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솔더볼 제조방법

  • 기술번호 : KST2015144194
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 패키징에 이용되는 마이크로 솔더볼 제조방법에 관한 것이며, 보다 상세하게는 제조가 매우 용이할 뿐만 아니라 균일한 사이즈의 솔더볼을 제조할 수 있는 솔더볼 제조방법에 관한 것이다. 이에, 본 발명의 솔더볼 제조방법은, 솔더 및 상기 솔더와의 젖음성이 낮은 기판을 준비하는 단계; 상기 기판 위에 마스크층을 형성하는 마스크층 형성단계; 상기 마스크층을 패터닝하여 홈을 형성하는 단계; 상기 마스크층의 홈에 솔더를 도금하는 솔더 도금단계; 상기 마스크층을 제거하는 마스크층 제거 단계; 상기 솔더를 가열함으로써 솔더볼을 형성하는 단계; 및 상기 솔더볼을 기판에서 분리시키는 솔더볼 분리단계를 포함하여 이루어진다.
Int. CL H01L 21/60 (2006.01)
CPC H01L 24/11(2013.01) H01L 24/11(2013.01) H01L 24/11(2013.01) H01L 24/11(2013.01)
출원번호/일자 1020070115693 (2007.11.13)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자 10-0924818-0000 (2009.10.27)
공개번호/일자 10-2009-0049436 (2009.05.18) 문서열기
공고번호/일자 (20091103) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.11.13)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 서수정 대한민국 경기 수원시 권선구
2 김장현 대한민국 경기 수원시 권선구
3 박인수 대한민국 경기 수원시 장안구
4 나성훈 대한민국 경기 부천시 원미구
5 김진수 대한민국 서울 관악구
6 이용호 대한민국 대구 달서구
7 임승규 대한민국 경기 안양시 동안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다울 대한민국 서울 강남구 봉은사로 ***, ***호(역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.11.13 수리 (Accepted) 1-1-2007-0814158-64
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.10.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.11.11 수리 (Accepted) 9-1-2008-0072008-18
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.04.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0184504-29
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.06.23 수리 (Accepted) 1-1-2009-0380259-33
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.06.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0380271-82
7 등록결정서
Decision to grant
2009.10.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0427056-54
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090770-53
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2012-5131828-19
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.06.27 수리 (Accepted) 4-1-2012-5137236-29
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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솔더 및 상기 솔더와의 젖음성이 낮은 기판을 준비하는 단계; 상기 기판 위에 마스크층을 형성하는 마스크층 형성단계; 상기 마스크층을 패터닝하여 홈을 형성하는 단계; 상기 마스크층의 홈에 솔더를 도금하는 솔더 도금단계; 상기 마스크층을 제거하는 마스크층 제거 단계; 상기 솔더를 가열함으로써 솔더볼을 형성하는 단계; 및 상기 솔더볼을 기판에서 분리시키는 솔더볼 분리단계를 포함하며, 상기 솔더는 Sn-Ag 합금이고, 상기 도금단계 전에 상기 마스크층의 홈 내에 구리씨드층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 솔더볼 제조방법
8 8
제7항에 있어서, 상기 기판이 유기물질인 것을 특징으로 하는 솔더볼 제조방법
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제8항에 있어서, 상기 기판이 폴리이미드 또는 PET인 것을 특징으로 하는 솔더볼 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 구리씨드층이 스퍼터링을 통해 전체면에 구리를 증착한 뒤에 상기 마스크층의 위에 증착된 구리를 에칭하는 방법에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 솔더볼 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 Sn-Ag 합금의 Ag 함량이 2
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.