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이중 터널 접합 구조를 이용한 자기 메모리 소자 및 자기 메모리 소자의 정보 기록방법과 정보 판독방법

  • 기술번호 : KST2015141132
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 집적도가 높은 이중 터널 접합 구조를 이용한 자기 메모리 소자와 이 자기 메모리 소자의 정보 기록방법과 정보 판독방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 자기 메모리 소자는 제1 평면 상에 일 방향으로 길게 뻗은 형상으로 형성되어 있는 복수의 제1 선택용 배선과, 제1 평면의 상부에 형성되어 있는 제2 평면 상에 제1 선택용 배선의 형성방향과 교차하는 방향으로 길게 뻗은 형상으로 형성되어 있는 복수의 제2 선택용 배선과, 제2 평면의 상부에 형성되어 있는 제3 평면 상에 제1 선택용 배선의 형성방향과 동일한 방향으로 길게 뻗은 형상으로 형성되어 있는 복수의 제3 선택용 배선과, 제1 선택용 배선과 제2 선택용 배선의 사이에 배치되며 하단부는 제1 선택용 배선과 연결되고 상단부는 제2 선택용 배선과 연결되는 복수의 제1 메모리 셀과, 제2 선택용 배선과 제3 선택용 배선의 사이에 배치되며, 하단부는 제2 선택용 배선과 연결되고 상단부는 제3 선택용 배선과 연결되는 복수의 제2 메모리 셀을 구비한다. 이때, 제1 메모리 셀과 제2 메모리 셀은 자화 방향이 전환될 수 있는 자화 자유층, 제1 절연층, 자화 방향이 고정되어 있는 자화 고정층, 제2 절연층 및 전도층이 순차적으로 적층되어 있는 이중 터널 접합(double tunnel junction, DTJ) 구조를 갖는다.
Int. CL G11C 11/16 (2006.01.01) G11C 11/15 (2006.01.01) H01L 43/08 (2006.01.01) H01L 27/22 (2006.01.01)
CPC G11C 11/16(2013.01) G11C 11/16(2013.01) G11C 11/16(2013.01) G11C 11/16(2013.01)
출원번호/일자 1020090132469 (2009.12.29)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1212715-0000 (2012.12.10)
공개번호/일자 10-2011-0075899 (2011.07.06) 문서열기
공고번호/일자 (20121214) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.01.17)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 송윤흡 대한민국 경기도 성남시 분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 송경근 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로**길 ** (방배동) 기산빌딩 *층(엠앤케이홀딩스주식회사)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 서울특별시 성동구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2009-0810414-34
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2011.01.17 수리 (Accepted) 1-1-2011-0037570-20
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.10.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.11.15 수리 (Accepted) 9-1-2011-0089128-79
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.07.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0422475-03
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.09.20 수리 (Accepted) 1-1-2012-0763886-61
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.10.15 수리 (Accepted) 1-1-2012-0834445-94
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.10.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0834462-60
9 등록결정서
Decision to grant
2012.10.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0636155-16
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2014-5068294-39
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5022074-70
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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2 2
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3 3
제1 평면 상에, 일 방향으로 길게 뻗은 형상으로 형성되어 있는 복수의 제1 선택용 배선;상기 제1 평면의 상부에 이격되어 형성되어 있는 제2 평면 상에, 상기 제1 선택용 배선의 형성방향과 교차하는 방향으로 길게 뻗은 형상으로 형성되어 있는 복수의 제2 선택용 배선;상기 제2 평면의 상부에 이격되어 형성되어 있는 제3 평면 상에, 상기 제1 선택용 배선의 형성방향과 동일한 방향으로 길게 뻗은 형상으로 형성되어 있는 복수의 제3 선택용 배선;상기 제1 선택용 배선과 제2 선택용 배선의 사이에 배치되며, 하단부는 상기 제1 선택용 배선과 연결되고 상단부는 상기 제2 선택용 배선과 연결되는 복수의 제1 메모리 셀; 및상기 제2 선택용 배선과 제3 선택용 배선의 사이에 배치되며, 하단부는 상기 제2 선택용 배선과 연결되고 상단부는 상기 제3 선택용 배선과 연결되는 복수의 제2 메모리 셀;을 포함하며,상기 제1 메모리 셀과 제2 메모리 셀은 자화 방향이 전환될 수 있는 자화 자유층, 제1 절연층, 자화 방향이 고정되어 있는 자화 고정층, 제2 절연층 및 전도층이 순차적으로 적층되어 있는 이중 터널 접합(double tunnel junction, DTJ) 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 자기 메모리 소자에 정보를 기록하는 방법으로,상기 자화 자유층의 자화 방향을 전환시키는 최소의 전압을 임계 전압(Vth)이라 할 때,정보를 기록하고자 선택된 메모리 셀이 제1 메모리 셀 중 어느 하나인 경우,상기 선택된 메모리 셀과 연결된 제1 선택용 배선을 기준으로, 상기 선택된 메모리 셀과 연결된 제2 선택용 배선에는 V11의 전압을 인가하고, 상기 선택된 메모리 셀과 연결되지 않은 제1 선택용 배선에는 V12의 전압을 인가하며, 상기 선택된 메모리 셀과 연결되지 않은 제2 선택용 배선에는 V13의 전압을 인가하고, 상기 제3 선택용 배선에는 V14의 전압을 인가하거나,상기 선택된 메모리 셀과 연결된 제2 선택용 배선을 기준으로, 상기 선택된 메모리 셀과 연결된 제1 선택용 배선에는 V15의 전압을 인가하고, 상기 선택된 메모리 셀과 연결되지 않은 제2 선택용 배선에는 V16의 전압을 인가하며, 상기 선택된 메모리 셀과 연결되지 않은 제1 선택용 배선에는 V17의 전압을 인가하고, 상기 제3 선택용 배선에는 V18의 전압을 인가하여, 상기 선택된 메모리 셀에 구비된 자화 자유층의 자화를 전환시키고,정보를 기록하고자 선택된 메모리 셀이 제2 메모리 셀 중 어느 하나인 경우,상기 선택된 메모리 셀과 연결된 제3 선택용 배선을 기준으로, 상기 선택된 메모리 셀과 연결된 제2 선택용 배선에는 V21의 전압을 인가하고, 상기 선택된 메모리 셀과 연결되지 않은 제3 선택용 배선에는 V22의 전압을 인가하며, 상기 선택된 메모리 셀과 연결되지 않은 제2 선택용 배선에는 V23의 전압을 인가하고, 상기 제1 선택용 배선에는 V24의 전압을 인가하거나,상기 선택된 메모리 셀과 연결된 제2 선택용 배선을 기준으로, 상기 선택된 메모리 셀과 연결된 제3 선택용 배선에는 V25의 전압을 인가하고, 상기 선택된 메모리 셀과 연결되지 않은 제3 선택용 배선에는 V26의 전압을 인가하며, 상기 선택된 메모리 셀과 연결되지 않은 제2 선택용 배선에는 V27의 전압을 인가하고, 상기 제1 선택용 배선에는 V28의 전압을 인가하여, 상기 선택된 메모리 셀에 구비된 자화 자유층의 자화를 전환시키되,상기 V11, V12, V13 및 V14는 하기 수학식 1 내지 수학식 6의 조건을 만족하고, 상기 V15, V16, V17 및 V18은 하기 수학식 7 내지 수학식 12의 조건을 만족하며, 상기 V21, V22, V23 및 V24는 하기 수학식 13 내지 수학식 18의 조건을 만족하고, 상기 V25, V26, V27 및 V28은 하기 수학식 19 내지 수학식 24의 조건을 만족하도록 설정하는 것을 특징으로 하는 자기 메모리 소자의 정보 기록방법
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