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전이금속칼코겐 화합물의 대면적 전사 방법

  • 기술번호 : KST2019034177
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전이금속칼코겐 화합물의 대면적 전사 방법에 관한 것으로, 본 발명의 실시예에 따른 전이금속칼코겐 화합물의 대면적 전사 방법은 웨이퍼의 표면을 불산 처리하여 초친수성으로 표면개질시키는 단계; 상기 표면개질된 웨이퍼 상에 전이금속칼코겐 화합물을 합성하여 전이금속칼코겐 화합물층을 형성하는 단계; 상기 표면개질된 웨이퍼와 상기 전이금속칼코겐 화합물층 사이에 물을 가하여 상기 표면개질된 웨이퍼로부터 상기 전이금속칼코겐 화합물층을 박리하는 단계; 및 상기 전이금속칼코겐 화합물층을 타겟기판에 전사하는 단계를 포함한다.
Int. CL H01L 21/285 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01)
CPC H01L 21/28556(2013.01) H01L 21/28556(2013.01) H01L 21/28556(2013.01) H01L 21/28556(2013.01) H01L 21/28556(2013.01) H01L 21/28556(2013.01)
출원번호/일자 1020180031420 (2018.03.19)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-2024463-0000 (2019.09.17)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20190923) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.03.19)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안종현 서울특별시 서대문구
2 다스 탄모이 서울특별시 서대문구
3 신데 사친 마루 서울특별시 서대문구
4 샤마 부펜드라 쿠마르 서울특별시 서대문구
5 첸 시양 서울특별시 서대문구
6 호앙 안 투안 서울특별시 서대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김연권 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, ****/****호(문정동, 문정대명벨리온)(시안특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2018.03.19 수리 (Accepted) 1-1-2018-0271247-73
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2019.02.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2019.05.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0056602-06
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2019.06.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0432680-98
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.07.17 수리 (Accepted) 1-1-2019-0731014-44
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2019.07.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0731018-26
7 등록결정서
Decision to grant		 2019.09.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0653989-62
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
웨이퍼의 표면을 불산 처리하여 초친수성으로 표면개질시키는 단계; 상기 표면개질된 웨이퍼 상에 전이금속칼코겐 화합물을 합성하여 전이금속칼코겐 화합물층을 형성하는 단계; 상기 표면개질된 웨이퍼와 상기 전이금속칼코겐 화합물층 사이에 물을 가하여 상기 표면개질된 웨이퍼로부터 상기 전이금속칼코겐 화합물층을 박리하는 단계; 및 상기 전이금속칼코겐 화합물층을 타겟기판에 전사하는 단계를 포함하는 전이금속칼코겐 화합물의 대면적 전사 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 웨이퍼는 상기 불산 처리에 의해 상기 웨이퍼의 표면에 실라놀 그룹이 형성되어 웨이퍼의 표면이 초친수성으로 표면개질되는 것을 특징으로 하는 전이금속칼코겐 화합물의 대면적 전사 방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 불산 처리는 DHF(Diluted HF)을 이용하여 20℃ 내지 60℃의 온도에서 30초 내지 60초 동안 수행하는 것을 특징으로 하는 전이금속칼코겐 화합물의 대면적 전사 방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 표면개질된 웨이퍼는 물과의 접촉각(θ)이 3°인 것을 특징으로 하는 전이금속칼코겐 화합물의 대면적 전사 방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 전이금속칼코겐 화합물은 전이금속 함유 소스가스 및 칼코겐 함유 소스가스를 이용하여 7
6 6
제1항에 있어서, 상기 전이금속칼코겐 화합물은 MoS2, MoSe2, MoTe2, WS2, WSe2, WTe2, HfS2, HfSe2 및 HfTe2 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 전이금속칼코겐 화합물의 대면적 전사 방법
7 7
제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 상에 전이금속칼코겐 화합물을 합성하여 전이금속칼코겐 화합물층을 형성하는 단계 후, 상기 전이금속칼코겐 화합물층 상에 고분자층을 형성하는 단계를 더 포함하여, 상기 전이금속칼코겐 화합물층을 박리 및 전사하는 단계에서 상기 고분자층을 지지층으로 이용하는 것을 특징으로 하는 전이금속칼코겐 화합물의 대면적 전사 방법
8 8
웨이퍼의 표면을 자외선-오존(UV-O3) 처리하여 초친수성으로 표면개질시키는 단계; 상기 표면개질된 웨이퍼 상에 전이금속칼코겐 화합물을 합성하여 전이금속칼코겐 화합물층을 형성하는 단계; 상기 표면개질된 웨이퍼와 상기 전이금속칼코겐 화합물층 사이에 물을 가하여 상기 표면개질된 웨이퍼로부터 상기 전이금속칼코겐 화합물층을 박리하는 단계; 및 상기 전이금속칼코겐 화합물층을 타겟기판에 전사하는 단계를 포함하는 전이금속칼코겐 화합물의 대면적 전사 방법
9 9
제8항에 있어서, 상기 표면개질된 웨이퍼는 물과의 접촉각(θ)이 23°인 것을 특징으로 하는 전이금속칼코겐 화합물의 대면적 전사 방법
10 10
삭제
11 11
삭제
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 연세대학교 산학협력단 리더연구자지원사업 변형 제어 고성능 전자 소자 연구단(3/3,1단계)