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하부에 광을 가이드 하기 위한 홈이 형성된 판형 지지부;상기 홈의 반대면에 증착되고, 중심부에 볼록 형상의 덮개를 형성하는 투명한 렌즈 외부 박막;상기 덮개 내부에 유체로 채워져 있는 액체렌즈; 및상기 외부 박막 상부에 상기 액체렌즈를 지지하는 지지 구조물을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로유체 소자 측정용 액체렌즈 장치
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제1항에 있어서,상기 외부 박막의 볼록 형상은 반원 실린더 형상인 것을 특징으로 하는 마이크로유체 소자 측정용 액체렌즈 장치
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제1항에 있어서,상기 지지부 및 외부 박막 사이에 위치하는 상기 덮개 내부 공간과 연결되어 상기 유체를 주입할 수 있는 주입공이 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로유체 소자 측정용 액체렌즈 장치
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 렌즈 외부 박막은 PDMS를 재질로 하는 것을 특징으로 하는 마이크로유체 소자 측정용 액체렌즈 장치
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 지지 구조물은 상기 외부 박막 양쪽 측면에 부착되는 막대형 지지판과, 상기 지지판을 서로 연결하는 다수개의 반원형 지지링으로 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로유체 소자 측정용 액체렌즈 장치
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 지지부는 PDMS 또는 PMMA를 재질로 하는 것을 특징으로 하는 마이크로유체 소자 측정용 액체렌즈 장치
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7
하부에 광을 가이드 하기 위한 홈이 형성된 판형 지지부와, 상기 홈 반대면에 증착되고, 중심부에 볼록 형상의 덮개를 형성하는 렌즈 외부 박막과, 상기 덮개 내부에 유체로 채워져 있는 액체렌즈 및 상기 외부 박막 상부에 상기 액체렌즈를 지지하는 지지 구조물을 포함하는 마이크로 소자 측정용 액체렌즈 장치;레이저 광을 발생하는 레이저 광원;상기 레이저 광원에서 발생되는 레이저 광의 입사점을 변화시키는 단축 왕복 엑츄에이터;상기 엑츄에이터에서 상기 액체렌즈에 입사되어 분산된 광을 마이크로 채널에 조사하여 반사된 이미지를 촬상하는 CCD 카메라; 및상기 레이저 광원, 엑츄에이터 및 CCD 카메라를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막형 액체렌즈 스캐너 시스템
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제7항에 있어서,상기 외부 박막의 볼록 형상은 반원 실린더 형상인 것을 특징으로 하는 박막형 액체렌즈 스캐너 시스템
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제7항에 있어서,상기 지지부 및 외부 박막 사이에 상기 덮개 내부 공간과 연결되어 상기 유체를 주입할 수 있는 주입공이 형성된 것을 특징으로 하는 박막형 액체렌즈 스캐너 시스템
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10
제9항에 있어서,상기 액체렌즈와 연결되어 상기 주입공을 통하여 상기 유체를 주입시키기 위한 주사기 펌프를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막형 액체렌즈 스캐너 시스템
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11
제7항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,상기 렌즈 외부 박막은 PDMS를 재질로 하는 것을 특징으로 하는 박막형 액체렌즈 스캐너 시스템
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제7항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,상기 지지 구조물은 상기 외부 박막 양쪽 측면에 부착되는 막대형 지지판과, 상기 지지판을 서로 연결하는 다수개의 반원형 지지링으로 형성된 것을 특징으로 하는 박막형 액체렌즈 스캐너 시스템
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삭제
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제7항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,상기 액체렌즈와 연결되어 상기 유체를 주입시키기 위한 주사기 펌프를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막형 액체렌즈 스캐너 시스템
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