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무반사 코팅막을 가지는 광학식 로터리 엔코더 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015224105
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 광학식 로터리 엔코더에 관한 것으로서, 구체적으로는 특수 무반사 코팅막을 광학식 엔코더의 회전 디스크, 고정 마스크, 수광소자의 전부 또는 선택된 일면에 형성하여 광의 투과효율을 향상시킴으로써 마이크론 단위 이하 피치의 고분해능을 구현할 수 있는 로터리 엔코더 및 그러한 로터리 엔코더를 제조하는 방법에 관한 것이다. 본 발명에서는 빛을 조사하기 위한 발광소자, 상기 발광소자의 하방에 위치하여 회전하는 것으로서 판면에 다수개의 슬릿이 원주방향으로 형성되는 코드 패턴을 가지는 회전 디스크, 상기 회전 디스크의 하방에 고정되며 일정한 형상의 슬릿이 형성되는 고정 마스크 및 상기 회전 디스크와 고정 마스크를 투과한 빛을 감지하는 수광소자를 포함하여 이루어지는 광학식 로터리 엔코더에 있어서, 상기 회전 디스크의 일 면에는 크롬층을 광식각하여 형성한 것으로서 다수개의 슬릿으로 이루어지는 코드 패턴이 형성되고, 타 면에는 고굴절 시료인 티타늄 다이옥사이드(TiO2)와 저굴절 시료인 실리콘 다이옥사이드(SiO2)층이 번갈아 적층하여 형성되는 것을 특징으로 하는 무반사 코팅막을 가지는 광학식 로터리 엔코더와 그 제조방법이 제공된다.
Int. CL G01D 5/347 (2006.01)
CPC G01D 5/3473(2013.01) G01D 5/3473(2013.01) G01D 5/3473(2013.01)
출원번호/일자 1020100134955 (2010.12.24)
출원인 주식회사 오토닉스, 재단법인 부산테크노파크
등록번호/일자 10-1166317-0000 (2012.07.10)
공개번호/일자 10-2012-0072991 (2012.07.04) 문서열기
공고번호/일자 (20120718) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.12.24)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 오토닉스 대한민국 부산광역시 해운대구
2 재단법인 부산테크노파크 대한민국 부산광역시 강서구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박환기 대한민국 부산광역시 해운대구
2 임정학 대한민국 부산광역시 동래구
3 김종일 대한민국 부산광역시 서구
4 임재환 대한민국 부산광역시 부산진구
5 이성관 대한민국 부산광역시 북구
6 최우창 대한민국 부산광역시 금정구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 최한수 대한민국 부산광역시 강서구 신호산단*로 **(신호동) 허브원B/D ***호(한스특허법률사무소)
2 최희민 대한민국 서울특별시 성북구 안암로 ***, 자연계캠퍼스 산학관 *층 기술사업부 (안암동*가, 고려대학교)(고려대학교산학협력단)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 오토닉스 부산광역시 해운대구
2 재단법인 부산테크노파크 부산광역시 강서구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.12.24 수리 (Accepted) 1-1-2010-0858606-20
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2010.12.27 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2010-0862990-87
3 보정요구서
Request for Amendment
2011.01.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0001895-69
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2011.01.07 수리 (Accepted) 1-1-2011-0013719-85
5 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document
2011.01.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0002858-58
6 [반려요청]서류반려요청(반환신청)서
[Request for Return] Request for Return of Document
2011.01.12 수리 (Accepted) 1-1-2011-0023777-02
7 서류반려통지서
Notice for Return of Document
2011.01.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0003542-15
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.07.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5145673-66
9 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.01.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
10 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.02.17 수리 (Accepted) 9-1-2012-0013309-67
11 등록결정서
Decision to grant
2012.06.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0362378-86
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.11.08 수리 (Accepted) 4-1-2012-5233337-62
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.05 수리 (Accepted) 4-1-2013-5021875-87
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.10.14 수리 (Accepted) 4-1-2014-5120828-20
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.11.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0061212-05
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
빛을 조사하기 위한 발광소자, 상기 발광소자의 하방에 위치하여 회전하는 것으로서 판면에 다수개의 슬릿이 원주방향으로 형성되는 코드 패턴을 가지는 회전 디스크, 상기 회전 디스크의 하방에 고정되며 일정한 형상의 슬릿이 형성되는 고정 마스크 및 상기 회전 디스크와 고정 마스크를 투과한 빛을 감지하는 수광소자를 포함하여 이루어지는 광학식 로터리 엔코더에 있어서, 상기 회전 디스크의 일 면에는 크롬층을 광식각하여 형성한 것으로서 다수개의 슬릿으로 이루어지는 코드 패턴이 형성되고, 타 면에는 고굴절 시료인 티타늄 다이옥사이드(TiO2)와 저굴절 시료인 실리콘 다이옥사이드(SiO2)층이 번갈아 적층하여 형성되는 것을 특징으로 하는 무반사 코팅막을 가지는 광학식 로터리 엔코더
2 2
제1항에 있어서, 상기 회전 디스크의 크롬층 코드 패턴 위에 고굴절 시료인 티타늄 다이옥사이드(TiO2)와 저굴절시료인 실리콘 다이옥사이드(SiO2)층이 번갈아 적층하여 형성되는 것을 특징으로 하는 무반사 코팅막을 가지는 광학식 로터리 엔코더
3 3
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 고정 마스크 또는 상기 수광소자의 표면에 고굴절 시료인 티타늄 다이옥사이드(TiO2)와 저굴절 시료인 실리콘 다이옥사이드(SiO2)층이 번갈아 적층하여 형성되는 것을 특징으로 하는 무반사 코팅막을 가지는 광학식 로터리 엔코더
4 4
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 회전 디스크의 표면에는 티타늄 다이옥사이드(TiO2), 실리콘 다이옥사이드(SiO2), 티타늄 다이옥사이드(TiO2) 및 실리콘 다이옥사이드(SiO2)가 순서대로 적층하여 형성되는 것을 특징으로 하는 무반사 코팅막을 가지는 광학식 로터리 엔코더
5 5
표면에 다수개의 슬릿으로 이루어지는 코드 패턴을 가지는 회전식 디스크를 포함하는 광학식 로터리 엔코더를 제조하는 방법에 있어서, 투명한 유리 기판 위에 크롬층을 증착하는 단계; 상기 크롬층 위에 포토레지스트층을 형성하는 단계; 상기 포토레지스트층을 상기 코드 패턴에 대응하는 패턴이 형성된 포토 마스크를 이용하여 노광하는 단계; 상기 노광된 포토레지스트층을 현상하는 단계; 상기 현상된 포토레지스트층에 의하여 노출된 크롬층을 에칭하는 단계; 상기 크롬층 위에 잔존하는 포토레지스트층을 제거하여 크롬층으로 된 코드 패턴을 획득하는 단계; 및상기 크롬층 코드 패턴이 형성된 유리 기판을 이빔 증발기(e-beam evaporator)의 내부에 장착한 후 티타늄 다이옥사이드(TiO2), 실리콘 다이옥사이드(SiO2), 티타늄 다이옥사이드(TiO2) 및 실리콘 다이옥사이드(SiO2)를 순서대로 유리 기판의 표면에 적층시켜 무반사 코팅막을 형성하는 단계;를 수행하여 회전식 디스크를 제조하는 것을 특징으로 하는 광학식 로터리 엔코더 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.