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금속 산화물 트랜지스터 및 이의 제조 방법

기술번호 : KST2015144444
담당센터 : 경기기술혁신센터
전화번호 : 031-8006-1570

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	금속 산화물 트랜지스터 및 상기 금속 산화물 트랜지스터의 제조 방법에 관한 것이다.
Int. CL	H01L 29/786 (2006.01)
CPC	H01L 29/7869(2013.01)
출원번호/일자	1020140154687 (2014.11.07)
출원인	성균관대학교산학협력단
등록번호/일자	10-1556644-0000 (2015.09.23)
공개번호/일자
공고번호/일자	(20151001) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	소멸
심사진행상태	수리
심판사항
구분	신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2014.11.07)
심사청구항수	8

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	성균관대학교산학협력단	대한민국	경기도 수원시 장안구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	조정호	대한민국	서울특별시 서초구
2	최용석	대한민국	경기도 수원시 장안구
3	김영훈	대한민국	경기도 성남시 분당구
4	박원영	대한민국	경기도 수원시 장안구
5	강문성	대한민국	서울특별시 종로구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	특허법인엠에이피에스	대한민국	서울특별시 강남구 테헤란로길 , 층 (역삼동, 한동빌딩)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	성균관대학교산학협력단	대한민국	경기도 수원시 장안구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2014.11.07	수리 (Accepted)	1-1-2014-1075984-36
2	[출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment	2015.01.12	수리 (Accepted)	1-1-2015-0027118-76
3	[우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서 [Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)	2015.03.25	수리 (Accepted)	1-1-2015-0290482-72
4	[우선심사신청]선행기술조사의뢰서 [Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search	2015.03.27	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
5	[우선심사신청]선행기술조사보고서 [Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search	2015.04.06	수리 (Accepted)	9-1-2015-0021526-15
6	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2015.05.15	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2015-0322315-08
7	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2015.07.15	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2015-0684433-20
8	[분할출원]특허출원서 [Divisional Application] Patent Application	2015.07.15	수리 (Accepted)	1-1-2015-0685476-51
9	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2015.07.15	수리 (Accepted)	1-1-2015-0684432-85
10	등록결정서 Decision to grant	2015.09.09	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2015-0618208-29
11	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2017.02.23	수리 (Accepted)	4-1-2017-5028829-43

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 삭제
2	2 삭제
3	3 삭제
4	4 삭제
5	5 삭제
6	6 투명 플라스틱 기재의 동일면 상에 동일한 금속 산화물을 포함하는 소스 전극, 게이트 전극, 반도체 층, 및 드레인 전극을 형성하는 단계;상기 게이트 전극의 일부 및 상기 반도체 층의 전부 상에 이온겔 층을 형성하는 단계; 및,상기 소스 전극, 상기 드레인 전극, 및 상기 이온겔 층이 형성되지 않은 상기 게이트 전극을 플라즈마 처리 하는 단계를 포함하는, 금속 산화물 트랜지스터의 제조 방법
7	7 제 6 항에 있어서,상기 소스 전극, 상기 드레인 전극, 및 상기 이온겔 층이 형성되지 않은 상기 게이트 전극은 상기 플라즈마 처리에 의해 전도도가 증가하는 것인, 금속 산화물 트랜지스터의 제조 방법
8	8 제 6 항에 있어서,상기 금속 산화물을 포함하는 상기 소스 전극, 상기 게이트 전극, 상기 반도체 층, 및 상기 드레인 전극은 원자외선을 이용한 졸겔법을 이용하여 형성되는 것인, 금속 산화물 트랜지스터의 제조 방법
9	9 제 6 항에 있어서,상기 투명 플라스틱 기재는 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리(디메틸실록산), 폴리카보네이트, 폴리에테르설폰, 폴리이미드, 폴리아크릴레이트, 폴리에스테르, 폴리비닐, 폴리에틸렌, 폴리에틸렌나프탈레이트, 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 포함하는 것인, 금속 산화물 트랜지스터의 제조 방법
10	10 제 6 항에 있어서,상기 금속 산화물은 산화인듐, 산화아연, IGZO(InGaZnO), IZO(InZnO), In2O3(InO), 및 이들의 조합으로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 포함하는 것인, 금속 산화물 트랜지스터의 제조 방법
11	11 제 6 항에 있어서,상기 이온겔 층은 이온성 액체가 겔의 형태로 분산되어 형성된 것인, 금속 산화물 트랜지스터의 제조 방법
12	12 제 11 항에 있어서,상기 이온성 액체는 [BMIM][PF6], [EMIM][TFSI], [EMIM][OctSO4], 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택되는 것을 포함하는 것인, 금속 산화물 트랜지스터의 제조 방법
13	13 제 6 항에 있어서,상기 플라즈마 처리는 Ar 플라즈마, H2 플라즈마 등의 비활성 기체 플라즈마를 포함하는 것인, 금속 산화물 트랜지스터의 제조 방법

순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번	연구부처	주관기관	연구사업	연구과제
1	미래창조과학부	성균관대학교 산학협력단	글로벌프론티어연구개발사업(나노기반소프트일렉트로닉스연구) 1/3	하이브리드 소프트 나노소자 기술

본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.

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특허 등록번호	10-1556644-0000

권리란

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표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20141107 출원 번호 : 1020140154687 공고 연월일 : 20151001 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20150909 청구범위의 항수 : 8 유별 : H01L 29/786 발명의 명칭 : 금속 산화물 트랜지스터 및 이의 제조 방법 존속기간(예정)만료일 :

특허권자란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허권자란 표입니다.
순위번호	사항
1	(권리자) 성균관대학교산학협력단 경기도 수원시 장안구...

등록료란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 등록료란 표입니다.
제 1 - 3 년분	금 액	178,500 원	2015년 09월 24일	납입
제 4 년분	금 액	108,000 원	2018년 08월 29일	납입
제 5 년분	금 액	108,000 원	2019년 09월 05일	납입

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정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2014.11.07	수리 (Accepted)	1-1-2014-1075984-36
2	[출원서등 보정]보정서	2015.01.12	수리 (Accepted)	1-1-2015-0027118-76
3	[우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서	2015.03.25	수리 (Accepted)	1-1-2015-0290482-72
4	[우선심사신청]선행기술조사의뢰서	2015.03.27	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
5	[우선심사신청]선행기술조사보고서	2015.04.06	수리 (Accepted)	9-1-2015-0021526-15
6	의견제출통지서	2015.05.15	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2015-0322315-08
7	[명세서등 보정]보정서	2015.07.15	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2015-0684433-20
8	[분할출원]특허출원서	2015.07.15	수리 (Accepted)	1-1-2015-0685476-51
9	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2015.07.15	수리 (Accepted)	1-1-2015-0684432-85
10	등록결정서	2015.09.09	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2015-0618208-29
11	출원인정보변경(경정)신고서	2017.02.23	수리 (Accepted)	4-1-2017-5028829-43

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