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레이저의 입력위치를 감지하는 위치감지센서를 통해 회전하는 구동축의 X,Y,Z축 방향으로 각각 발생되는 위치 오차 및 X,Y,Z축에 대한 각오차를 측정하는 준정적 오차 측정장치에 있어서,
구동축의 상부면중심에 배치되며 레이저의 입력위치를 감지하는 제 1위치감지센서와;
상기 구동축의 상부측 연장선상으로 제 1위치감지센서와 일정간격 이격 배치되며 구동축과 고정결합되어 동반회전하고 입력되는 레이저를 직진방향과 수평방향으로 분광 출력시켜 상기 제 1위치감지센서가 직진방향의 레이저를 입력받도록 하는 제 1스플리터와;
제 1스플리터로부터 분광 출력되는 수평방향의 레이저를 입력받기 위해 제 1스플리터의 수평 분광방향에 일정간격 이격배치되며 구동축과 고정결합되어 동반회전하는 제 2위치감지센서와;
상기 구동축의 상부측 연장선상에 위치하되 제 1스플리터 상부로 이격배치되며 입력되는 레이저를 직진방향과 하부 수직방향으로 분광시키는 제 2스플리터와;
상기 제 2스플리터로부터 직진방향의 분광 레이저를 입력받아 상기 제 1위치감지센서로 반사시키는 리플렉터와;
제 2스플리터 및 리플렉터의 동일 배치선상에 위치하며 제 2스플리터를 기준으로 리플렉터의 대향위치에 배치되어 제 2스플리터로 레이저를 조사하는 레이저구동장치; 및
상기 제 2스플리터의 직진방향 또는 수직방향의 분광레이저를 선택적으로 차단하기 위한 차단판;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 회전구동축의 준정적 오차 측정장치
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제 1항에 있어서,
상기 준정적 오차 측정장치는 상기 차단판이 상기 제 2스플리터와 상기 리플렉터 사이에 위치하여 상기 제 2스플리터로부터 분광 출력되는 수평방향의 레이저를 차단함에 따라 제 2스플리터로부터 출력되는 수직방향의 레이저가 제 1스플리터를 통해 제 1위치감지센서와 제 2위치감지센서로 입력되는 제 1단계와, 상기 차단판이 상기 제 2스플리터와 상기 제 1스플리터 사이에 위치하여 상기 제 2스플리터로부터 분광 출력되는 수직방향의 레이저를 차단함에 따라 리플렉터를 통해 레이저가 제 1위치감지센서로 입력되는 제 2단계를 순차적으로 수행하여 측정하는 것을 특징으로 하는 회전구동축의 준정적 오차 측정장치
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제 2항에 있어서,
상기 준정적 오차 측정장치는 상기 제 1단계에서 제 1위치감지센서와 제 2위치감지센서에 측정된 레이저 입력위치 변화 데이터를 통해 각각 X축과 Y축 방향으로 발생되는 위치 오차를 획득하는 것을 특징으로 하는 회전구동축의 준정적 오차 측정장치
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제 2항에 있어서,
상기 준정적 오차 측정장치는 상기 제 2단계에서 제 1위치감지센서에 측정된 레이저 입력위치 변화 데이터를 통해 Z축 방향으로 발생되는 위치 오차를 획득하는 것을 특징으로 하는 회전구동축의 준정적 오차 측정장치
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제 2항에 있어서,
상기 준정적 오차 측정장치는 상기 제 1단계에서 측정된 제 1위치감지센서와 제 2위치감지센서 간의 레이저 입력위치 변화 데이터의 조합을 통해 X축 방향 및 Y축 방향에 대한 각오차를 획득하며, 제 1단계와 제 2단계를 통해 측정된 각각의 제 1위치감지센서의 레이저 입력위치 변화 데이터의 조합을 통해 Z축 방향에 대한 각오차를 획득하는 것을 특징으로 하는 회전구동축의 준정적 오차 측정장치
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제 3항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 준정적 오차 측정장치는 다음의 수식을 통해 X,Y,Z축 방향에 대한 위치 오차와, X,Y,Z축 방향에 대한 각오차를 획득하는 것을 특징으로 하는 회전구동축의 준정적 오차 측정장치
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