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1
기판 상에 하부 전극, 자기 터널 접합, 캐핑층, 합성 교환 반자성층 및 상부 전극이 적층 형성되고,상기 하부 전극은 다결정의 제 1 하부 전극과 비정질의 제 2 하부 전극이 적층 형성되며,상기 캐핑층은 0
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2
청구항 1에 있어서, 상기 다결정의 제 1 하부 전극의 결정 구조를 따라 상기 제 2 하부 전극 및 상기 자기 터널 접합이 비정질로 성장되는 메모리 소자
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3 |
3
청구항 2에 있어서, 상기 제 1 하부 전극은 다결정의 금속 질화물을 포함하고, 제 2 하부 전극은 비정질의 금속을 포함하는 메모리 소자
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4 |
4
청구항 3에 있어서, 상기 제 1 하부 전극은 TiN를 포함하고, 상기 제 2 하부 전극은 Ta를 포함하는 메모리 소자
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6
삭제
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7
청구항 1에 있어서, 상기 캐핑층의 0
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8
청구항 7에 있어서, 상기 캐핑층은 Ti를 포함하는 메모리 소자
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9
삭제
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10
기판 상에 하부 전극, 자기 터널 접합, 캐핑층, 합성 교환 반자성층 및 상부 전극이 적층 형성되고,상기 캐핑층은 0
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11 |
11
청구항 10에 있어서, 상기 하부 전극은 다결정의 제 1 하부 전극과 비정질의 제 2 하부 전극이 적층 형성된 메모리 소자
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12 |
12
청구항 11에 있어서, 상기 다결정의 제 1 하부 전극의 결정 구조를 따라 상기 제 2 하부 전극 및 상기 자기 터널 접합이 비정질로 성장되는 메모리 소자
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13 |
13
청구항 12에 있어서, 상기 제 1 하부 전극은 다결정의 금속 질화물을 포함하고, 제 2 하부 전극은 비정질의 금속을 포함하는 메모리 소자
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14 |
14
청구항 13에 있어서, 상기 제 1 하부 전극은 TiN를 포함하고, 상기 제 2 하부 전극은 Ta를 포함하는 메모리 소자
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16
청구항 10에 있어서, 상기 캐핑층의 0
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17
청구항 16에 있어서, 상기 캐핑층은 Ti를 포함하는 메모리 소자
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18
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