에 제2 절연막, 블로킹막 및 도전막을 형성하는 단계; 및 상기 도전막, 블로킹막, 제2 절연막 및 터널 절연막을 식각하여 게이트를 형성하는 단계를 포함하고, 상기 고유전막은 하프늄-실리콘-옥시나이트라이드(Hafnium-Silicon-Oxynitride)로 형성하는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리 소자의 제조방법 |
2 |
2 제1항에 있어서,상기 제1 절연막은 SiO2를 이용하여 10Å 내지 40Å의 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리 소자의 제조방법 |
3 |
3 제1항에 있어서, 상기 제1 절연막을 형성한 후 열공정을 실시하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리 소자의 제조방법 |
4 |
4 제3항에 있어서, 상기 열공정은 N2O 가스 또는 NO 가스 분위기에서 실시하는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리 소자의 제조방법 |
5 |
5 제1항에 있어서, 상기 고유전막은 원자층 증착(Atomic Layer Deposition; ALD) 방법 또는 화학 기상 증착(Chemical Vapor Deposition; CVD) 방법을 이용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리 소자의 제조방법 |
6 |
6 제5항에 있어서, 상기 고유전막은 750~1000℃의 고온에서 NH3 가스를 혼입한 가운데 후속 열처리하여 형성하는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리 소자의 제조방법 |
7 |
7 제1항에 있어서, 상기 고유전막은 5Å 내지 40Å의 유효 산화 두께(Equivalent Oxide Thickness; EOT)로 형성하는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리 소자의 제조방법 |
8 |
8 삭제 |
9 |
9 제1항에 있어서, 상기 제2 절연막은 원자층 증착(ALD) 방법 또는 화학 기상 증착(CVD) 방법을 이용하여 20Å 내지 100Å의 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리 소자의 제조방법 |
10 |
10 삭제 |
11 |
11 제1항에 있어서, 상기 제2 절연막은 HfO2, ZrO2, Nb2O5, La2O3, Pr2O3 또는 Nd2O3로 이루어진 고유전 물질로 형성하는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리 소자의 제조방법 |
12 |
12 제1항에 있어서, 상기 블로킹막은 Al2O3 또는 산화막을 이용하여 50Å 내지 300Å의 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리 소자의 제조방법 |
13 |
13 제1항에 있어서, 상기 블로킹막을 형성한 후급속 열처리(RTP) 공정을 실시하여 상기 블로킹막을 조밀화시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리 소자의 제조방법 |
14 |
14 제1항에 있어서, 상기 도전막은 소노스(SONOS) 공정을 위해서는 폴리실리콘막으로, 마노스(MANOS) 공정을 위해서는 탄탈륨질화막(TaN)과 같은 금속 물질로 형성하는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리 소자의 제조방법 |
15 |
15 제14항에 있어서, 상기 폴리실리콘막은 1E19/㎤ 내지 5E20/㎤의 농도로 형성하는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리 소자의 제조방법 |
16 |
16 제14항에 있어서, 상기 금속 물질은 일함수(work function)가 4 |
17 |
17 반도체 기판 상에 절연막 및 고유전막으로 이루어진 이중 구조의 터널 절연막을 형성하고, 상기 고유전막을 형성한 후 급속 열처리(Rapid Thermal Process; RTP) 공정을 실시하여 상기 고유전막을 조밀화시키는 단계;상기 터널 절연막 상에 제1 도전막, 유전체막 및 제2 도전막을 형성하는 단계; 및 상기 제2 도전막, 유전체막, 제1 도전막 및 터널 절연막을 식각하여 게이트를 형성하는 단계를 포함하고, 상기 고유전막은 하프늄-실리콘-옥시나이트라이드(Hafnium-Silicon-Oxynitride)로 형성하는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리 소자의 제조방법 |
18 |
18 제17항에 있어서,상기 절연막은 SiO2를 이용하여 10Å 내지 40Å의 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리 소자의 제조방법 |
19 |
19 제17항에 있어서, 상기 절연막을 형성한 후N2O 가스 또는 NO 가스 분위기에서 열공정을 실시하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리 소자의 제조방법 |
20 |
20 제17항에 있어서, 상기 고유전막은 원자층 증착(Atomic Layer Deposition; ALD) 방법 또는 화학 기상 증착(Chemical Vapor Deposition; CVD) 방법을 이용하여 형성되며, 750~1000℃의 고온에서 NH3 가스를 혼입한 가운데 후속 열처리하여 형성하는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리 소자의 제조방법 |
21 |
21 삭제 |
22 |
22 반도체 기판 상에 절연막 및 고유전막으로 이루어진 이중 구조의 터널 절연막을 형성하고, 상기 고유전막을 형성한 후 급속 열처리(Rapid Thermal Process; RTP) 공정을 실시하여 상기 고유전막을 조밀화시키는 단계;;상기 터널 절연막 상에 제1 도전막, 유전체막 및 제2 도전막을 형성하는 단계; 상기 유전체막을 형성한 후, 열처리 공정을 실시하여 상기 유전체막을 조밀화시키는 단계; 및상기 제2 도전막, 유전체막, 제1 도전막 및 터널 절연막을 식각하여 게이트를 형성하는 단계를 포함하고, 상기 고유전막은 하프늄-실리콘-옥시나이트라이드(Hafnium-Silicon-Oxynitride)로 형성하는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리 소자의 제조방법 |
23 |
23 제22항에 있어서, 상기 유전체막은 제1 산화막, 질화막 및 제2 산화막이 순차적으로 적층된 ONO 구조로 형성하는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리 소자의 제조방법 |
24 |
24 제23항에 있어서, 상기 제1 산화막은 30Å 내지 60Å의 두께로, 상기 질화막은 40Å 내지 70Å의 두께로, 상기 제2 산화막은 30Å 내지 80Å의 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리 소자의 제조방법 |
25 |
25 삭제 |
26 |
26 제22항에 있어서,상기 고유전 물질은 HfO2, HfSiOx, ZrO2, ZrAlOx, ZrSiOx, HfAlOx, La2O3, Pr2O3, Nd2O3, Al2O3, 또는 Nb2O5으로 형성하는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리 소자의 제조방법 |
지정국 정보가 없습니다 |
---|
패밀리정보가 없습니다 |
---|
국가 R&D 정보가 없습니다. |
---|
특허 등록번호 | 10-1151153-0000 |
---|
표시번호 | 사항 |
---|---|
1 |
출원 연월일 : 20081222 출원 번호 : 1020080131296 공고 연월일 : 20120601 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20120427 청구범위의 항수 : 22 유별 : H01L 21/8247 발명의 명칭 : 플래시 메모리 소자의 제조방법 존속기간(예정)만료일 : 20180523 |
순위번호 | 사항 |
---|---|
1 |
(권리자) 연세대학교 산학협력단 서울특별시 서대문구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 451,500 원 | 2012년 05월 22일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 366,800 원 | 2015년 05월 22일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 377,800 원 | 2016년 05월 31일 | 납입 |
제 6 년분 | 금 액 | 366,800 원 | 2017년 05월 22일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 | 2008.12.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0879427-32 |
2 | [출원서등 보정]보정서 | 2009.01.06 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0006415-98 |
3 | 보정요구서 | 2009.01.06 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2009-0000833-12 |
4 | 의견제출통지서 | 2010.12.16 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0577067-09 |
5 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2011.02.16 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0109411-02 |
6 | [명세서등 보정]보정서 | 2011.03.16 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2011-0190806-11 |
7 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2011.03.16 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0190827-69 |
8 | 의견제출통지서 | 2011.09.29 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0558503-59 |
9 | [명세서등 보정]보정서 | 2011.11.15 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2011-0902454-99 |
10 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2011.11.15 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0902436-77 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2011.12.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5252006-10 |
12 | 등록결정서 | 2012.04.27 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0247367-64 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5062749-37 |
14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.06.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5088566-87 |
15 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.09.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5114224-78 |
기술정보가 없습니다 |
---|
과제고유번호 | 1345071141 |
---|---|
세부과제번호 | 과C6A2005 |
연구과제명 | 휴먼트로닉스 정보소재 사업단 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국학술진흥재단 |
연구주관기관명 | 연세대학교 |
성과제출연도 | 2008 |
연구기간 | 200603~201302 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | 기타 |
[1020080136269] | 알루미늄기 벌크 나노 결정립 합금 | 새창보기 |
---|---|---|
[1020080135249] | 개량형 직물필터 및 그 제조 방법 | 새창보기 |
[1020080131296] | 플래시 메모리 소자의 제조방법 | 새창보기 |
[1020080129944] | 블록공중합체 마이셀을 이용한 수직성장 ZnO 나노와이어의 면밀도 제어방법 | 새창보기 |
[1020080129943] | 에피택시 결정성장 PVDF-TrFE 박막을 적용한 커패시터, FeFET 및 FeFET형 비휘발성 메모리 | 새창보기 |
[1020080129942] | 단결정 TIPS-PEN을 활성층으로 하는 FeFET 및FeFET형 비휘발성 메모리 | 새창보기 |
[1020080124442] | 투명 단열 유리 및 그 제조 방법 | 새창보기 |
[1020080124371] | 음원분리 및 음원식별을 이용한 음성인식 장치 및 방법 | 새창보기 |
[1020080122911] | 액정 표시 패널 및 이의 제조 방법 | 새창보기 |
[1020080112055] | 신규의 희생층 재료를 이용한 기판 상에서의 나노와이어 패터닝 방법 | 새창보기 |
[1020080098598] | 금속 나노 구조체의 형성 방법 및 상기 방법에 의하여 형성된 금속 나노 구조체 | 새창보기 |
[1020080096946] | 플라즈마 촉진 폴리머 트랜스퍼 프린팅을 이용한 폴리(3-헥실 티오펜)(P3HT) 박막의 마이크로패터닝 방법 및 상기 P3HT 마이크로패턴화된 박막을 활성층으로 포함하는 유기 박막 트랜지스터의 제조방법 | 새창보기 |
[1020080095686] | 기판 상에서 표면 에너지를 이용한 나노 와이어 성장 방법 | 새창보기 |
[1020080089553] | 면상 발열체 | 새창보기 |
[1020080078218] | 저 컨택트저항 실리콘계 나노선 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[1020080077402] | 플래시 메모리 소자의 제조방법 | 새창보기 |
[1020080077396] | 플래시 메모리 소자의 제조방법 | 새창보기 |
[1020080071057] | 주조용 금속기지 복합재 및 제조 방법 | 새창보기 |
[1020080057120] | RTA를 통한 스핀캐스팅된 PVDF 박막의 β 결정화방법 | 새창보기 |
[1020080049471] | 레이저 직접 박막 패터닝 방법 | 새창보기 |
[1020080041202] | 플렉서블 기판에 형성된 박막의 인장 강도 시험 장치 | 새창보기 |
[1020080011323] | 단결정 규소 나노리본 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[1020080008867] | 나노 와이어가 함입된 고분자 박막 구조체의 제조 방법 | 새창보기 |
[1020080005244] | 무감광 리소그래피에 의한 박막 패터닝 방법 | 새창보기 |
[1020070122808] | 고순도 알파 리튬알루미네이트의 제조방법 | 새창보기 |
[1020070047670] | 에칭 알루미늄 하부기판을 사용하는P(VDF-TrFE) 기반 커패시터 및P(VDF-TrFE)기반 커패시터에서의 고온 안정성향상 방법 | 새창보기 |
[1020070047526] | 안티몬-아연 합금을 이용한 상변화형 비휘발성 메모리 소자및 이의 제조방법 | 새창보기 |
[1020070046672] | 이온교환수지를 이용한 연속공정으로 실리카 졸을 제조하는방법 | 새창보기 |
[1020070043241] | 형태에 따라 최적화된 실리카 에어로젤의 제조방법 | 새창보기 |
[1020070030147] | 펄스 레이저를 이용한 나노입자 패터닝 방법 | 새창보기 |
[1020070025171] | 반도체 이종구조 나노선을 이용한 광기전력 소자 및 그제조방법 | 새창보기 |
[1020060135209] | Pd 나노와이어를 이용한 수소센서 제조방법 | 새창보기 |
[1020060109332] | 고순도 알파 리튬알루미네이트의 제조방법 | 새창보기 |
[1020060074049] | 마이크로임프린팅을 이용한 PVDF 박막의 강유전성 패턴어레이를 제조하는 방법 | 새창보기 |
[1020060073582] | 양친매성 블록공중합체 마이셀을 이용한 단일벽탄소나노튜브의 분산방법 | 새창보기 |
[1020050104503] | 플라즈마를 이용한 액정표시장치용 무기배향막의표면처리방법 | 새창보기 |
[1020050040955] | 나노파이버를 금속 또는 폴리머 기지에 균일 분산시키는 방법 및 이를 이용하여 제조한 금속 또는 폴리머 복합재 | 새창보기 |
[1020050040635] | 벌집 구조의 그린 러스트와 이를 이용한 박막 | 새창보기 |
[KST2015013118][연세대학교] | 저항 변화 메모리 및 그 소자의 제조 방법 | 새창보기 |
---|---|---|
[KST2015126768][연세대학교] | 비스무트-안티모니계 저항 메모리 소자 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015126821][연세대학교] | 적층 구조를 갖는 저항 스위칭 메모리 및 그 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2015125359][연세대학교] | 전하 트랩 영역을 이용한 멀티-레벨-셀 비휘발성 메모리 소자 | 새창보기 |
[KST2015125545][연세대학교] | 비휘발성 저항 스위칭 메모리 소자 | 새창보기 |
[KST2022011255][연세대학교] | 비휘발성 메모리 소자 및 이를 포함하는 래치 | 새창보기 |
[KST2015012944][연세대학교] | 환원반응을 통한 비휘발성 저항 스위칭 메모리 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2015209709][연세대학교] | 강유전체 박막 캐패시터 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015127878][연세대학교] | 복수의 금속층을 포함하는 고체 전해질을 이용한 저항 변화 메모리 | 새창보기 |
[KST2022011257][연세대학교] | 비휘발성 메모리 소자 및 이를 포함하는 래치 | 새창보기 |
[KST2015002726][연세대학교] | 나노 와이어 반도체 소자, 이를 구비하는 반도체 메모리소자 및 그의 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2015125260][연세대학교] | 플래시 메모리 소자의 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015013112][연세대학교] | 저항 스위칭 메모리 소자 및 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2015125361][연세대학교] | 저온 공정을 이용한 플래쉬 메모리 소자의 제조 방법 및 플래쉬 메모리 소자 | 새창보기 |
[KST2015127777][연세대학교] | 비휘발성 저항 스위칭 메모리 소자 및 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2015126592][연세대학교] | 크로스바 어레이 구조를 갖는 저항변화 메모리에 적용 가능한 다층 박막 구조, 상기 다층 박막 구조의 중간층을 갖는 저항변화 메모리 및 상기 다층 박막 구조의 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015210200][연세대학교] | 복수의 금속층을 포함하는 고체 전해질을 이용한 저항 변화 메모리 | 새창보기 |
[KST2015125513][연세대학교] | 초저 표면거칠기를 갖는 강유전성 PVDF/PMMA 박막을 적용한 비휘발성 메모리 디바이스의 제조방법 | 새창보기 |
[KST2014040359][연세대학교] | 비휘발성 저항 스위칭 메모리 제조 방법 및 비휘발성 저항 스위칭 메모리 소자 | 새창보기 |
[KST2015126646][연세대학교] | 저 소비 전력 특성을 갖는 상변화 메모리 소자 및 그 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2015125814][연세대학교] | 전도성 필라멘트를 조절할 수 있는 저항 변화 메모리 소자 제조 방법 및 그 메모리 소자 | 새창보기 |
[KST2015125605][연세대학교] | 누설 전류를 억제하는 수단이 구비된 강유전체 메모리 소자 및 그 강유전체 메모리 소자의 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2015126130][연세대학교] | 저온 공정을 이용한 3D 적층셀 구조의 플래쉬 메모리 소자의 제조 방법 및 3D 적층셀 구조의 플래쉬 메모리 소자 | 새창보기 |
[KST2015125862][연세대학교] | 단결정 TIPS-PEN을 활성층으로 하는 FeFET 및FeFET형 비휘발성 메모리 | 새창보기 |
[KST2015124716][연세대학교] | 전자빔에 의해 직접패턴과 동시 상형성이 가능한 강유전 캐패시터의 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015127331][연세대학교] | 비휘발성 저항 스위칭 메모리 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2015127423][연세대학교] | Bi2Te3 나노선을 이용한 상변화 메모리 소자 | 새창보기 |
[KST2015127741][연세대학교] | 플래시 메모리 소자의 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015126321][연세대학교] | 저 소비 전력 특성을 갖는 상변화 메모리 소자 및 그 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2015126160][연세대학교] | 가변 저항 메모리 소자 및 이의 제조 방법 | 새창보기 |
심판사항 정보가 없습니다 |
---|