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상부기판;
하부기판; 및
탄성력을 갖는 고분자 물질로 이루어지며 상기 상부 기판의 하부 표면과 상기 하부 기판의 상부 표면의 사이에 형성되는 버퍼부;를 구비하고,
상기 상부 기판은,
사전에 설정된 일정한 두께와 넓이를 갖고 전체를 지지하는 벌크부;
상기 벌크부의 일측면으로부터 연장되어 형성되며, 두께는 상기 벌크부의 두께보다 얇게 형성된 팬부; 및
상기 팬부의 일측면으로부터 연장되어 형성되며 서로 일정거리 이격되어 형성된 다수 개의 외팔보; 를 구비하고,
상기 버퍼부는 상기 상부 기판의 팬부 및 외팔보의 하부 표면과 상기 하부기판의 상부 표면의 사이에 형성되고 서로 인접한 외팔보들의 사이에는 형성되지 않는 것을 특징으로 하는 프로브유닛
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제1항에 있어서, 상기 버퍼부를 형성하는 탄성력을 갖는 고분자 물질은 사진식각공정을 이용하여 패터닝이 가능한 폴리디메틸 실록산(Poly Dimethyl Siloxane;'PDMS')인 것을 특징으로 하는 프로브유닛
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제1항에 있어서, 상기 버퍼부는 상기 상부 기판의 벌크부, 팬부, 외팔보들을 마스크로 하여 패터닝되어, 서로 인접한 외팔보들의 사이에 배치되는 버퍼부는 모두 제거되는 것을 특징으로 하는 프로브유닛
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제1항에 있어서, 상기 버퍼부를 형성하는 탄성력을 갖는 고분자 물질은 폴리 디메틸 실록산(Poly Dimethyl Siloxane;'PDMS')과 벤조페논(Benzophenone)이 혼합된 용액이 열경화되어 이루어진 것을 특징으로 하는 프로브유닛
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MEMS 공정을 기반으로 한 프로브유닛의 제조방법에 있어서,
(a) 상부 기판에 벌크부, 팬부 및 외팔보를 형성하는 단계;
(b) 탄성력을 갖는 고분자 물질을 하부 기판의 상부 표면에 전체적으로 도포하여 버퍼부를 형성하는 단계; 및
(c) 상기 하부 기판위에 형성된 버퍼부의 상부 표면에 상기 상부 기판의 하부 표면을 결합하는 단계;
(d) 상기 상부 기판을 마스크로 하여 사진식각공정을 수행하여 상기 버퍼부를 패터닝하여, 상기 상부 기판의 외팔보들의 사이에 형성된 버퍼부를 제거하는 단계; 및
(e) 상기 패터닝된 버퍼부를 열경화시켜 버퍼부를 완성하는 단계;
를 구비하고,
상기 벌크부는 사전에 설정된 일정한 두께와 넓이를 갖고 전체를 지지하고, 상기 팬부는 상기 벌크부의 일측면으로부터 연장되어 형성되며, 두께는 상기 벌크부의 두께보다 얇게 형성되고, 상기 외팔보는 다수 개로 형성되되, 상기 팬부의 일측면으로부터 연장되어 형성되며 서로 일정거리 이격되어 형성된 것을 특징으로 하는 프로브유닛의 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 (a) 단계는,
(a1) 상기 상부 기판의 전면 및 후면에 각각 제1 및 제2 절연막을 형성하는 단계;
(a2) 상기 제1 절연막을 패터닝하여 상기 상부 기판의 상부면에 팬부 및 외팔보들이 형성될 영역을 정의하고, 상기 패터닝된 제1 절연막을 마스크로 하여 상기 상부 기판의 전면을 식각하는 단계;
(a3) 상부 기판의 전면에 다시 제1 절연막을 형성하는 단계;
(a4) 상기 제2 절연막을 패터닝하여 상기 상부 기판의 하부면에 팬부 및 외팔보들이 형성될 영역을 정의하고, 상기 패터닝된 제2 절연막을 마스크로 하여 상기 상부 기판의 후면을 식각하는 단계;
(a5) 상기 제1 절연막을 패터닝하여 상기 상부 기판의 상부면에 다수 개의 외팔보들이 형성될 영역을 정의하고, 상기 패터닝된 제1 절연막을 마스크로 하여 상기 상부 기판을 식각하여 외팔보들을 형성하는 단계;
(a6) 상기 외팔보들의 상부면에 형성된 제1 절연막 표면에 금속전극들을 형성하되, 상기 금속전극들이 서로 일정거리 이격된 채로 상기 팬부 및 벌크부까지 연장시켜 형성하는 단계;
를 구비하는 것을 특징으로 하는 프로브유닛의 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 (c) 단계는 상기 하부 기판위에 도포된 탄성력을 갖는 고분자 물질을 경화시킴에 따라 상부 기판의 하부 표면과 하부 기판위의 버퍼부가 결합되는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛의 제조 방법
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제5항에 있어서, 상기 버퍼부를 형성하는 탄성력을 갖는 고분자 물질은 폴리 디메틸 실록산(Poly Dimethyl Siloxane;'PDMS')과 벤조페논(Benzophenone)이 혼합되어 구성된 것을 특징으로 하는 프로브 유닛의 제조 방법
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제5항에 있어서, 상기 버퍼부를 형성하는 탄성력을 갖는 고분자 물질은 사진식각 공정에 의하여 패터닝되는 성질을 갖는 폴리디메틸 실록산으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛의 제조 방법
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