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다공성 막의 제조 방법 및 이의 제조 장치

  • 기술번호 : KST2020012697
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 다공성 막의 제조 방법에 관한 것으로서, 일 실시예에서, 반응 챔버 내부의 기판에 다공성 막을 형성하기 위한 전구체 졸 및 상기 전구체 졸이 분산되어 있는 제 1 용매를 포함하는 전구체 용액을 제공하는 단계, 상기 전구체 용액으로부터 소정의 제 1 용매를 기화시키는 단계 및 상기 반응 챔버 내부에 상기 제 1 용매와 동일 종류의 제 2 용매의 증기를 주입함으로써 상기 반응 챔버 내부의 상기 제 1 용매의 기화 속도를 조절하는 단계를 포함할 수 있으며, 상기 전구체 용액의 이동 속도는 상기 기판 상에서 전구체 용액이 이동하여 막을 형성하고, 상기 전구체 용액의 이동 속도는 상기 제 1 용매의 기화 속도를 조절함으로써 제어될 수 있다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/67 (2006.01.01)
CPC H01L 21/02203(2013.01) H01L 21/02203(2013.01) H01L 21/02203(2013.01) H01L 21/02203(2013.01) H01L 21/02203(2013.01) H01L 21/02203(2013.01) H01L 21/02203(2013.01) H01L 21/02203(2013.01)
출원번호/일자 1020190087681 (2019.07.19)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-2125171-0000 (2020.06.15)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20200619) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.07.19)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 손현철 서울특별시 서대문구
2 장유진 서울특별시 서대문구
3 김태호 서울특별시 서대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김권석 대한민국 서울특별시 서초구 논현로**, B동 *층(양재동, 삼호물산빌딩)(아이피맥스특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2019.07.19 수리 (Accepted) 1-1-2019-0743496-52
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.10.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.12.17 수리 (Accepted) 9-1-2019-0058325-38
4 등록결정서
Decision to grant
2020.06.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0397935-93
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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반응 챔버 내부의 기판에 다공성 막을 형성하기 위한 전구체 졸 및 상기 전구체 졸이 분산되어 있는 제 1 용매를 포함하는 전구체 용액을 제공하는 단계;상기 전구체 용액으로부터 소정의 제 1 용매를 기화시키는 단계; 및상기 반응 챔버 내부에 상기 제 1 용매와 동일 종류의 제 2 용매의 증기를 주입함으로써 상기 반응 챔버 내부의 상기 제 1 용매의 기화 속도를 조절하는 단계를 포함하며,상기 기판 상에서 전구체 용액이 이동하여 막을 형성하고, 상기 전구체 용액의 이동 속도는 상기 제 1 용매의 기화 속도를 조절함으로써 제어되는 다공성 막의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 전구체 졸은 테트라에틸 규산염(tetraethyl orthosilicate; TEOS)를 포함하는 다공성 막의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 반응 챔버의 내부 온도는 상기 용매의 포화 증기압이 1
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반응 챔버 내부의 기판에 다공성 막을 형성하기 위한 전구체 졸 및 상기 전구체 졸이 분산되어 있는 제 1 용매를 포함하는 전구체 용액을 제공하는 공급 모듈;상기 반응 챔버 내부에 상기 제 1 용매와 동일 종류의 제 2 용매의 증기를 주입함으로써 상기 반응 챔버 내부의 상기 제 1 용매의 기화 속도를 조절하는 제어 모듈; 및상기 전구체 용액으로부터 소정의 제 1 용매를 기화시키고, 상기 전구체 졸을 졸겔 반응시켜 상기 다공성 막을 형성하는 졸겔 반응 모듈을 포함하며, 상기 기판 상에서 전구체 용액이 이동하여 막을 형성하고, 상기 전구체 용액의 이동 속도는 상기 용매의 기화 속도를 조절함으로써 제어되는 다공성 막의 제조 장치
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제 4 항에 있어서,상기 제어 모듈은,상기 제 2 용매를 수용하는 용매 챔버, 상기 제 2 용매가 기화되도록 상기 제 2 용매를 가열하는 히터 및 상기 제 2 용매의 증기가 상기 반응 챔버에 공급되는 중에 기체 상태를 유지하도록 가열하는 디스펜서 히터를 포함하는 다공성 막의 제조 장치
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제 4 항에 있어서,상기 졸겔 반응 모듈은,상기 반응 챔버 내부의 상기 제 1 용매의 증기압을 측정하는 제 1 압력 센서를 더 포함하는 다공성 막의 제조 장치
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제 6 항에 있어서,상기 제어 모듈은,상기 제 1 압력 센서로부터 증기압 정보를 획득하여 상기 제 2 용매의 증기의 주입량을 제어하는 다공성 막의 제조 장치
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