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복수의 층이 포함된 제1 영역을 포함하는 피측정 대상을 제공하고, 상기 제1 영역에, 제1 입력 전기장의 시간에 따른 변화인 제1 입력 신호를 입력시켜, 상기 제1 영역을 투과 또는 반사한 제1 출력 전기장의 시간에 따른 변화인 제1 출력 신호를 측정하고,복수의 제1 모델링 층의 제1 구조 정보 및 상기 복수의 제1 모델링 층 각각의 도핑 농도에 대한 정보를 포함하는 제1 모델을 생성하고,상기 제1 모델에, 상기 제1 입력 신호를 입력값으로 하여, 상기 제1 모델을 투과 또는 반사한 제2 출력 전기장의 시간에 따른 변화인 제2 출력 신호를 시간 영역에서 계산하고,상기 제1 출력 신호와 상기 제2 출력 신호를 비교한 결과가 임계값보다 작으면 상기 제1 모델을 상기 제1 영역과 매핑시키고,상기 제1 모델을 기초로 상기 복수의 층의 3차원 구조를 추정한 3차원 모델을 결정하는 것을 포함하고,상기 3차원 모델은, 상기 복수의 층 각각의 도핑 농도에 대한 정보를 포함하는 3차원 구조의 도핑 농도 결정 방법
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제 1항에 있어서,상기 제1 모델은 복수의 그리드 영역을 포함하고,상기 제2 출력 신호를 시간 영역에서 계산하는 것은,상기 복수의 그리드 영역 각각과 접하는 적어도 네 개의 그리드 영역 각각과의 경계에서, 시간에 따른 전기장의 변화를 계산하여, 상기 복수의 그리드 영역 각각의 경계 조건을 얻고,상기 복수의 그리드 영역 각각의 경계 조건을 합성하여, 상기 복수의 그리드 영역 전체에 대한 신호인 상기 제2 출력 신호를 시간 영역에서 계산하는 것을 포함하는 3차원 구조의 도핑 농도 결정 방법
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제 2항에 있어서,상기 복수의 그리드 영역은 제1, 제2, 제3, 제4 및 제5 그리드 영역을 포함하고,상기 제1 그리드 영역은, 제1, 제2, 제3 및 제4 변을 포함하고,상기 제2 그리드 영역은, 상기 제1 그리드 영역의 제1 변과 접하고,상기 제3 그리드 영역은 상기 제1 그리드 영역의 제2 변과 접하고,상기 제4 그리드 영역은 상기 제1 그리드 영역의 제3 변과 접하고,상기 제5 그리드 영역은 상기 제1 그리드 영역의 제4 변과 접하고,상기 복수의 그리드 영역 각각의 경계 조건을 얻는 것은, 상기 제1 그리드 영역과 상기 제2 그리드 영역의 경계에서의 시간에 따른 전기장의 변화인 제1 경계 조건을 계산하고, 상기 제1 그리드 영역과 상기 제3 그리드 영역의 경계에서의 시간에 따른 전기장의 변화인 제2 경계 조건을 계산하고, 상기 제1 그리드 영역과 상기 제4 그리드 영역의 경계에서의 시간에 따른 전기장의 변화인 제3 경계 조건을 계산하고, 상기 제1 그리드 영역과 상기 제5 그리드 영역의 경계에서의 시간에 따른 전기장의 변화인 제4 경계 조건을 계산하는 것을 포함하는 3차원 구조의 도핑 농도 결정 방법
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제 1항에 있어서,상기 제1 모델을 포함하는 복수의 모델 각각에, 상기 제1 입력 신호를 입력값으로 하여, 상기 복수의 모델 각각을 투과 또는 반사한 복수의 제3 출력 전기장 각각의 시간에 따른 변화인 복수의 제3 출력 신호 계산하여, 상기 복수의 모델과 상기 복수의 제3 출력 신호를 포함하는 데이터 베이스를 생성하는 것을 더 포함하고,상기 복수의 제3 출력 신호는 상기 제2 출력 신호를 포함하고,상기 복수의 모델 각각은, 복수의 모델링 층의 구조 정보 및 상기 복수의 모델링 층 각각의 도핑 농도에 대한 정보를 포함하되, 상기 복수의 모델 각각은, 상기 구조 정보 및 상기 도핑 농도에 대한 정보 중 적어도 어느 하나가 서로 상이한 3차원 구조의 도핑 농도 결정 방법
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제 4항에 있어서,상기 제1 출력 신호와 상기 제2 출력 신호를 비교한 결과가 상기 임계값보다 크면,상기 데이터 베이스를 이용하여, 상기 복수의 제3 출력 신호 각각과 상기 제1 출력 신호를 비교하는 것을 더 포함하는 3차원 구조의 도핑 농도 결정 방법
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6
제 5항에 있어서,상기 복수의 제3 출력 신호 각각과 상기 제1 출력 신호를 비교한 결과가 상기 임계값보다 크면,상기 데이터 베이스에 포함되지 않은 제2 모델을 형성하고,상기 제2 모델에 상기 제1 입력 신호를 입력시켜, 상기 제2 모델을 투과 또는 반사한 제4 출력 전기장의 시간에 따른 변화인 제4 출력 신호를 시간 영역에서 계산하고,상기 제2 모델 및 상기 제4 출력 신호를 상기 데이터 베이스에 추가하여, 상기 데이터 베이스를 업데이트하는 것을 더 포함하고,상기 제2 모델은 복수의 제2 모델링 층의 제2 구조 정보 및 상기 복수의 제2 모델링 층 각각의 도핑 농도에 대한 정보를 포함하는 3차원 구조의 도핑 농도 결정 방법
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제 1항에 있어서,상기 제1 출력 신호와 상기 제2 출력 신호를 비교한 결과가 상기 임계값보다 크면, 복수의 제2 모델링 층의 제2 구조 정보 및 상기 복수의 제2 모델링 층 각각의 도핑 농도에 대한 정보를 포함하는 제2 모델을 생성하고, 상기 제2 모델에 상기 제1 입력 신호를 입력값으로 하여, 상기 제2 모델을 투과 또는 반사한 제3 출력 전기장의 시간에 따른 변화인 제3 출력 신호를 시간 영역에서 계산하고,상기 제1 출력 신호와 상기 제3 출력 신호를 비교하는 것을 더 포함하는 3차원 구조의 도핑 농도 결정 방법
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복수의 제1 모델링 층의 제1 구조 정보 및 상기 복수의 제1 모델링 층 각각의 도핑 농도에 대한 정보를 포함하는 제1 모델을 생성하고,제1 입력 전기장의 시간에 따른 변화인 제1 입력 신호를 입력값으로 하여, 상기 제1 모델을 투과 또는 반사한 제1 출력 전기장의 시간에 따른 변화인 제1 출력 신호를 시간 영역에서 계산하고,전기장의 시간에 따른 변화인 외부 입력값과 상기 제1 출력 신호를 비교하고,상기 외부 입력값과 상기 제1 출력 신호를 비교한 결과를 기초로, 상기 제1 모델을 3차원 모델로 변환하는 프로그램이 기록된 컴퓨터로 판독 가능한 기록 매체
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제 8항에 있어서,상기 제1 모델은 복수의 그리드 영역을 포함하고,상기 제1 출력 신호를 시간 영역에서 계산하는 것은,상기 복수의 그리드 영역 각각과 접하는 네 개의 그리드 영역 각각과의 경계에서, 시간에 따른 전기장의 변화를 계산하여, 상기 복수의 그리드 영역 각각의 경계 조건을 얻고,상기 복수의 그리드 영역 각각의 경계 조건을 합성하여, 상기 복수의 그리드 영역 전체에 대한 신호인 상기 제1 출력 신호를 시간 영역에서 계산하는 것을 포함하는 프로그램이 기록된 컴퓨터로 판독 가능한 기록 매체
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제 8항에 있어서,상기 제1 모델을 포함하는 복수의 모델 각각에, 상기 제1 입력 신호를 입력값으로 하여, 상기 복수의 모델 각각을 투과 또는 반사한 복수의 제3 출력 전기장 각각의 시간에 따른 변화인 복수의 제3 출력 신호 계산하여, 상기 복수의 모델과 상기 복수의 제3 출력 신호를 포함하는 데이터 베이스를 생성하는 것을 더 포함하고,상기 복수의 제3 출력 신호는 상기 제1 출력 신호를 포함하고,상기 복수의 모델 각각은, 복수의 모델링 층의 구조 정보 및 상기 복수의 모델링 층 각각의 도핑 농도에 대한 정보를 포함하되, 상기 복수의 모델 각각은, 상기 구조 정보 및 상기 도핑 농도에 대한 정보 중 적어도 어느 하나가 서로 상이한 프로그램이 기록된 컴퓨터로 판독 가능한 기록 매체
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