맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

기판 검사장치의 높이정보 생성 방법

  • 기술번호 : KST2015161955
  • 담당센터 :
  • 전화번호 :
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 기판 검사장치의 높이정보를 생성하기 위하여, 먼저 보정용 시편의 제1 영역 및 제1 영역과 적어도 일부가 중첩되는 제2 영역을 촬영하여 제1 영역에 대응하는 제1 이미지 및 제2 영역에 대응하는 제2 이미지를 획득한다. 이어서, 제1 영역 및 제2 영역의 중첩영역을 기초로 제1 이미지 및 제2 이미지를 매칭시킨다. 다음으로, 매칭을 이용하여 제1 이미지와 제2 이미지 사이의 상대적인 위치관계를 획득한다. 이어서, 위치관계를 기초로 검사기판 상에 형성된 측정대상물을 격자패턴광을 이용하여 촬영한 제1 영역에 대응하는 제1 격자이미지 및 제2 영역에 대응하는 제2 격자이미지를 병합하여 병합높이정보를 생성한다. 이에 따라, 정확한 높이를 획득할 수 있다.
Int. CL H05K 13/08 (2006.01.01) G01B 11/24 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020110143531 (2011.12.27)
출원인 주식회사 고영테크놀러지, 경북대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1215083-0000 (2012.12.17)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20121224) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.12.27)
심사청구항수 14

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 주식회사 고영테크놀러지 대한민국 서울특별시 금천구
2 경북대학교 산학협력단 대한민국 대구광역시 북구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이현기 대한민국 대구광역시 수성구
2 이승현 대한민국 대구광역시 북구
3 이재홍 대한민국 울산광역시 중구
4 김민영 대한민국 대구광역시 수성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이선재 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 **, *층(역삼동, MK빌딩)(특허법인청맥)
2 김충석 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 **, *층(역삼동, MK빌딩)(특허법인청맥)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 주식회사 고영테크놀러지 서울특별시 금천구
2 경북대학교 산학협력단 대구광역시 북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.12.27 수리 (Accepted) 1-1-2011-1039757-31
2 등록결정서
Decision to grant		 2012.12.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0760991-89
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.10.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5143163-15
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2018-5051994-32
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2018-5176338-54
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.11 수리 (Accepted) 4-1-2020-5129868-08
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2020-5136893-04
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
보정용 시편의 제1 영역 및 상기 제1 영역과 적어도 일부가 중첩되는 제2 영역을 촬영하여 상기 제1 영역에 대응하는 제1 이미지 및 상기 제2 영역에 대응하는 제2 이미지를 획득하는 단계;상기 제1 영역 및 상기 제2 영역의 중첩영역을 기초로 상기 제1 이미지 및 상기 제2 이미지를 매칭(matching)시키는 단계;상기 매칭을 이용하여 상기 제1 이미지와 상기 제2 이미지 사이의 상대적인 위치관계를 획득하는 단계; 및상기 위치관계를 기초로 검사기판 상에 형성된 측정대상물을 격자패턴광을 이용하여 촬영한 상기 제1 영역에 대응하는 제1 격자이미지 및 상기 제2 영역에 대응하는 제2 격자이미지를 병합하여 병합높이정보를 생성하는 단계를 포함하는 기판 검사장치의 높이정보 생성 방법
2 2
제1항에 있어서,상기 보정용 시편에는 다수의 도트(dot)들이 배열되도록 마킹(marking)되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치의 높이정보 생성 방법
3 3
제2항에 있어서, 상기 보정용 시편에는 구분자(identifier)가 형성되고, 상기 구분자는 상기 중첩영역 내에 포함된 것을 특징으로 하는 기판 검사장치의 높이정보 생성 방법
4 4
제2항에 있어서,상기 제1 영역 및 상기 제2 영역의 중첩영역을 기초로 상기 제1 이미지 및 상기 제2 이미지를 매칭시키는 단계는,상기 다수의 도트들 중에서 상기 매칭의 기준이 되는 특징도트(feature dot)들을 상기 중첩영역 내에서 선정하는 단계; 및상기 제1 이미지에 나타난 상기 특징도트들과 상기 제2 이미지에 나타난 상기 특징도트들을 매칭시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치의 높이정보 생성 방법
5 5
제2항에 있어서,상기 보정용 시편에 마킹된 다수의 도트들은 매트릭스(matrix) 형태로 배열되고,상기 중첩영역은 상기 매트릭스의 적어도 하나 이상의 행(row)으로 이루어진 매칭 라인을 포함하며,상기 제1 이미지 및 상기 제2 이미지는 상기 매칭 라인을 기준으로 매칭되는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치의 높이정보 생성 방법
6 6
제5항에 있어서,상기 보정용 시편의 제1 영역 및 상기 제1 영역과 적어도 일부가 중첩되는 제2 영역을 촬영하여 상기 제1 영역에 대응하는 제1 이미지 및 상기 제2 영역에 대응하는 제2 이미지를 획득하는 단계 이전에,상기 매트릭스 형태로 배열된 다수의 도트들 중 상기 매칭 라인을 제외한 나머지 도트들을 촬영되지 않도록 가리는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치의 높이정보 생성 방법
7 7
제2항에 있어서,상기 제1 영역 및 상기 제2 영역의 중첩영역을 기초로 상기 제1 이미지 및 상기 제2 이미지를 매칭시키는 단계는,상기 제1 영역이 촬영된 상기 제1 이미지에 나타난 도트들의 배열 형태를 이용하여 상기 제1 이미지에 연결되는 상기 제2 영역에 대응하는 예측 이미지를 생성하는 단계; 및상기 예측 이미지 및 상기 제2 이미지를 상기 중첩영역을 기초로 매칭시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치의 높이정보 생성 방법
8 8
제2항에 있어서,상기 매칭 결과를 이용하여 상기 제1 이미지와 상기 제2 이미지 사이의 상대적인 위치관계를 획득하는 단계는,상기 중첩영역 내의 매칭되는 어느 한 지점에 대한 상기 제1 영역의 좌표를 (u1,v1), 상기 제2 영역의 좌표를 (u2,v2)라 할 때, 수학식 을 만족하는 s, m11, m12, m13, m21, m22, m23, m31, m32, m33를 획득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치의 높이정보 생성 방법
9 9
제8항에 있어서,상기 제1 영역 및 상기 제2 영역의 중첩영역을 기초로 상기 제1 이미지 및 상기 제2 이미지를 매칭시키는 단계는,상기 수학식을 획득하도록 적어도 5지점 이상을 매칭시키는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치의 높이정보 생성 방법
10 10
검사기판 상에 형성된 측정대상물에 격자패턴광을 조사하는 단계;상기 측정대상물의 제1 영역 및 상기 제1 영역과 적어도 일부가 중첩되는 제2 영역을 촬영하여 상기 제1 영역에 대응하는 제1 격자이미지 및 상기 제2 영역에 대응하는 제2 격자이미지를 획득하는 단계;획득된 상기 제1 격자이미지 및 상기 제2 격자이미지를 버킷 알고리즘(bucket algorithm)을 이용하여 상기 제1 격자이미지에 대응하는 제1 높이정보 및 상기 제2 격자이미지에 대응하는 제2 높이정보를 획득하는 단계; 및상기 제1 영역 및 상기 제2 영역의 중첩영역을 이용하여 이미 획득한 상기 제1 영역 및 상기 제2 영역 사이의 상대적인 위치관계를 이용하여 상기 제1 높이정보 및 상기 제2 높이정보를 병합하여 병합높이정보를 생성하는 단계를 포함하는 기판 검사장치의 높이정보 생성 방법
11 11
제10항에 있어서,상기 제1 높이정보는 제1 측정높이(H1)를 포함하고, 상기 제2 높이정보는 제2 측정높이(H2)를 포함하며,상기 제1 영역 및 상기 제2 영역의 중첩영역을 이용하여 이미 획득한 상기 제1 영역 및 상기 제2 영역 사이의 상대적인 위치관계를 이용하여 상기 제1 높이정보 및 상기 제2 높이정보를 병합하여 병합높이정보를 생성하는 단계는,상기 위치관계를 이용하여 상기 제1 영역 및 상기 제2 영역을 매칭시키는 단계;상기 제1 영역 및 상기 제2 영역의 중첩영역에서 수학식 H1=aH2+b를 만족하는 a 및 b를 획득하는 단계; 및상기 획득된 a 및 b를 이용하여 상기 병합높이정보를 생성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치의 높이정보 생성 방법
12 12
검사기판 상에 형성된 측정대상물에 격자패턴광을 조사하는 단계;상기 측정대상물의 제1 영역 및 상기 제1 영역과 적어도 일부가 중첩되는 제2 영역을 촬영하여 상기 제1 영역에 대응하는 제1 격자이미지 및 상기 제2 영역에 대응하는 제2 격자이미지를 획득하는 단계;상기 제1 영역 및 상기 제2 영역의 중첩영역을 이용하여 이미 획득한 상기 제1 영역 및 상기 제2 영역 사이의 상대적인 위치관계를 이용하여 상기 제1 격자이미지 및 상기 제2 격자이미지를 병합하여 병합격자이미지를 생성하는 단계; 및버킷 알고리즘을 이용하여 상기 획득된 병합격자이미지에 대응하는 병합높이정보를 획득하는 단계를 포함하는 기판 검사장치의 높이정보 생성 방법
13 13
제12항에 있어서,상기 제1 영역 및 상기 제2 영역의 중첩영역을 이용하여 이미 획득한 상기 제1 영역 및 상기 제2 영역 사이의 상대적인 위치관계를 이용하여 상기 제1 격자이미지 및 상기 제2 격자이미지를 병합하여 병합격자이미지를 생성하는 단계는,상기 위치관계를 이용하여 상기 제1 영역 및 상기 제2 영역을 매칭시키는 단계;상기 제1 영역 및 상기 제2 영역의 중첩영역에서 수학식 H1=H2+b를 만족하는 b를 획득하는 단계; 및상기 획득된 b를 이용하여 상기 병합격자이미지를 생성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치의 높이정보 생성 방법
14 14
제10항 및 제12항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1 격자이미지 및 상기 제2 격자이미지에 대한 신뢰지수를 산출하는 단계를 더 포함하고,상기 신뢰지수는 상기 격자패턴광이 수신된 신호패턴의 신호강도, 모듈레이션(modulation), 비저빌리티(visibility) 및 신호대잡음비(signal-to-noise ratio) 중 적어도 하나 이상을 포함하며,상기 제1 영역 및 상기 제2 영역 중 상기 신뢰지수가 우수한 어느 한 영역을 기준으로 나머지 한 영역이 보정되는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치의 높이정보 생성 방법
지정국 정보가 없습니다
순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP26534420 JP 일본 FAMILY
2 US09115984 US 미국 FAMILY
3 US20140219542 US 미국 FAMILY
4 WO2013100223 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP2014534420 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 US2014219542 US 미국 DOCDBFAMILY
3 US9115984 US 미국 DOCDBFAMILY
4 WO2013100223 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.