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광학 스퀘어를 설치한 후 적어도 2개의 축에 대한 진직도를 측정함으로써 적어도 2개의 측정 데이터를 획득하는, 진직도 측정 단계;상기 적어도 2개의 측정 데이터로부터 아베 오차(Abbe's error)를 제거함으로써 적어도 2개의 보정 데이터를 획득하는, 아베 오차 제거 단계;상기 2개의 보정 데이터에 대한 대표 직선을 각각 설정한 후 측정 좌표계 상에서 상기 대표 직선이 갖는 기울기를 각각 구하는, 기울기 획득 단계; 및상기 적어도 2개의 축에 대한 각각의 상기 기울기를 비교함으로써 직각도를 계산하는, 직각도 계산 단계;를 포함하는 레이저 간섭계를 이용한 직각도 측정 방법
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제1항에 있어서,상기 진직도 측정 단계는, 적어도 2개의 축에 대해 측정이 가능한 영역에 광학 스퀘어를 설치하고, 운동 축을 포함하지 않는 외부에 레이저 헤드와 반사경을 설치한 다음 적어도 2개의 축 중 하나의 축에 대해 간섭계를 사용하여 진직도를 측정함으로써 측정 데이터를 획득하고, 상기 간섭계를 옮겨 다른 축들에 대해 각각의 진직도를 측정하여 측정 데이터를 획득하는, 레이저 간섭계를 이용한 직각도 측정 방법
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제2항에 있어서,상기 아베 오차 제거 단계 시, 측정 좌표계의 설정 및 광학 스퀘어 설치에 따라 아베 옵셋(Abbe's offset)에 의해 측정 오차를 포함하는 상기 측정 데이터로부터 아베 오차를 제거함으로써 상기 보정 데이터를 획득하는, 레이저 간섭계를 이용한 직각도 측정 방법
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제3항에 있어서,상기 기울기 획득 단계 시, 상기 보정 데이터에 대한 대표 직선을 설정하고 측정 좌표계 상에서 상기 대표 직선이 갖는 기울기를 구하는, 레이저 간섭계를 이용한 직각도 측정 방법
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제4항에 있어서,상기 기울기 획득 단계에서 상기 대표 직선을 설정하기 위하여, 상기 보정 데이터의 양단의 두 점을 연결하는 직선으로 나타내거나 모든 측정값에 대해 편차의 제곱합을 최소화하는 최소자승법이 적용되는, 레이저 간섭계를 이용한 직각도 측정 방법
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제4항에 있어서,상기 적어도 하나의 축이 X, Y축인 경우, 하나의 상기 보정 데이터의 상기 대표 직선이 상기 X축에서 제1 기울기(α)를 갖고, 다른 하나의 상기 보정 데이터의 상기 대표 직선이 상기 Y축에서 제2 기울기(β)를 가지면, 상기 직각도 계산 단계에서 계산되는 상기 직각도는 다음의 식을 갖는, 레이저 간섭계를 이용한 직각도 측정 방법
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기기의 이송 영역의 전체 영역에 대해 측정된 적어도 2축의 전체 진직도 측정 데이터에서 광학 스퀘어 설치 시의 측정 영역과 동일한 구간만큼 구간 진직도 측정 데이터를 각각 발췌하는, 구간 발췌 단계;발췌된 상기 구간 진직도 측정 데이터들로부터 대표 직선의 기울기를 각각 계산하는, 기울기 계산 단계; 및상기 기울기의 차이만큼 상기 전체 진직도 측정 데이터를 회전함으로써 최적 맞춤하는, 최적 맞춤 단계;를 포함하는 레이저 간섭계를 이용한 직각도 측정 방법
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제7항에 있어서,상기 광학 스퀘어 설치 시 상기 측정 영역에 대한 상기 구간 진직도 측정 데이터에 대한 대표 직선의 기울기가 제1 기울기이고, 상기 광학 스퀘어 미설치 시 상기 전체 영역에 대한 상기 전체 진직도 측정 데이터에서 발췌한 구간 진직도 측정 데이터에 대한 상기 대표 직선의 기울기가 제2 기울기일 때, 상기 최적 맞춤 단계에서의 최적 맞춤을 위한 기울기 차이는 제2 기울기에서 제1 기울기를 뺀 값인, 레이저 간섭계를 이용한 직각도 측정 방법
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제8항에 있어서,상기 최적 맞춤을 위한 기울기 차이만큼 상기 광학 스퀘어의 미설치 시의 상기 구간 진직도 측정 데이터를 회전시키면 상기 광학 스퀘어 설치 시의 상기 구간 진직도 측정 데이터와 실질적으로 일치되는, 레이저 간섭계를 이용한 직각도 측정 방법
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광학 스퀘어를 설치한 후 적어도 2개의 축에 대한 진직도를 측정함으로써 적어도 2개의 측정 데이터를 획득하는, 진직도 측정 단계;상기 적어도 2개의 측정 데이터로부터 아베 오차(Abbe's error)를 제거함으로써 적어도 2개의 보정 데이터를 획득한 후 상기 보정 데이터에 대해 설정된 대표 직선의 기울기를 계산하는, 아베 오차 제거 단계;상기 진직도 측정 단계 및 상기 아베 오차 제거 단계와 병렬적으로 진행되며, 기기의 이송 영역의 전체 영역에 대해 측정된 적어도 2축의 전체 진직도 측정 데이터에서 광학 스퀘어 설치 시의 측정 영역과 동일한 구간만큼 구간 진직도 측정 데이터를 각각 발췌한 대표 직선의 기울기를 계산하는, 구간 발췌 단계;상기 아베 오차 제거 단계에서 계산된 상기 대표 직선의 기울기와, 상기 구간 발췌 단계에서 계산된 상기 대표 직선의 기울기의 각도 차이를 계산한 후 계산된 값을 토대로 최적 맞춤하는, 최적 맞춤 단계; 및상기 최적 맞춤 단계에 의해 획득된 값을 토대로 직각도를 계산하는, 직각도 계산 단계;를 포함하는 레이저 간섭계를 이용한 직각도 측정 방법
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