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금속 나노 입자의 국소 표면 플라즈몬 공명(LSPR, Localized Surface Plasmon Resonance)을 이용하여 기판 상에 미세 패턴을 형성시키는 패터닝 장치(100)로서, 기판 상부면으로부터 소정 거리만큼 이격되어 위치하고, 기판 상부면에 고정된 금속 나노 입자(101)에 빛을 가하여 국소 표면 플라즈몬 공명(LSPR)을 일으키는 광학 렌즈부(110); 상기 광학 렌즈부(110)와 소정 거리만큼 이격되어 위치하고, 상부면에 금속 나노 입자(101)를 위치시키는 기판(120); 상기 기판(120)에 장착되고, 기판 상부면에 위치한 금속 나노 입자(101)를 고정시키는 고정장치부(130); 및 상기 광학 렌즈부(110) 또는 기판(120)을 평면이동 시키는 구동부(140);를 포함하고,상기 고정장치부(130)는, 광학 족집게(Optical Tweezers) 또는 에어 석션(air suction) 장치를 이용하여 금속 나노 입자(101)를 기판 상부면에 고정시키는 것을 특징으로 하는 패터닝 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 광학 렌즈부(110)는, 기판 상부면으로부터 0 nm 초과에서 100 nm 미만의 거리만큼 이격되어 위치되어 있는 것을 특징으로 하는 패터닝 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 광학 렌즈부(110)는, 고체침지렌즈(SIL, Solid Immersion Lens)를 포함하는 것을 특징으로 하는 패터닝 장치
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제 3 항에 있어서, 상기 고체침지렌즈(SIL)에는 패턴이 형성되거나 형상이 추가되어 고체침지렌즈의 해상도를 향상시킨 것을 특징으로 하는 패터닝 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 광학 렌즈부(110)는, 금속 나노 입자(101)에 빛을 가하여 국소 표면 플라즈몬 공명(LSPR)을 일으키는 레이저 광원 장치 또는 펄스 광원 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 패터닝 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 고정장치부(130)는, 기판 상부면에 위치한 금속 나노 입자(101)에 전자기장을 걸어 금속 나노 입자에 정전기를 유도하여, 금속 나노 입자를 기판 상부면에 고정시키는 것을 특징으로 하는 패터닝 장치
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제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 따른 패터닝 장치(100)를 이용한 패턴 형성방법(S100)으로서, a) 기판 상부면에 금속 나노 입자를 위치시키는 입자배치단계(S110); b) 고정장치부를 이용하여 기판 상부면에 위치한 금속 나노 입자를 고정시키는 입자고정단계(S120); c) 광학 렌즈부를 이용하여 기판 상부면에 고정된 금속 나노 입자에 빛을 가하여 국소 표면 플라즈몬 공명을 일으키는 조사단계(S130); 및 d) 구동부를 이용하여 광학 렌즈부 또는 기판을 기입력된 패턴에 따라 평면이동 시키는 패턴형성단계(S140);를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성방법
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제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 따른 패터닝 장치(100)를 이용한 미세 패턴 구조 복구방법(S300)으로서, a) 기판의 파손된 패턴 부위에 금속 나노 입자를 위치시키는 입자배치단계(S310); b) 고정장치부를 이용하여 기판 상부면에 위치한 금속 나노 입자를 고정시키는 입자고정단계(S320); c) 광학 렌즈부를 이용하여 기판 상부면에 고정된 금속 나노 입자에 빛을 가하여 국소 표면 플라즈몬 공명을 일으키는 조사단계(S330); 및 d) 구동부를 이용하여 광학 렌즈부 또는 기판을 기입력된 패턴에 따라 평면이동 시켜 파손된 패턴 부위를 복구시키는 복구단계(S340);를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 패턴 구조 복구방법
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패터닝 장치(200)를 이용한 미세 패턴 구조 복구방법(S400)으로서, a) 기판의 파손된 패턴 부위에 금속 나노 입자를 위치시키는 입자배치단계(S410); b) 금속 나노 입자를 기판의 파손된 부위에 고정시키도록 기판 상부면에 투명 보호층을 코팅하는 입자고정단계(S420); c) 광학 렌즈부를 이용하여 기판 상부면에 고정된 금속 나노 입자에 빛을 가하여 국소 표면 플라즈몬 공명을 일으키는 조사단계(S430); 및 d) 구동부를 이용하여 광학 렌즈부 또는 기판을 기입력된 패턴에 따라 평면이동 시켜 파손된 패턴 부위를 복구시키는 복구단계(S440);를 포함하고, 상기 패터닝 장치(200)는: 금속 나노 입자의 국소 표면 플라즈몬 공명(LSPR, Localized Surface Plasmon Resonance)을 이용하여 기판 상에 미세 패턴을 형성시키는 패터닝 장치(200)로서, 기판 상부면으로부터 소정 거리만큼 이격되어 위치하고, 기판 상부면에 고정된 금속 나노 입자(201)에 빛을 가하여 국소 표면 플라즈몬 공명(LSPR)을 일으키는 광학 렌즈부(210); 상기 광학 렌즈부(210)와 소정 거리만큼 이격되어 위치하고, 상부면에 금속 나노 입자(201)를 위치시킨 후, 금속 나노 입자(201)를 상부면에 고정시키도록 투명 보호층(250)이 코팅된 기판(220); 및 상기 광학 렌즈부(210) 또는 기판(220)을 평면이동 시키는 구동부(240);를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 패턴 구조 복구방법
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