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스트레인 센서(Strain Sensor)를 이용한 세포 모니터링 장치의 제조방법에 있어서, (i) 세포의 생장에 의해 유발되는 미세한 스트레인에 대응하여 유연하게 변형되는 기판(300)을 준비하는 단계(s100);(ii) 상기 기판(300) 상에 스트레인 센서(Strain Sensor)(200)를 설치하는 단계(s200);(iii) 상기 스트레인 센서(200) 상부에 접하여 세포 생장의 장소로서의 역할을 하는 미세 구조(microstructure)(100)를 설치하는 단계(s300);를 포함하며,상기 미세구조(100)는 다수의 필라(Pillar)(110)를 포함하여 구성되고,상기 (iii) 단계 이후에 상기 미세 구조(100) 위에 배양될 세포와의 부착력을 높이기 위하여, 상기 미세 구조 표면에 산화물(Oxide)을 코팅함으로써 상기 미세 구조 표면에 친수성을 부여하는 단계(s400)를 더 포함하며,상기 (i) 단계에서, 상기 기판(300)은 기판의 변형을 방해하지 아니하도록 멤브레인(Membrane) 형태 또는 브릿지(Bridge) 형태로 제조되는 탄성체의 프레임(500)(frame) 위에 설치되며, 상기 프레임(500)의 저부에는 상기 기판 및 프레임(500)의 탄성을 높이기 위한 공기층(400)이 형성되고, 또한, 상기 기판(300)은 지그재그 형으로 형성된 다수개의 플레이트로서 마련되며,상기 (ii) 단계에서, 상기 기판(300)은 실리콘 기판이며, 상기 스트레인 센서(200)의 저항막(Diaphragm)으로서 기능하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 스트레인 센서(Strain Sensor)를 이용한 세포 모니터링 장치의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 스트레인 센서(200)는 기판(300)위에 어레이(Array) 구조로 형성되는 것을 특징으로 하는 스트레인 센서(Strain Sensor)(200)를 이용한 세포 모니터링 장치의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 제조된 스트레인 센서(200) 상부에 접하여 세포 생장의 장소로서 역할을 하는 미세 구조(microstructure)(100)를 설치하는 단계(s300)에서, 상기 미세 구조(100)는 실리콘(Si)계, 실리콘산화물(SiO2)계, 실리콘 질화물(Si3N4)계, 에폭시(Epoxy)계, 폴리우레탄(Poly urethane, PU)계, 폴리디메틸실옥산(Polydimethylsiloxane, PDMS)계, NOA(Noland Optical Adhesive)계, 금속(Metal)계, 폴리이미드(Polyimide)계 및 그 혼합물 중의 적어도 어느 하나 이상의 재질로 제조되는 것을 특징으로 하는 스트레인 센서(Strain Sensor)를 이용한 세포 모니터링 장치의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 스트레인 센서(200) 상부에 접하여 세포 생장의 장소로서 역할을 하는 미세 구조(microstructure)(100)를 설치하는 단계(s300)에서,상기 미세 구조(100)는 포토 리소그라피, 전자빔 리소그라피를 이용한 직접 가공, 임프린트 공정 중 선택되는 하나 이상의 방법으로 형성시키는 것을 특징으로 하는 스트레인 센서(Strain Sensor)를 이용한 세포 모니터링 장치의 제조방법
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세포의 생장을 모니터링하기 위한 세포 모니터링 장치에 있어서, 세포의 생장에 의해 유발되는 미세한 스트레인에 대응하여 유연하게 변형되는 기판(300);상기 기판(300) 상에 설치되는 스트레인 센서(Strain Sensor)(200);상기 스트레인 센서(200)의 상부에 접하며 세포 생장의 장소로서 다수의 필라(Pillar)(110)를 갖는 미세 구조(microstructure)(100)를 포함하며, 상기 미세 구조(100) 위에 배양될 세포와의 부착력을 높이기 위하여, 상기 미세 구조 표면에 산화물(Oxide)을 코팅함으로써 상기 미세 구조 표면에 친수성을 부여하고,상기 기판(300)은 멤브레인(Membrane) 형태 또는 브릿지(Bridge) 형태로 제조되는 탄성체의 프레임(500)(frame) 위에 설치되며, 상기 프레임(500)의 저부에는 상기 기판(300) 및 프레임(500)의 탄성을 높이기 위한 공기층(400)이 형성되고, 또한, 상기 기판(300)은 지그재그 형으로 형성된 다수개의 플레이트로서 마련되며,또한, 상기 기판(300)은 실리콘 기판이며, 상기 스트레인 센서(200)의 저항막(Diaphragm)으로서 기능하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 스트레인 센서(Strain Sensor)를 이용한 세포 모니터링 장치
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제 8항에 있어서, 상기 스트레인 센서(200)는 반도체 변형계(semiconductor strain gauge)이며, 상기 기판(300)위에 어레이(Array) 구조로 형성되는 것을 특징으로 하는 스트레인 센서(Strain Sensor)를 이용한 세포 모니터링 장치
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제 8항에 있어서, 상기 미세 구조(100)는 실리콘(Si)계, 실리콘산화물(SiO2)계, 실리콘 질화물(Si3N4)계, 에폭시(Epoxy)계, 폴리우레탄(Poly urethane, PU)계, 폴리디메틸실옥산(Polydimethylsiloxane, PDMS)계, NOA(Noland Optical Adhesive)계, 금속(Metal)계, 폴리이미드(Polyimide)계 및 그 혼합물 중의 적어도 어느 하나 이상의 재질로 구성되는 것을 특징으로 하는 스트레인 센서(Strain Sensor)를 이용한 세포 모니터링 장치
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제 8항, 제11항, 또는 제 12항 중 어느 한 항의 스트레인 센서(Strain Sensor)를 이용한 세포 모니터링 장치를 이용하는 세포 모니터링 방법에 있어서, i) 미세 구조(100) 상부에 세포를 위치하여 배양시키는 단계(s1000);ii) 상기 세포의 생장 변화에 따라, 상기 미세 구조(100)에 힘 또는 압력이 가해져 상기 미세 구조(100)가 변형되는 단계(s2000);iii) 상기 미세 구조(100)의 변형이 상기 스트레인 센서(200)에 의해 감지되어 전기 신호로 검출 단계(s3000);iv) 상기 검출된 전기 신호를 분석하여 상기 세포의 생장 변화를 출력하는 단계(s4000);를 포함하는 것을 특징으로 하는 스트레인 센서(Strain Sensor)를 이용한 세포 모니터링 장치를 이용한 세포 모니터링 방법
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제 14항에 있어서, 상기 미세 구조(100) 상부에 세포를 위치하여 배양시키는 단계(s1000)에서, 상기 세포는 부착 세포(Adherent Cell)인 것을 특징으로 하는 스트레인 센서(Strain Sensor)를 이용한 세포 모니터링 장치를 이용한 세포 모니터링 방법
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제 14항에 있어서, 상기 세포의 생장 변화에 따라, 상기 미세 구조에 힘 또는 압력이 가해져 상기 미세 구조(100)가 변형되는 단계(s2000)에서, 상기 세포는 상기 미세 구조(100)의 필라(Pillar)(110) 상부에 부착하여 생장하며, 상기 세포의 생장 변화에 의해 상기 필라를 움직임으로써 상기 미세 구조(100)가 변형되는 것을 특징으로 하는 스트레인 센서(Strain Sensor)를 이용한 세포 모니터링 장치를 이용한 세포 모니터링 방법
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약물을 선택적으로 스크리닝 하기 위한 약물 스크리닝(Drug Screening) 장치에 있어서, 제 8항, 제11항, 또는 제 12항 중 어느 한 항의 스트레인 센서(Strain Sensor)를 이용한 세포 모니터링 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 약물 스크리닝(Drug Screening) 장치
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