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상면에 샘플이 배치되고, 상기 상면과 평행한 방향에서 상기 샘플의 위치를 조절하는 샘플 스테이지;각각 서로 다른 형태를 가지고, 상기 샘플에 대한 프로파일링(profiling) 및 밀링(milling)을 번갈아 수행하며, 상기 프로파일링 또는 밀링을 수행하는 동안 상기 샘플의 상부에 배치되는 복수의 팁(tip)들;상기 복수의 팁들 중 하나와 결합된 캔틸레버(cantilever)와 연결되고, 상기 샘플 스테이지의 상면에 수직한 제1 방향에서 상기 캔틸레버의 위치를 조절하는 팁 스테이지;상기 캔틸레버와 결합된 팁과 상기 샘플 사이의 위치 관계에 대한 정보를 획득하는 위치 센서;상기 위치 관계에 대한 정보에 기초하여 상기 샘플 스테이지 및 상기 팁 스테이지의 움직임을 제어하는 스테이지 제어부; 및 상기 복수의 팁들 중에서, 상기 프로파일링 또는 밀링을 수행할 팁을 선택하고 밀링 수행 조건을 설정하는 팁 제어부; 를 포함하고, 상기 밀링으로부터 가공되는 상기 샘플의 상기 제1 방향에서의 깊이는 상기 팁과 상기 샘플 사이의 거리 및 상기 팁과 상기 샘플 사이에 작용하는 힘 사이의 관계에 기초하여 제어되는 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 프로파일링으로부터 상기 샘플의 상기 제1 방향에서의 구조와 상기 제1 방향에 수직한 방향에서의 구조를 각각 검사하는 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 프로파일링으로부터 상기 샘플 표면의 구조 정보 및 물성 정보를 획득하는 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 프로파일링의 결과에 기초하여 상기 샘플 스테이지 및 상기 팁 스테이지의 움직임을 제어함으로써 상기 샘플의 소정의 위치에서 선택적으로 밀링을 수행하는 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 팁 제어부는 팁의 형태, 팁의 강성, 상기 샘플 표면의 구조 정보, 및 상기 샘플 표면의 물성 정보 중 적어도 하나에 기초하여 상기 복수의 팁들 중 하나를 선택하는 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 밀링 수행 조건은 밀링 방향, 밀링 면적, 및 밀링 깊이 중 적어도 하나를 포함하는 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 복수의 팁들은 종횡비가 서로 다른 원뿔 형태의 팁들, 및 해머 형태의 헤드를 포함하는 팁을 포함하는 검사 장치
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제1항에 있어서,소정의 깊이에서 상기 샘플의 구조를 획득하기 전까지, 상기 프로파일링 및 밀링을 반복적으로 수행하는 검사 장치
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상면에 샘플이 배치되고, 상기 상면과 평행한 방향에서 상기 샘플의 위치를 조절하는 샘플 스테이지;상기 샘플의 표면 정보를 획득하는 선행 프로파일링(pre-profiling)을 수행하는 제1 팁, 상기 샘플에 대한 밀링(milling)을 수행하는 제2 팁, 상기 샘플에 대한 프로파일링(profiling)을 수행하는 제3 팁을 포함하고, 상기 제1 팁, 상기 제2 팁, 및 상기 제3 팁은 서로 다른 형태를 갖는 복수의 팁(tip)들;상기 복수의 팁들 각각과 결합되는 캔틸레버(cantilever)와 연결되고, 상기 샘플 스테이지의 상면에 수직한 제1 방향에서 상기 캔틸레버의 위치를 조절하는 팁 스테이지;상기 복수의 팁들 중 상기 프로파일링 또는 밀링을 수행하는 팁과 상기 샘플 사이의 위치 관계에 대한 정보를 획득하는 위치 센서; 상기 위치 관계에 대한 정보에 기초하여 상기 샘플 스테이지 및 상기 팁 스테이지의 움직임을 제어하는 스테이지 제어부; 및상기 프로파일링 또는 밀링을 수행할 팁을 선택하고 밀링이 수행되는 조건을 설정하는 팁 제어부; 를 포함하는 검사 장치
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제9항에 있어서,상기 제2 팁 및 상기 제3 팁 각각은, 서로 다른 형태 및 서로 다른 강성을 갖는 복수의 팁들을 포함하는 검사 장치
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제10항에 있어서,상기 제2 팁 및 상기 제3 팁 각각은 개별적으로 동작하는 복수의 검사부들 각각에 포함되고, 상기 팁 제어부는 상기 복수의 검사부들 중 프로파일링 또는 밀링을 수행할 검사부를 선택하는 검사 장치
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제9항에 있어서,상기 제1 팁을 선택하여 상기 샘플의 표면으로부터 제1 깊이까지의 구조를 검사하는 제1 검사를 수행하는 검사 장치
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제12항에 있어서,상기 제1 검사 후, 상기 제2 팁, 및 상기 제3 팁을 순차적으로 선택하여 상기 샘플의 상기 제1 깊이에서 제2 깊이까지의 구조를 검사하는 제2 검사를 수행하는 검사 장치
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제13항에 있어서,상기 제2 검사를 반복적으로 수행하고, 상기 제1 검사 및 상기 제2 검사의 결과에 기초하여 상기 샘플의 표면으로부터 소정의 깊이까지의 구조를 획득하는 검사 장치
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제9항에 있어서,상기 복수의 팁들은 밀링 후 클리닝을 수행하는 제4 팁을 더 포함하는 검사 장치
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제15항에 있어서,상기 제1 팁을 선택하여 상기 샘플 표면의 정보를 획득하고, 상기 제2 팁, 상기 제4 팁, 및 상기 제3 팁을 순차적으로 선택하여 상기 샘플 내부의 구조를 검사하는 검사 장치
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샘플 스테이지의 상면에 샘플을 배치하는 단계;캔틸레버(cantilever)에 결합된 제1 팁을 이용하여 상기 샘플의 표면에 대한 선행 프로파일링(pre-profiling)을 수행하는 단계;상기 제1 팁과 다른 형태를 갖는 제2 팁을 상기 캔틸레버에 결합하고, 상기 제2 팁을 이용하여 상기 샘플에 대한 밀링(milling)을 수행하는 단계;상기 제1 팁 및 상기 제2 팁과 다른 형태를 갖는 제3 팁을 상기 캔틸레버에 결합하고, 상기 제3 팁을 이용하여 상기 샘플에 대한 프로파일링(profiling)을 수행하는 단계;소정의 깊이에서 상기 샘플에 대한 프로파일링을 수행할 때까지 상기 밀링 및 상기 프로파일링을 반복하여 수행하는 단계; 및상기 샘플의 표면에서 소정의 깊이까지의 구조를 획득하는 단계; 를 포함하고,상기 밀링을 수행하는 단계에서, 상기 제2 팁과 상기 샘플 사이의 거리 및 상기 제2 팁과 상기 샘플 사이에 작용하는 힘에 기초하여, 상기 샘플에 대한 밀링 깊이를 제어하는 검사 방법
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제17항에 있어서,상기 프로파일링의 결과에 기초하여 상기 샘플 스테이지 및 상기 제2 팁의 움직임을 제어함으로써 상기 샘플의 소정의 위치에서 선택적으로 밀링을 수행하는 검사 방법
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제17항에 있어서,상기 밀링이 복수 회 수행될 때, 상기 복수 회의 밀링 중 적어도 둘에서 서로 다른 깊이만큼 밀링이 수행되는 검사 방법
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제17항에 있어서,상기 제1 팁, 상기 제2 팁, 및 상기 제3 팁과 다른 형태를 갖는 제4 팁을 상기 캔틸레버에 결합하고, 상기 제4 팁을 이용하여 상기 샘플에 대한 클리닝(cleaning)을 수행하는 단계; 를 더 포함하는 검사 방법
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