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타력 측정 유닛 및 그를 포함하는 기판 처리 장치

  • 기술번호 : KST2018011286
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기판 세정 공정에 사용되는 노즐의 타력을 측정할 수 있는 타력 측정 유닛을 제공하기 위한 것이다. 또한, 본 발명은 공정 전에 세정 노즐의 성능을 미리 점검할 수 있는 타력 측정 유닛 및 그를 포함하는 기판 처리 장치를 제공하기 위한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치는, 기판을 처리하는 공간을 제공하는 챔버; 상기 챔버 내부에 제공되어 상기 기판을 지지하는 지지유닛; 상기 지지유닛에 지지된 상기 기판으로 세정매체를 공급하는 노즐을 갖는 분사유닛; 및 상기 챔버의 일측에 제공되며 상기 노즐로부터 분사되는 세정매체의 타력을 측정하는 타력 측정 유닛을 포함할 수 있다.
Int. CL H01L 21/67 (2006.01.01) H01L 21/66 (2006.01.01) G01N 3/32 (2006.01.01)
CPC H01L 21/67242(2013.01) H01L 21/67242(2013.01) H01L 21/67242(2013.01) H01L 21/67242(2013.01)
출원번호/일자 1020170017000 (2017.02.07)
출원인 세메스 주식회사, 서울대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0092006 (2018.08.17) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.02.07)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 세메스 주식회사 대한민국 충청남도 천안시 서북구
2 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김진규 대한민국 경기도 수원시 영통구
2 주윤종 대한민국 충청남도 천안시 서북구
3 김호영 대한민국 서울특별시 관악구
4 김승호 대한민국 경기도 성남시 분당구
5 이재홍 대한민국 경기도 성남시 분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 권혁수 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(삼일빌딩, 역삼동)(KS고려국제특허법률사무소)
2 송윤호 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 *** (역삼동) *층(삼일빌딩)(케이에스고려국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 세메스 주식회사 충청남도 천안시 서북구
2 서울대학교 산학협력단 서울특별시 관악구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.02.07 수리 (Accepted) 1-1-2017-0128282-16
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.09.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.11.10 수리 (Accepted) 9-1-2017-0037168-50
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.02.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0140679-91
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2018.04.26 수리 (Accepted) 1-1-2018-0414492-18
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2018.05.28 수리 (Accepted) 1-1-2018-0519093-88
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.06.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0633165-18
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.06.27 수리 (Accepted) 1-1-2018-0633166-64
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2018.10.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0713480-97
10 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
2018.11.19 수리 (Accepted) 1-1-2018-1147983-51
11 법정기간연장승인서
2018.11.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0183178-16
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.12.24 수리 (Accepted) 1-1-2018-1299298-69
13 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2018.12.24 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2018-1299297-13
14 등록결정서
Decision to Grant Registration
2019.01.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0032981-54
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2020-5265458-48
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판을 처리하는 공간을 제공하는 챔버;상기 챔버 내부에 제공되어 상기 기판을 지지하는 지지유닛;상기 지지유닛에 지지된 상기 기판으로 세정매체를 토출하는 토출구가 형성된 노즐을 갖는 분사유닛; 및상기 챔버의 내부에 제공되며 상기 노즐로부터 분사되는 세정매체의 타력을 측정하는 타력 측정 유닛을 포함하되,상기 타력 측정 유닛은,내부 공간에 소정량의 액체를 포함하되 상기 토출구와 상기 액체의 계면이 소정거리 이격되도록 제공되며 일부면이 투명하게 형성되는 포트;상기 액체 내에 잠기도록 제공되는 캔틸레버(cantilever);상기 포트의 상기 투명한 일부면을 통해 상기 포트의 내부 공간을 촬상하여, 상기 노즐이 토출하는 세정매체의 토출각, 토출 상태 및 상기 캔틸레버의 타단의 변위를 측정하는 촬상유닛; 및상기 촬상유닛의 촬상 결과를 통해 상기 캔틸레버의 고정단과 타단 중 타단의 변위를 측정하는 변위 측정부를 포함하고, 상기 포트의 내부 공간의 액체는 상기 기판에 수행되는 공정에 따라 양이 조절되는 기판 처리 장치
2 2
기판을 처리하는 공간을 제공하는 챔버;상기 챔버 내부에 제공되어 상기 기판을 지지하는 지지유닛;상기 지지유닛에 지지된 상기 기판으로 세정매체를 토출하는 토출구가 형성된 노즐을 갖는 분사유닛; 및상기 챔버의 내부에 제공되며 상기 노즐로부터 분사되는 세정매체의 타력을 측정하는 타력 측정 유닛을 포함하되,상기 타력 측정 유닛은,내부 공간에 소정량의 액체를 포함하되 상기 토출구와 상기 액체의 계면이 소정거리 이격되도록 제공되며 일부면이 투명하게 형성되는 포트;상기 액체 내에 위치되도록 제공되는 캔틸레버(cantilever); 상기 포트의 상기 투명한 일부면을 통해 상기 포트의 내부 공간을 촬상하여, 상기 노즐이 토출하는 세정매체의 토출각, 토출 상태 및 상기 캔틸레버의 타단의 변위를 촬상하는 촬상유닛; 및상기 촬상유닛의 촬상 결과를 통해 상기 캔틸레버의 고정단과 타단 중 타단의 변위를 측정하는 변위 측정부를 포함하는 기판 처리 장치
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
제1 또는 제2 항에 있어서,상기 캔틸레버는 폴리이미드(polyimide) 필름을 포함하는 기판 처리 장치
6 6
제2 항에 있어서,상기 캔틸레버는 상기 액체 내에 잠기도록 제공되는 기판 처리 장치
7 7
제1 또는 제2 항에 있어서,상기 기판 처리 장치는,상기 변위 측정부에서 측정된 상기 캔틸레버의 타단의 변위에 기반하여 상기 노즐이 토출하는 세정매체의 타력을 측정하는 타력 측정부를 더 포함하는 기판 처리 장치
8 8
삭제
9 9
기판상에 세정매체를 공급하는 노즐을 검사하는 장치로,상기 노즐에서 상기 세정매체가 토출되는 토출구를 둘러싸도록 설치되며, 내부 공간에 소정량의 액체를 포함하되 상기 토출구와 상기 액체의 계면이 소정거리 이격되도록 제공되며 일부면이 투명하게 형성되는 포트;상기 액체 내에 잠기도록 제공되는 캔틸레버; 및상기 포트의 상기 투명한 일부면을 통해 상기 포트의 내부 공간을 촬상하여, 상기 노즐이 토출하는 세정매체의 토출각, 토출 상태 및 상기 캔틸레버의 타단의 변위를 촬상하는 촬상유닛; 및상기 촬상유닛의 촬상 결과를 통해 상기 캔틸레버의 고정단과 타단 중 타단의 변위를 측정하는 변위 측정부를 포함하고,상기 포트의 내부 공간의 액체는 상기 기판에 수행되는 공정에 따라 양이 조절되는 타력 측정 유닛
10 10
삭제
11 11
삭제
12 12
제9 항에 있어서,상기 캔틸레버는 폴리이미드 필름을 포함하는 타력 측정 유닛
13 13
삭제
14 14
제9 항에 있어서,상기 타력 측정 유닛은, 상기 변위 측정부에서 측정된 상기 캔틸레버의 타단의 변위에 기반하여 상기 노즐이 토출하는 세정매체의 타력을 측정하는 타력 측정부를 더 포함하는 타력 측정 유닛
15 15
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.