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나노 층화 봉지 구조체, 그 제조 방법 및 이를 포함하는 플렉시블 유기 발광 다이오드 장치
- 기술번호 : KST2019024302
- 담당센터 : 대전기술혁신센터
- 전화번호 : 042-610-2279
| 요약 | 본 발명은, 플렉시블 유기 발광 다이오드에 적용될 수 있는 유연성과 투습성을 가지는 나노 층화 봉지 구조체를 제공한다. 본 발명의 일실시예에 따른 나노 층화 봉지 구조체는, 기판; 상기 기판 상에 형성되고, 제1 무기층과 제2 무기층을 포함하는 나노 층화 무기층; 및 상기 나노 층화 무기층 상에 형성된 유기층;을 포함하고, 상기 나노 층화 무기층은 상기 제1 무기층과 상기 제2 무기층의 경계에 공극을 구비한다. |
|---|---|
| Int. CL | H01L 51/52 (2006.01.01) H01L 51/00 (2006.01.01) H01L 51/56 (2006.01.01) |
| CPC | H01L 51/5237(2013.01) H01L 51/5237(2013.01) H01L 51/5237(2013.01) H01L 51/5237(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020170112708 (2017.09.04) |
| 출원인 | 한국과학기술원 |
| 등록번호/일자 | 10-1988576-0000 (2019.06.05) |
| 공개번호/일자 | 10-2019-0026229 (2019.03.13) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20190613) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2017.09.04) |
| 심사청구항수 | 16 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국과학기술원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 최경철 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 2 | 정은교 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 김남식 | 대한민국 | 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소) |
| 2 | 이인행 | 대한민국 | 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소) |
| 3 | 김한 | 대한민국 | 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국과학기술원 | 대전광역시 유성구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2017.09.04 | 수리 (Accepted) | 1-1-2017-0857525-15 |
| 2 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2017.09.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2017-0948883-46 |
| 3 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2018.08.22 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2018-0569833-10 |
| 4 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2018.10.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2018-1042582-72 |
| 5 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2018.11.21 | 수리 (Accepted) | 1-1-2018-1160079-52 |
| 6 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2018.12.24 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2018-1297658-56 |
| 7 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2018.12.24 | 수리 (Accepted) | 1-1-2018-1297657-11 |
| 8 | 거절결정서 Decision to Refuse a Patent |
2019.02.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2019-0151937-68 |
| 9 | [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 |
2019.04.02 | 수리 (Accepted) | 1-1-2019-0338720-07 |
| 10 | 법정기간연장승인서 |
2019.04.04 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2019-0057413-19 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
| 12 | [명세서등 보정]보정서(재심사) Amendment to Description, etc(Reexamination) |
2019.04.29 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2019-0440540-01 |
| 13 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2019.04.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2019-0440539-54 |
| 14 | 등록결정서 Decision to Grant Registration |
2019.05.10 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2019-0337327-34 |
| 15 | 면담 결과 기록서 |
2019.09.11 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-6-2019-0100882-39 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
| 17 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 기판;상기 기판 상에 형성되고, 아연 산화물층과 알루미늄 산화물층을 포함하는 나노 층화 무기층; 및상기 나노 층화 무기층 상에 형성된 유기층;을 포함하는 봉지 구조체이며,상기 나노 층화 무기층은 상기 아연 산화물층과 상기 알루미늄 산화물층의 계면에 공극을 구비하되, 상기 공극은 상기 알루미늄 산화물층을 형성하는 과정에서 상기 아연 산화물층을 구성하는 아연의 일부가 상기 알루미늄 산화물층을 형성하는 알루미늄 전구체에 의하여 식각되어 제거됨으로써 인위적으로 형성된 것이며, 인위적으로 형성된 상기 공극은 상기 봉지 구조체에서 성장하는 균열의 균열 첨단에서의 균열 모서리 반경을 감소시킴에 따라 응력 집중을 감소시키고, 상기 균열의 성장을 저지시키는 기능을 수행하는 것을 특징으로 하는, 나노 층화 봉지 구조체 |
| 2 |
2 삭제 |
| 3 |
3 삭제 |
| 4 |
4 제 1 항에 있어서,상기 공극은 1 nm 내지 10 nm 범위의 길이를 가지는, 나노 층화 봉지 구조체 |
| 5 |
5 제 1 항에 있어서,상기 아연 산화물층과 상기 알루미늄 산화물층은 각각 복수로서 서로 교번하여 적층된, 나노 층화 봉지 구조체 |
| 6 |
6 제 1 항에 있어서,상기 나노 층화 무기층은, 20 nm 내지 40 nm 범위의 두께를 가지는, 나노 층화 봉지 구조체 |
| 7 |
7 제 1 항에 있어서,상기 아연 산화물층 및 상기 알루미늄 산화물층은 2 nm 내지 5 nm 범위의 두께를 각각 가지는, 나노 층화 봉지 구조체 |
| 8 |
8 삭제 |
| 9 |
9 삭제 |
| 10 |
10 제 1 항에 있어서,상기 아연 산화물층 및 상기 알루미늄 산화물층은 원자층 증착(ALD), 화학기상 증착(CVD), 물리기상 증착(PVD), 스퍼터 증착(sputter), 전자선 증착(E-beam), 및 진공 증착(vacuum plating) 중 적어도 어느 하나를 이용하여 형성한, 나노 층화 봉지 구조체 |
| 11 |
11 제 1 항에 있어서,상기 나노 층화 무기층은 비정질 구조를 가지는, 나노 층화 봉지 구조체 |
| 12 |
12 제 1 항에 있어서,상기 유기층과 상기 나노 층화 무기층은 각각 복수로서 서로 교번하여 적층된, 나노 층화 봉지 구조체 |
| 13 |
13 제 1 항에 있어서,상기 유기층은, 50 nm 내지 150 nm 범위의 두께를 가지는, 나노 층화 봉지 구조체 |
| 14 |
14 제 1 항에 있어서,상기 기판은 광을 통과시키는 투명한 물질을 포함하고, 가요성 물질을 포함하는, 나노 층화 봉지 구조체 |
| 15 |
15 기판;상기 기판 상에 형성되고, 아연 산화물층과 알루미늄 산화물층을 포함하는 나노 층화 무기층; 및상기 나노 층화 무기층 상에 형성된 유기층;을 포함하는 봉지 구조체이며,상기 나노 층화 무기층은 상기 아연 산화물층과 상기 알루미늄 산화물층의 계면에 공극을 구비하되, 상기 공극은 상기 알루미늄 산화물을 형성하는 과정에서 상기 아연 산화물의 아연이 상기 알루미늄 산화물을 형성하는 알루미늄 전구체에 의하여 식각되어 제거됨으로써 인위적으로 형성된 것이며, 인위적으로 형성된 상기 공극은 상기 봉지 구조체에서 성장하는 균열의 균열 첨단에서의 균열 모서리 반경을 감소시킴에 따라 응력 집중을 감소시키고, 상기 균열의 성장을 저지시키는 기능을 수행하는 것을 특징으로 하는,나노 층화 봉지 구조체 |
| 16 |
16 삭제 |
| 17 |
17 제 15 항에 있어서,상기 알루미늄 전구체는 트리메틸알루미늄을 포함하는, 나노 층화 봉지 구조체 |
| 18 |
18 제 15 항에 있어서,상기 아연 산화물은 디에틸 아연을 포함하는 아연 전구체를 이용하여 형성된, 나노 층화 봉지 구조체 |
| 19 |
19 소자층; 및상기 소자층 상에 배치된 나노 층화 봉지 구조체;를 포함하고, 상기 나노 층화 봉지 구조체는:기판;상기 기판 상에 형성되고, 아연 산화물층과 알루미늄 산화물층을 포함하는 나노 층화 무기층; 및상기 나노 층화 무기층 상에 형성된 유기층;을 포함하고,상기 나노 층화 무기층은 상기 아연 산화물층과 상기 알루미늄 산화물층의 계면에 공극을 구비하되, 상기 공극은 상기 알루미늄 산화물층을 형성하는 과정에서 상기 아연 산화물층을 구성하는 아연의 일부가 상기 알루미늄 산화물층을 형성하는 알루미늄 전구체에 의하여 식각되어 제거됨으로써 인위적으로 형성된 것이며, 인위적으로 형성된 상기 공극은 상기 봉지 구조체에서 성장하는 균열의 균열 첨단에서의 균열 모서리 반경을 감소시킴에 따라 응력 집중을 감소시키고, 상기 균열의 성장을 저지시키는 기능을 수행하는 것을 특징으로 하는, 플렉시블 유기 발광 다이오드 장치 |
| 20 |
20 제 19 항에 있어서,상기 소자층은 전계발광(electro-luminescence, EL) 소자, 양자점(quantum dot, QD) 소자, 및 페로브스카이트(perovskite) 소자 중 적어도 어느 하나를 포함하는, 플렉시블 유기 발광 다이오드 장치 |
| 21 |
21 아연 산화물 층을 형성하는 단계;상기 아연 산화물 층 상에 알루미늄 산화물 층을 형성하는 단계; 및 상기 알루미늄 산화물을 형성하는 과정에서 상기 아연 산화물의 아연이 상기 알루미늄 산화물을 형성하는 알루미늄 전구체에 의하여 식각되어 제거되어 상기 아연 산화물 층과 상기 알루미늄 산화물 층의 계면에 공극을 인위적으로 형성하는 단계;를 포함하되, 인위적으로 형성된 상기 공극은 성장하는 균열의 균열 첨단에서의 균열 모서리 반경을 감소시킴에 따라 응력 집중을 감소시키고, 상기 균열의 성장을 저지시키는 기능을 수행하는 것을 특징으로 하는, 나노 층화 봉지 구조체의 제조 방법 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | WO2019045202 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | FAMILY |
DOCDB 패밀리 정보
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | WO2019045202 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | DOCDBFAMILY |
| 순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 과학기술정보통신부 | 한국과학기술원 | 선도연구센터사업 | 인체부착형 빛 치료 헬스케어 공학 센터 |
| 2 | 미래창조과학부 | 한국과학기술원 | 나노소재기술개발사업 | 소프트 IoT 패치용 플랫폼 구현을 위한 스트레스 릴리프 기판 및 3차원 인터커넥션 배선 공정 개발 |
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1988576-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20170904 출원 번호 : 1020170112708 공고 연월일 : 20190613 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20190510 청구범위의 항수 : 16 유별 : H01L 51/52 발명의 명칭 : 나노 층화 봉지 구조체, 그 제조 방법 및 이를 포함하는 플렉시블 유기 발광 다이오드 장치 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 한국과학기술원 대전광역시 유성구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 334,500 원 | 2019년 06월 07일 | 납입 |
- 본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
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- 해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2017.09.04 | 수리 (Accepted) | 1-1-2017-0857525-15 |
| 2 | [출원서등 보정]보정서 | 2017.09.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2017-0948883-46 |
| 3 | 의견제출통지서 | 2018.08.22 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2018-0569833-10 |
| 4 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2018.10.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2018-1042582-72 |
| 5 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2018.11.21 | 수리 (Accepted) | 1-1-2018-1160079-52 |
| 6 | [명세서등 보정]보정서 | 2018.12.24 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2018-1297658-56 |
| 7 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2018.12.24 | 수리 (Accepted) | 1-1-2018-1297657-11 |
| 8 | 거절결정서 | 2019.02.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2019-0151937-68 |
| 9 | [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2019.04.02 | 수리 (Accepted) | 1-1-2019-0338720-07 |
| 10 | 법정기간연장승인서 | 2019.04.04 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2019-0057413-19 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
| 12 | [명세서등 보정]보정서(재심사) | 2019.04.29 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2019-0440540-01 |
| 13 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2019.04.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2019-0440539-54 |
| 14 | 등록결정서 | 2019.05.10 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2019-0337327-34 |
| 15 | 면담 결과 기록서 | 2019.09.11 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-6-2019-0100882-39 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
| 17 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제고유번호 | 1711048695 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2016M3A7B4910635 |
| 연구과제명 | 소프트 IoT 패치용 플랫폼 구현을 위한 스트레스 릴리프 기판 및 3차원 인터커넥션 배선 공정 개발 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 과학기술정보통신부 |
| 연구관리전문기관명 | |
| 연구주관기관명 | |
| 성과제출연도 | 2017 |
| 연구기간 | 201703~201802 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1711055857 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2017R1A5A1014708 |
| 연구과제명 | 인체부착형 빛 치료 헬스케어 공학 센터 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 과학기술정보통신부 |
| 연구관리전문기관명 | |
| 연구주관기관명 | |
| 성과제출연도 | 2017 |
| 연구기간 | 201706~201802 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | IT(정보기술) |
특허성과
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