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정렬장치

  • 기술번호 : KST2014048757
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 웨이퍼 또는 칩 등의 반도체소자들을 입체적으로 정렬할 때 반도체소자간 정렬을 위한 정렬장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 정렬장치는 제1반도체소자에 형성되며 소정 전기신호를 송신하는 송신 회로패턴; 상기 제1반도체소자의 상부 또는 하부에 위치하는 제2반도체소자에 형성되며 상기 송신 회로패턴에서 발신된 신호를 수신하는 수신 회로패턴; 및 상기 수신 회로패턴에서 수신된 신호의 세기 또는 강도를 감지하여 제1반도체소자와 제2반도체소자의 정렬 위치를 결정하는 위치결정부를 포함하여 구성된다. 본 발명에 따르면, 반도체소자들을 접합할 때 수신 회로패턴에서의 신호의 세기 또는 강도를 이용하여 반도체소자들을 정렬함으로써, 픽앤플레이스툴 등과 같은 재치장치에 의하여 반도체소자에 형성된 얼라인 마크나 패턴 등이 가려진 상태에서도 반도체소자간 정렬을 정확하게 할 수 있으며, 정렬오차에 의한 불량품 발생률을 현저하게 감소시키는 효과가 있다.
Int. CL H01L 23/48 (2006.01) H01L 21/60 (2006.01)
CPC H01L 23/544(2013.01) H01L 23/544(2013.01) H01L 23/544(2013.01) H01L 23/544(2013.01) H01L 23/544(2013.01)
출원번호/일자 1020110067281 (2011.07.07)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1232287-0000 (2013.02.05)
공개번호/일자 10-2013-0005715 (2013.01.16) 문서열기
공고번호/일자 (20130212) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.07.07)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권기원 대한민국 경기도 성남시 분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 경기도 수원시 장안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.07.07 수리 (Accepted) 1-1-2011-0520574-10
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.04.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090770-53
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.05.21 수리 (Accepted) 9-1-2012-0038519-78
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2012-5131828-19
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.06.27 수리 (Accepted) 4-1-2012-5137236-29
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.09.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0535225-12
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.11.12 수리 (Accepted) 1-1-2012-0927662-43
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.11.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0927660-52
10 등록결정서
Decision to grant
2013.01.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0062938-20
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
복수의 반도체소자를 입체적으로 정렬하기 위한 정렬장치에 있어서,제1반도체소자에 형성되며 소정 전기신호를 송신하는 송신 회로패턴;상기 제1반도체소자의 상부 또는 하부에 위치하는 제2반도체소자에 형성되며 상기 송신 회로패턴에서 발신된 신호를 수신하는 수신 회로패턴; 및상기 수신 회로패턴에서 수신된 신호 세기 또는 강도를 감지하여 제1반도체소자와 제2반도체소자의 정렬 위치를 결정하는 위치결정부를 포함하고,상기 송신 회로패턴과 수신 회로패턴은 라디오 주파수(RF)를 송수신하는 정렬장치
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삭제
3 3
제1항에 있어서, 상기 송신 회로패턴과 수신 회로패턴은 인덕티브 커플링을 통하여 라디오 주파수를 송수신하는 정렬장치
4 4
제1항에 있어서,상기 송신 회로패턴과 수신 회로패턴은 커패시티브 커플링을 통하여 라디오 주파수를 송수신하는 정렬장치
5 5
제3항에 있어서,상기 송신 회로패턴과 수신 회로패턴은 각각 라디오 주파수를 송수신하기 위한 인덕터를 구비한 정렬장치
6 6
제5항에 있어서,상기 송신 회로패턴의 인덕터와 수신 회로패턴의 인덕터 사이에 신호감쇄 방지용 홀이 형성된 정렬장치
7 7
제6항에 있어서,상기 신호감쇄 방지용 홀 내부에는 자성재료가 충전되는 정렬장치
8 8
제6항에 있어서,상기 신호감쇄 방지용 홀 내부에는 절연물질이 충전되는 정렬장치
9 9
제1항 및 제3항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,상기 송신 회로패턴은 비접촉 방식으로 전력을 공급받는 정렬장치
10 10
제1항 및 제3항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,상기 송신 회로패턴은 전력공급용 노드를 통합 접촉 방식으로 전력을 공급받는 정렬장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 한국산업기술평가관리원 서울테크노파크 산업원천기술개발사업 마이크로시스템 패키징 기술개발