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p형 산화 아연 나노와이어의 제조방법 및 에너지 변환 소자의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015142024
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 은(Ag)이 도핑된 산화 아연 나노 와이어의 제조방법 및 에너지 변환 소자의 제조방법이 개시된다. 개시된 산화 아연 나노 와이어의 제조방법은, 은(Ag)을 포함하는 수용액을 이용한 저온 수열 합성법에 의해 은(Ag)이 도핑된 산화아연 나노와이어를 성장시킨다.
Int. CL C01G 9/02 (2006.01.01) H01L 41/18 (2006.01.01) B82Y 40/00 (2017.01.01)
CPC C01G 9/02(2013.01) C01G 9/02(2013.01) C01G 9/02(2013.01) C01G 9/02(2013.01) C01G 9/02(2013.01)
출원번호/일자 1020120119305 (2012.10.25)
출원인 삼성전자주식회사, 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2013-0049153 (2013.05.13) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020110114130   |   2011.11.03
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.10.25)
심사청구항수 24

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 삼성전자주식회사 대한민국 경기도 수원시 영통구
2 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김현진 대한민국 경기 성남시 분당구
2 박영준 대한민국 경기 수원시 영통구
3 홍진표 대한민국 서울 성동구
4 이준석 대한민국 서울특별시 도봉구
5 이상효 대한민국 서울 성동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.10.25 수리 (Accepted) 1-1-2012-0873430-68
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2012.11.02 수리 (Accepted) 1-1-2012-0902564-47
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2014-5068294-39
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5022074-70
5 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2017.10.25 수리 (Accepted) 1-1-2017-1053786-02
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.10.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.12.07 수리 (Accepted) 9-1-2018-0067044-80
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.02.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0091360-38
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.04.08 수리 (Accepted) 1-1-2019-0359389-12
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.04.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0359390-69
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
13 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2019.08.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0620748-14
14 등록결정서
Decision to grant
2020.11.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0821864-29
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
은(Ag)이 도핑된 산화아연(ZnO) 나노와이어를 제조하는 방법에 있어서,은(Ag)을 포함하는 수용액을 이용한 저온 수열 합성법(low temperature hydrothermal synthesis method)에 의해 기판 상에 상기 은(Ag)이 도핑된 산화아연 나노와이어를 성장시키는 산화아연 나노와이어의 제조방법
2 2
제 1 항에 있어서,은(Ag) 염, 아연(Zn) 염 및 환원제를 포함하는 상기 수용액을 마련하는 단계;상기 수용액 내에 상기 기판을 침지(沈漬)하는 단계; 및상기 기판 상에 상기 은(Ag)이 도핑된 산화아연 나노와이어를 성장시키는 단계;를 포함하는 산화아연 나노와이어의 제조방법
3 3
제 2 항에 있어서,상기 수용액 내의 아연(Zn) 염 및 환원제의 몰농도는 0
4 4
제 2 항에 있어서,상기 수용액 내의 은(Ag) 염의 몰농도는 0
5 5
제 4 항에 있어서,상기 은(Ag)이 도핑된 산화아연 나노와이어의 성장시 상기 수용액의 온도는 70℃ ~ 100℃인 산화아연 나노와이어의 제조방법
6 6
제 4 항에 있어서,상기 기판은 유연한(flexible) 기판, 신축성이 있는(stretchable) 기판 또는 솔리드(solid) 기판을 포함하는 산화아연 나노와이어의 제조방법
7 7
제 2 항에 있어서,상기 수용액 내의 은(Ag) 염의 몰농도는 0
8 8
제 7 항에 있어서,상기 성장된 은(Ag)이 도핑된 산화 아연(ZnO) 나노 와이어를 열처리하는 단계를 더 포함하는 산화아연 나노와이어의 제조방법
9 9
제 8 항에 있어서,상기 열처리는 400℃ ~ 600℃의 온도에서 수행되는 산화아연 나노 와이어의 제조방법
10 10
제 7 항에 있어서,상기 은(Ag)이 도핑된 산화아연 나노와이어의 성장시 상기 수용액의 온도는 80℃ ~ 110℃인 산화아연 나노와이어의 제조방법
11 11
제 7 항에 있어서,상기 기판은 반도체, 부도체, 금속 또는 폴리머를 포함하는 산화아연 나노 와이어의 제조방법
12 12
제 2 항에 있어서,상기 기판 상에 상기 산화아연 나노와이어의 성장을 위한 시드층(seed layer)을 형성하는 단계를 더 포함하는 산화아연 나노와이어의 제조방법
13 13
제 12 항에 있어서,상기 시드층은 ZnO를 포함하는 산화아연 나노와이어의 제조방법
14 14
제 13 항에 있어서,상기 시드층은 디핑(dipping) 방법에 의해 형성되는 산화아연 나노와이어의 제조방법
15 15
제 14 항에 있어서, 상기 시드층을 형성하는 단계는, 아연 아세트산염(zinc acetate) 수용액에 상기 기판을 침지하는 단계; 및 상기 기판을 꺼낸 다음 공기 중에서 상기 기판을 소정 온도로 유지하는 단계;를 포함하는 산화아연 나노와이어의 제조방법
16 16
제 15 항에 있어서,상기 아연 아세트산염의 몰농도는 0
17 17
제 12 항에 있어서,상기 시드층은 Zn 또는 Au를 포함하는 산화아연 나노와이어의 제조방법
18 18
제 2 항에 있어서,상기 은(Ag) 염은 질산 은(AgNO3)을 포함하는 산화아연 나노와이어의 제조방법
19 19
제 2 항에 있어서,상기 아연(Zn) 염은 질산 아연(ZnNO3)을 포함하는 산화아연 나노와이어의 제조방법
20 20
제 2 항에 있어서,상기 환원제는 Hexamethlylenetetramine(HMTA)를 포함하는 산화아연 나노와이어의 제조방법
21 21
제 1 항에 기재된 방법에 의하여 제조된 은(Ag)이 도핑된 산화아연 나노와이어
22 22
제1 전극이 형성된 제1 기판을 준비하는 단계;상기 제1 전극 상에 은(Ag)을 포함하는 수용액을 이용한 저온 수열 합성법에 의해 은(Ag)이 도핑된 산화아연 나노와이어를 성장시키는 단계; 및상기 성장된 은(Ag)이 도핑된 산화아연 나노와이어들 상에 제2 전극이 형성된 제2 기판을 마련하는 단계;를 포함하는 에너지 변환 소자의 제조방법
23 23
제 22 항에 있어서,상기 은(Ag)이 도핑된 산화아연 나노와이어를 성장시키는 단계는,은(Ag) 염, 아연(Zn) 염 및 환원제를 포함하는 상기 수용액을 마련하는 단계;상기 수용액 내에 상기 제1 기판을 침지(沈漬)하는 단계; 및상기 제1 기판의 제1 전극 상에 상기 은(Ag)이 도핑된 산화아연 나노와이어를 성장시키는 단계;를 포함하는 에너지 변환 소자의 제조방법
24 24
제 23 항에 있어서,상기 수용액 내의 아연(Zn) 염 및 환원제의 몰농도는 0
25 25
제 23 항에 있어서,상기 수용액 내의 은(Ag) 염의 몰농도는 0
26 26
제 25 항에 있어서,상기 은(Ag)이 도핑된 산화아연 나노와이어의 성장시 상기 수용액의 온도는 70℃ ~ 100℃인 에너지 변환 소자의 제조방법
27 27
제 25 항에 있어서,상기 제1 및 제2 기판은 유연한(flexible) 기판, 신축성이 있는(stretchable) 기판 또는 솔리드(solid) 기판을 포함하는 에너지 변환 소자의 제조방법
28 28
제 23 항에 있어서,상기 수용액 내의 은(Ag) 염의 몰농도는 0
29 29
제 28 항에 있어서,상기 성장된 은(Ag)이 도핑된 산화 아연(ZnO) 나노 와이어를 열처리하는 단계를 더 포함하는 에너지 변환 소자의 제조방법
30 30
제 29 항에 있어서,상기 열처리는 400℃ ~ 600℃의 온도에서 수행되는 에너지 변환 소자의 제조방법
31 31
제 28 항에 있어서,상기 은(Ag)이 도핑된 산화아연 나노와이어의 성장시 상기 수용액의 온도는 80℃ ~ 110℃인 에너지 변환 소자의 제조방법
32 32
제 28 항에 있어서,상기 제1 및 제2 기판은 반도체, 부도체, 금속 또는 폴리머를 포함하는 에너지 변환 소자의 제조방법
33 33
제 23 항에 있어서,상기 제1 및 제2 전극은 금속, ITO(Indium Tin Oxide), GTO(Gallium Tin Oxide)또는 PEDOT(Poly(3,4-ethylenedioxythiophene)을 포함하는 에너지 변환 소자의 제조방법
34 34
제 22 항에 있어서,상기 제1 기판의 제1 전극 상에 상기 산화아연 나노와이어의 성장을 위한 시드층을 형성하는 단계를 더 포함하는 에너지 변환 소자의 제조방법
35 35
제 34 항에 있어서,상기 시드층은 ZnO, Zn 또는 Au를 포함하는 에너지 변환 소자의 제조방법
36 36
제 22 항에 기재된 방법에 의하여 제조된 에너지 변환 소자
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