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스텐실 마스크 조립체 및 이를 이용한 빔 조사 장치와 빔 조사 방법

  • 기술번호 : KST2015125755
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 스텐실 마스크 조립체 및 이를 이용한 빔 조사 장치와 빔 조사 방법에 관한 것이다. 더욱 상세하게는, 본 발명은 기판상의 빔 조사 공정에서 사용되는 스텐실 마스크에 있어서, i) 서로 결합 및 분리가 가능한 다수의 마스크 유닛; 및 ii) 상기 다수의 마스크 유닛에 각각 연결되는 미세 액추에이터;로 구성되는 스텐실 마스크 조립체 및 이를 이용한 빔 조사 장치와 빔 조사 방법에 대한 것이다. 스텐실 마스크, 조립체, 액추에이터, 빔 조사, 패턴
Int. CL H01L 21/268 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01)
CPC G03F 1/70(2013.01) G03F 1/70(2013.01) G03F 1/70(2013.01) G03F 1/70(2013.01) G03F 1/70(2013.01)
출원번호/일자 1020090099661 (2009.10.20)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1082536-0000 (2011.11.04)
공개번호/일자 10-2011-0042819 (2011.04.27) 문서열기
공고번호/일자 (20111110) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.10.20)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 민병권 대한민국 서울 성북구
2 이상조 대한민국 경기 고양시 일산동구
3 한진 대한민국 서울 서대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유)화우 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로***길 **, *층 (대치동, 삼호빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.10.20 수리 (Accepted) 1-1-2009-0641140-10
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2009.12.16 수리 (Accepted) 1-1-2009-0776447-42
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.02.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.03.21 수리 (Accepted) 9-1-2011-0025772-74
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.03.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0160645-55
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.05.23 수리 (Accepted) 1-1-2011-0379994-07
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.05.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0379995-42
8 등록결정서
Decision to grant		 2011.09.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0566230-22
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판상의 빔 조사 공정에서 사용되는 스텐실 마스크에 있어서, i) 서로 결합 및 분리가 가능한 다수의 마스크 유닛(10); 및 ii) 상기 다수의 마스크 유닛(10)에 각각 연결되는 미세 액추에이터(20);로 구성되는 스텐실 마스크 조립체
2 2
제1항에 있어서, 상기 미세 액추에이터(20)의 구동에 의하여 상기 다수의 마스크 유닛(10)들이 서로 결합 또는 분리되어, 일정한 패턴의 빔 통과 영역을 형성하는 것을 특징으로 하는 스텐실 마스크 조립체
3 3
제1항에 있어서, 상기 다수의 마스크 유닛(10)들의 서로 맞물리는 접촉면이 직선 또는 곡선의 형태를 가지는 것을 특징으로 하는 스텐실 마스크 조립체
4 4
제1항에 있어서, 상기 미세 액추에이터(20)가 피에조(piezo) 액추에이터 또는 폴리머(polymer) 액추에이터인 것을 특징으로 하는 스텐실 마스크 조립체
5 5
스텐실 마스크를 이용한 기판상의 빔 조사 장치에 있어서, i) 서로 결합 및 분리가 가능한 다수의 마스크 유닛과 상기 다수의 마스크 유닛에 각각 연결되는 미세 액추에이터로 구성되는 스텐실 마스크 조립체; ii) 기판상에 조사하고자 하는 패턴을 결정하고, 상기 결정된 패턴에 따라 상기 미세 액추에이터를 구동하여 상기 다수의 마스크 유닛을 결합 또는 분리시키는 제어수단; 및 iii) 상기 제어수단에 의하여 일정한 패턴의 빔 통과 영역을 형성한 상기 스텐실 마스크 조립체에 빔을 조사하는 빔 조사수단;을 포함하는 스텐실 마스크 조립체를 이용한 빔 조사 장치
6 6
제5항에 있어서, 상기 다수의 마스크 유닛들의 서로 맞물리는 접촉면이 직선 또는 곡선의 형태를 가지는 것을 특징으로 하는 스텐실 마스크 조립체를 이용한 빔 조사 장치
7 7
제5항에 있어서, 상기 미세 액추에이터가 피에조(piezo) 액추에이터 또는 폴리머(polymer) 액추에이터인 것을 특징으로 하는 스텐실 마스크 조립체를 이용한 빔 조사 장치
8 8
서로 결합 및 분리가 가능한 다수의 마스크 유닛과 상기 다수의 마스크 유닛에 각각 연결되는 미세 액추에이터로 구성된 스텐실 마스크 조립체를 이용한 빔 조사 장치의 조사방법에 있어서, i) 기판상에 조사하고자 하는 패턴을 결정하는 단계; ii) 상기 결정된 조사 패턴에 따라 상기 미세 액추에이터를 구동하여 상기 다수의 마스크 유닛을 결합 또는 분리시킴으로써 일정한 패턴의 빔 통과 영역을 형성하는 단계; 및 ii) 상기 빔 통과 영역이 형성된 스텐실 마스크 조립체 상에 빔을 조사하는 단계;를 포함하는 스텐실 마스크 조립체를 이용한 빔 조사 장치의 조사방법
9 9
제8항에 있어서, 상기 다수의 마스크 유닛들의 서로 맞물리는 접촉면이 직선 또는 곡선의 형태를 가지는 것을 특징으로 하는 스텐실 마스크 조립체를 이용한 빔 조사 장치의 조사방법
10 10
제8항에 있어서, 상기 미세 액추에이터가 피에조(piezo) 액추에이터 또는 폴리머(polymer) 액추에이터인 것을 특징으로 하는 스텐실 마스크 조립체를 이용한 빔 조사 장치의 조사방법
지정국 정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 연세대학교 산학협력단 청정제조 기반산업 원천기술 개발사업 다중빔 방식의 고효율 이용빔 가공공정 및 인-라인 시스템 개발