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1
기판 상에 보호층을 형성하는 보호층 형성부;
상기 보호층 상에 레지스트층을 형성하는 레지스트층 형성부;
상기 레지스트층을 패터닝하는 레지스트층 패터닝부; 및
상기 보호층의 노출 부위를 식각하는 보호층 식각부; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 패턴드 미디어 제작용 스탬프 제작장비
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2
제1항에 있어서,
상기 보호층과 상기 레지스트층 사이에 마스크층을 형성하는 마스크층 형성부와,
상기 마스크층의 노출 부위를 식각하는 마스크층 식각부를 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴드 미디어 제작용 스탬프 제작장비
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3
제1항에 있어서,
식각이 수행된 상기 보호층 상에 전주도금을 수행하는 전주도금부를 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴드 미디어 제작용 스탬프 제작장비
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4
제1항에 있어서,
식각이 수행된 상기 보호층의 패턴을 마스터에 전사하는 전사부를 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴드 미디어 제작용 스탬프 제작장비
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5
제4항에 있어서,
상기 보호층의 패턴이 전사된 상기 마스터 상에 전주도금을 수행하는 전주도금부를 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴드 미디어 제작용 스탬프 제작장비
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6
기판 상에 보호층을 형성하는 보호층 형성단계;
상기 보호층 상에 레지스트층을 형성하는 레지스트층 형성단계;
상기 레지스트층을 패터닝하는 레지스트층 패터닝단계; 및
상기 보호층의 노출 부위를 식각하는 보호층 식각단계; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 패턴드 미디어 제작용 스탬프 제작방법
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7
제6항에 있어서,
상기 보호층 형성단계는, 상기 기판과는 다른 식각 소스에 의하여 식각되는 재질의 보호층을 상기 기판 상에 형성하는 것을 특징으로 하는 패턴드 미디어 제작용 스탬프 제작방법
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8
제6항에 있어서,
상기 보호층 형성단계는, 제작하고자 하는 패턴드 미디어의 패턴 깊이에 대응되는 두께로 상기 보호층을 형성하는 것을 특징으로 하는 패턴드 미디어 제작용 스탬프 제작방법
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9
제6항에 있어서,
상기 레지스트층 패터닝단계는, 전자빔 리소그래피, 임프린팅 리소그래피, 홀로그래픽 리소그래피 또는 집속이온빔 리소그래피를 이용하여 상기 레지스트층을 패터닝하는 것을 특징으로 하는 패턴드 미디어 제작용 스탬프 제작방법
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10
제6항에 있어서,
상기 보호층 식각단계는, 상기 보호층을 상기 기판까지의 깊이로 식각하는 것을 특징으로 하는 패턴드 미디어 제작용 스탬프 제작방법
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11
제6항에 있어서,
상기 보호층과 상기 레지스트층 사이에 마스크층을 형성하는 마스크층 형성단계와,
상기 마스크층의 노출 부위를 식각하는 마스크층 식각 단계를 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴드 미디어 제작용 스탬프 제작방법
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12
제11항에 있어서,
상기 마스크층 형성단계는, 상기 보호층과는 다른 식각 소스에 의하여 식각되는 재질의 마스크층을 상기 보호층 상에 형성하는 것을 특징으로 하는 패턴드 미디어 제작용 스탬프 제작방법
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13
제6항에 있어서,
식각이 수행된 상기 보호층 상에 전주도금을 수행하는 전주도금단계를 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴드 미디어 제작용 스탬프 제작방법
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| 14 |
14
제6항에 있어서,
식각이 수행된 상기 보호층의 패턴을 마스터에 전사하는 전사단계를 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴드 미디어 제작용 스탬프 제작방법
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15
제14항에 있어서,
상기 전사단계는, 광경화 임프린팅, 열경화 임프린팅, 사출성형, 압축성형, 또는 핫엠보싱을 수행하는 것을 특징으로 하는 스탬프 제작방법
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16
제14항에 있어서,
상기 보호층의 패턴이 전사된 상기 마스터 상에 전주도금을 수행하는 전주도금단계를 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴드 미디어 제작용 스탬프 제작방법
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17
제6항에 있어서,
상기 레지스트층 패터닝 단계는, 제작하고자 하는 상기 패턴드 미디어의 패턴과 반대되거나 또는 동일한 패턴으로 상기 레지스트층을 패터닝하는 것을 특징으로 하는 패턴드 미디어 제작용 스탬프 제작방법
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18
제6항 내지 제17항 중 어느 한 항의 패턴드 미디어 제작용 스탬프 제작방법에 의하여 스탬프를 제작하는 스탬프 제작단계;
상기 스탬프의 패턴을 패턴층에 복제하는 복제단계; 및
상기 패턴이 복제된 패턴층 상에 마그네틱층을 형성하는 마그네틱층 형성단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 패턴드 미디어 제작방법
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19
제18항에 있어서,
상기 복제단계는, 광경화 임프린팅, 열경화 임프린팅, 사출성형, 압축성형, 또는 핫엠보싱을 수행하는 것을 특징으로 하는 패턴드 미디어 제작방법
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20
제19항에 있어서,
상기 사출성형은, 상기 스탬프가 인서트된 금형을 이용하여 수행하는 것을 특징으로 하는 패턴드 미디어 제작방법
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