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1
시료가 놓아지는 시료대를 구비하는 본체유닛; 상기 본체유닛에 교체 가능하게 마련되어 각각 서로 다른 파장대의 레이저 빔을 발생시키는 복수의 광원부를 포함하는 광원유닛; 상기 레이저 빔을 선택적으로 성형하는 성형유닛; 상기 레이저 빔을 상기 시료로 안내하는 안내유닛; 및상기 레이저 빔으로부터 분기된 분기 빔의 형태를 실시간 확인 가능한 프로파일러유닛; 을 포함하는 레이저 어닐링시스템
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제1항에 있어서, 상기 본체유닛은, 상기 광원유닛과 시료대가 마련되는 제1층과, 상기 성형유닛, 안내유닛 및 프로파일러유닛이 마련되도록 상기 제1층에 대해 이격되어 적층된 제2층을 포함하는 복층 구조를 가지는 레이저 어닐링시스템
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제1항에 있어서, 상기 광원유닛은, 1
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제2항에 있어서, 상기 안내유닛은 상기 제2층에 배치되는 복수의 안내미러를 포함하는 레이저 어닐링시스템
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5
제1항에 있어서, 상기 성형유닛은 상기 레이저 빔이 선택적으로 통과 가능한 호모게나이저를 포함하는 레이저 어닐링시스템
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6
제5항에 있어서, 상기 성형유닛은 상기 레이저 빔의 에너지를 조절하는 감쇄부를 더 포함하는 레이저 어닐링시스템
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7
제1항에 있어서,상기 프로파일러유닛은, 상기 시료대로 입사되려는 상기 레이저 빔으로부터 분리된 상기 분기 빔을 포커싱하는 프로파일러 포커싱 렌즈; 및상기 프로파일러 포커싱 렌즈를 통과하는 상기 분리 빔을 확인하는 빔 프로파일러;를 포함하는 레이저 어닐링시스템
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8
제1항에 있어서,상기 시료대는, 가스 분위기에서 열처리 가능하도록 내부에 상기 시료가 수용되며 상기 레이저 빔이 통과 가능한 시료챔버가 마련되는 레이저 어닐링시스템
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9
제8항에 있어서, 상기 시료챔버는 사파이어 재질로 형성되는 윈도우가 마련되어 상기 레이저 빔이 통과되는 레이저 어닐링시스템
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10
제1항에 있어서, 상기 시료대의 위치는 조절이 가능한 레이저 어닐링시스템
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11
시료가 놓아지는 시료대를 구비하며, 다층구조를 가지는 본체유닛; 상기 본체유닛에 대해 교체 가능하게 마련되어 각각 서로 다른 파장대의 레이저 빔을 발생시키는 복수의 광원부를 포함하는 광원유닛; 상기 레이저 빔을 성형시키는 성형유닛; 상기 레이저 빔을 상기 시료로 안내하는 안내유닛; 및상기 레이저 빔으로부터 부리된 분기 빔의 형태를 실시간 확인 가능한 프로파일러유닛; 을 포함하며, 상기 광원유닛은 상기 본체유닛의 상기 시료대와 동일한 층에 배치되고, 상기 성형유닛, 안내유닛 및 프로파일러유닛은 상기 본체유닛의 상기 광원유닛과 다른 층에 배치되는 레이저 어닐링시스템
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제11항에 있어서, 상기 광원유닛은, 1
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13
제11항에 있어서, 상기 안내유닛은 상기 레이저 빔의 경로를 안내하는 복수의 안내미러를 포함하는 레이저 어닐링시스템
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14
제11항에 있어서, 상기 성형유닛은 상기 레이저 빔이 선택적으로 통과 가능한 호모게나이저를 포함하는 레이저 어닐링시스템
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15
제14항에 있어서, 상기 성형유닛은 상기 레이저 빔의 에너지를 조절하는 감쇄부를 더 포함하는 레이저 어닐링시스템
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제11항에 있어서,상기 프로파일러유닛은, 상기 시료대로 입사되려는 상기 레이저 빔으로부터 분리된 상기 분기 빔을 포커싱하는 프로파일러 포커싱 렌즈; 및상기 프로파일러 포커싱 렌즈를 통과하는 상기 분리 빔을 확인하는 빔 프로파일러;를 포함하는 레이저 어닐링시스템
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17
제11항에 있어서,상기 시료대는, 가스 분위기에서 열처리 가능하도록 내부에 상기 시료가 수용되며 상기 레이저 빔이 통과 가능한 시료챔버가 마련되는 레이저 어닐링시스템
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제17항에 있어서, 상기 시료챔버는 사파이어 재질로 형성되는 윈도우가 마련되어 상기 레이저 빔이 통과되는 레이저 어닐링시스템
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제11항에 있어서, 상기 시료대의 위치는 조절이 가능한 레이저 어닐링시스템
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