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제 1 전이금속 박막 및 상기 제 1 전이금속 박막 상에 적층된 제 2 전이금속 박막을 포함하는 소스 박막을 포함하는 소스 기판을 준비하는 단계; 상기 소스 기판의 상기 소스 박막에 대향하여 이격 배치되도록, 피증착 표면을 갖는 타깃 기판을 준비하는 단계;상기 소스 박막으로부터 제 2 전이금속 박막의 적어도 일부 또는 전체가 증발하여 제 2 전이금속 가스가 생성되도록, 제 1 공정 온도로 상기 소스 기판을 제 1 가열하는 단계;상기 소스 기판과 상기 타깃 기판 사이의 가스 통로를 통해 칼코겐 함유 가스를 공급하는 제 1 가스 공급 단계;상기 소스 박막으로부터 제 1 전이금속 박막의 적어도 일부 또는 전체가 증발하여 제 1 전이금속 가스가 생성되도록, 상기 제 1 공정 온도보다 더 높은 제 2 공정 온도로 상기 소스 기판을 제 2 가열하는 단계; 및상기 소스 기판과 상기 타깃 기판 사이의 가스 통로를 통해 상기 칼코겐 함유 가스를 공급하는 제 2 가스 공급 단계를 포함하며,상기 증발된 제 2 전이금속 가스가 상기 칼코겐 함유 가스와 반응하여 상기 타깃 기판의 표면에 제 1 전이금속 칼코제나이드 박막이 형성되고,상기 타깃 기판 상의 상기 제 1 전이금속 칼코제나이드 박막이 형성된 후에, 상기 증발된 제 1 전이금속 가스가 상기 칼코겐 함유 가스와 반응하여 상기 타깃 기판의 상기 제 1 전이금속 칼코제나이드 박막 상에 제 2 전이금속 칼코제나이드 박막이 형성되는 전이금속 칼코제나이드 이종 접합 박막의 제조 방법
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제 6 항에 있어서,상기 소스 기판 및 상기 타깃 기판 중 적어도 하나는 사파이어, 실리콘, 산화물, 또는 이들의 조합을 포함하는 전이금속 칼코제나이드 이종 접합 박막의 제조 방법
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제 6 항에 있어서,상기 제 1 전이금속 칼코제나이드 박막은 이황화몰리브덴(MoS2)를 포함하며,상기 제 2 전이금속 칼코제나이드 박막은 황화텅스텐(WS2)를 포함하는 전이금속 칼코제나이드 이종 접합 박막의 제조 방법
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제 6 항에 있어서,상기 제 1 가열 단계는,상온으로부터 상기 제 1 공정 온도까지 가열하는 단계 및 상기 제 1 공정 온도에서 일정 시간 동안 유지하는 어닐링 단계를 포함하는 전이금속 칼코제나이드 이종 접합 박막의 제조 방법
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제 6 항에 있어서,상기 제 2 가열 단계는,상기 제 1 공정 온도에서 상기 제 2 공정 온도까지 가열하는 단계 및 상기 제 2 공정 온도에서 일정 시간 동안 유지하는 어닐링 단계를 포함하는 전이금속 칼코제나이드 이종 접합 박막의 제조 방법
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제 6 항에 있어서,상기 제 1 공정 온도는 상기 제 2 전이금속 박막을 증발시켜 상기 제 2 전이금속 가스를 형성하지만, 상기 제 1 전이금속 칼코제나이드 박막을 증발시키지 않는 온도 범위를 가지며,상기 제 2 공정 온도는 상기 제 2 전이금속 박막의 증발을 통해 노출된 상기 제 1 전이금속 박막을 증발시켜 상기 제 1 전이금속 가스를 형성하지만, 상기 타깃 기판의 상기 제 1 전이금속 칼코제나이드 박막 상에 형성된 상기 제 2 전이금속 칼코제나이드 박막을 증발시키지 않는 온도 범위를 갖는 전이금속 칼코제나이드 이종 접합 박막의 제조 방법
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제 6 항에 있어서,상기 칼코겐 함유 가스는 캐리어 가스와 함께 상기 가스 통로로 공급되며,상기 칼코겐 함유 가스는 산소, 황, 셀레늄, 텔루르, 폴로늄의 5종의 자연원소, 리버모륨 또는 이들의 조합을 포함하며, 상기 캐리어 가스는 헬륨, 질소, 아르곤 또는 이들의 조합을 포함하는 전이금속 칼코제나이드 이종 접합 박막의 제조 방법
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반응 챔버;상기 반응 챔버와 결합되어, 상기 반응 챔버를 가열하도록 구성되는 가열 부재; 및상기 반응 챔버 내부에 배치되며, 상기 가열 부재의 가열에 반응하는 박막 형성 유닛을 포함하며,상기 박막 형성 유닛은,제 1 전이금속 박막 및 상기 제 1 전이금속 박막 상에 적층된 제 2 전이금속 박막을 포함하는 소스 박막을 포함하는 소스 기판;상기 소스 기판의 상기 소스 박막에 대향하여 이격 배치되는, 피증착 표면을 갖는 타깃 기판;상기 소스 기판과 상기 타깃 기판을 연결하는 연결 부재를 포함하고,상기 반응 챔버는 외부의 가스 공급 장치와 연결되는 전이금속 칼코제나이드 이종 접합 박막의 제조 장치
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제 13 항에 있어서,상기 연결 부재는 제 1 서브 연결부와 제 2 서브 연결부를 포함하며,상기 제 1 서브 연결부와 상기 제 2 서브 연결부는 상기 소스 기판과 상기 타깃 기판 사이에 기체가 흐르는 통로를 형성하도록, 상기 소스 기판 상에 이격되어 배치되고, 상기 타깃 기판을 지지하는 전이금속 칼코제나이드 이종 접합 박막의 제조 장치
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제 13 항에 있어서,상기 연결 부재는 상기 외부의 가스 공급 장치로부터의 가스와 반응하지 않는 재료로 구성되는 전이금속 칼코제나이드 이종 접합 박막의 제조 장치
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제 13 항에 있어서,상기 소스 박막으로부터 제 2 전이금속 박막의 적어도 일부 또는 전체가 증발하여 제 2 전이금속 가스가 생성되도록, 제 1 공정 온도로 상기 소스 기판을 가열하고,상기 소스 기판과 상기 타깃 기판 사이의 기체 통로를 통해 칼코겐 함유 가스를 공급하고,상기 소스 박막으로부터 제 1 전이금속 박막의 적어도 일부 또는 전체가 증발하여 제 1 전이금속 가스가 생성되도록, 상기 제 1 공정 온도보다 더 높은 제 2 공정 온도로 상기 소스 기판을 가열하고,상기 소스 기판과 상기 타깃 기판 사이의 기체 통로를 통해 상기 칼코겐 함유 가스를 공급하도록 제어하는 제어부를 더 포함하며,상기 증발된 제 2 전이금속 가스가 상기 칼코겐 함유 가스와 반응하여 상기 타깃 기판의 표면에 제 1 전이금속 칼코제나이드 박막이 형성되고,상기 타깃 기판 상의 상기 제 1 전이금속 칼코제나이드 박막이 형성된 후에, 상기 증발된 제 1 전이금속 가스가 상기 칼코겐 함유 가스와 반응하여 상기 타깃 기판의 상기 제 1 전이금속 칼코제나이드 박막 상에 제 2 전이금속 칼코제나이드 박막이 형성되는 전이금속 칼코제나이드 이종 접합 박막의 제조 장치
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