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상하로 적층된 금속층-유전체층-금속층 형태이고, 상기 양 금속층에 공극 패턴이 형성된 적층형 조리개; 및상기 적층형 조리개 일측면 상에 구비되는 마이크로렌즈 어레이;를 포함하는, 렌즈 구조체
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제1항에 있어서,상기 적층형 조리개는,제1 공극 패턴을 가지는 제1 금속층;상기 제1 금속층 상부에 배치되는 유전체층; 및상기 유전체층 상부에 배치되고, 상기 제1 공극 패턴과 일렬로 정렬되는 제2 공극 패턴을 가지는 제2 금속층;을 포함하고,상기 마이크로렌즈 어레이는,상기 제2 금속층의 각 공극 상부에 구비되는 마이크로렌즈 복수개를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는, 렌즈 구조체
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제2항에 있어서,상기 제1 금속층은 기판 상부에 형성되고,상기 제2 금속층의 두께는 상기 제1 금속층의 두께보다 얇은 것을 특징으로 하는, 렌즈 구조체
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제2항에 있어서,상기 제1 금속층은 기판 상부에 형성되고,상기 제1 금속층의 두께는 상기 제2 금속층의 두께보다 얇은 것을 특징으로 하는, 렌즈 구조체
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제2항에 있어서,상기 제1 공극 패턴의 공극의 직경과 상기 제2 공극 패턴의 공극의 직경이 동일하고,상기 제1 공극 패턴 및 제2 공극 패턴의 공극의 직경은, 상기 마이크로렌즈의 직경과 같거나 작은 것을 특징으로 하는, 렌즈 구조체
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제1항에 있어서,상기 각 금속층을 형성하는 금속의 종류, 각 금속층의 두께, 및 상기 유전체층의 두께를 달리함에 따라, 상기 적층형 조리개의 광흡수율 특성이 변화되는 것을 특징으로 하는, 렌즈 구조체
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제1항에 있어서,상기 양 금속층 중 어느 하나의 금속층의 두께는 1 내지 20 nm 이고,상기 유전층의 두께는 50 내지 300 nm 이며,상기 양 금속층 중 다른 금속층의 두께는 100 nm 이상인 것을 특징으로 하는, 렌즈 구조체
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8
제1항에 있어서,상기 적층형 조리개가 적어도 둘 이상 적층되어 다층구조를 이루되, 상기 적층형 조리개들 각각의 사이에는 투명층이 배치되고,상기 각 적층형 조리개는,제1 공극 패턴을 가지는 제1 금속층, 상기 제1 금속층 상부에 배치되는 유전체층, 및 상기 유전체층 상부에 배치되고, 상기 제1 공극 패턴과 일렬로 정렬되는 제2 공극 패턴을 가지는 제2 금속층을 포함하고,상기 마이크로렌즈 어레이는,상기 적층형 조리개들 중 최상부 적층형 조리개의 제2 금속층의 각 공극 상부에 구비되는 마이크로렌즈 복수개를 포함하여 이루어지는, 렌즈 구조체
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제8항에 있어서,상기 적층형 조리개들 중 각각의 적층형 조리개에 있어서, 각 적층형 조리개의 제1 공극 패턴의 공극의 직경과 제2 공극 패턴의 공극의 직경이 동일하고,상기 적층형 조리개들 중 어느 하나의 적층형 조리개의 제1 공극 패턴 및 제2 공극 패턴의 공극의 직경은, 다른 어느 하나의 적층형 조리개의 제1 공극 패턴 및 제2 공극 패턴의 공극의 직경과 상이한 것을 특징으로 하는, 렌즈 구조체
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10
제8항에 있어서,상기 투명층의 두께는 1 내지 100 μm인 것을 특징으로 하는, 렌즈 구조체
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상하로 적층된 금속층-유전체층-금속층 형태이고, 상기 양 금속층에 공극 패턴이 형성된 적층형 조리개를 형성하는 단계; 및상기 적층형 조리개 일측면 상에 구비되는 마이크로렌즈 어레이를 형성하는 단계;를 포함하는, 렌즈 구조체 제작 방법
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12
제11항에 있어서,상기 적층형 조리개를 형성하는 단계는,기판 상에 PR(Photoresist) 패턴을 형성하고, 상기 기판과 상기 기판 상의 PR 패턴 상에 제1 금속을 증착한 이후 상기 기판 상의 PR을 현상하여, 기판 상에 제1 공극 패턴을 가지는 제1 금속층을 형성하는 단계;상기 제1 금속층 상에 유전체를 증착하여, 상기 제1 금속층 상에 유전체층을 형성하는 단계; 및상기 유전체층 상에 상기 제1 금속층의 제1 공극 패턴과 일렬로 정렬되는 PR 패턴을 형성하고, 상기 유전체층과 상기 유전체층 상의 PR 패턴 상에 제2 금속을 증착한 이후 상기 유전체층 상의 PR을 현상하여, 상기 유전체층 상에 상기 제1 금속층의 공극 패턴과 일렬로 정렬되는 제2 공극 패턴을 가지는 제2 금속층을 형성하는 단계;를 포함하고,상기 마이크로렌즈 어레이를 형성하는 단계는,상기 제2 금속층의 각 공극 상에 마이크로렌즈를 형성하는 단계;를 포함하는, 렌즈 구조체 제작 방법
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제12항에 있어서,상기 제1 금속층을 형성하는 단계와 상기 제2 금속층을 형성하는 단계에서,상기 기판 상의 PR 패턴과 상기 유전체층 상의 PR 패턴은, 네거티브 PR을 코팅한 이후 리프트 오프(Lift-off) 공정을 통해 형성되는 것을 특징으로 하는, 렌즈 구조체 제작 방법
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제12항에 있어서,상기 마이크로렌즈 어레이를 형성하는 단계에서,상기 마이크로렌즈는, 상기 제2 금속층의 각 공극 상에 마이크로렌즈용 PR을 코팅하여 패턴 노광 및 현상하고, 소수성 코팅 처리 이후 열적 리플로우(Thermal reflow)를 통해 형성되는 것을 특징으로 하는, 렌즈 구조체 제작 방법
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15
제11항에 있어서,상기 적층형 조리개를 형성하는 단계를 적어도 2회 이상 반복하여 둘 이상의 적층형 조리개를 형성하되, 상기 적층형 조리개들 각각의 사이에 투명층을 형성하여, 적층형 조리개와 투명층을 교번하여 적층하는 단계; 및상기 적층형 조리개들 중 최상부 적층형 조리개 상에 마이크로렌즈 어레이를 형성하는 단계;를 포함하고,상기 적층형 조리개를 형성하는 단계는,기판 또는 투명층 상에 공극 패턴을 가지는 제1 금속층을 형성하고, 상기 제1 금속층 상에 유전체층을 형성하고, 상기 유전체층 상에 상기 제1 금속층의 공극 패턴과 일렬로 정렬되는 공극 패턴을 가지는 제2 금속층을 형성하는 것을 특징으로 하는, 렌즈 구조체 제작 방법
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