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나노채널이 집적된 3차원 금속 나노와이어 갭 전극을 포함하는 바이오센서, 그 제작방법 및 상기 바이오센서를 포함하는 바이오 디스크 시스템

  • 기술번호 : KST2014028234
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 나노채널이 집적된 3차원 금속 나노와이어 갭 전극을 포함하는 바이오센서, 그 제작방법 및 상기 바이오센서를 포함하는 바이오 디스크 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 상부 및 하부 기판 상에 금속 나노와이어를 형성하고 상기 금속 나노와이어를 이용하여 상·하부 기판을 정렬한 후 이들을 접착함으로써 3차원 금속 나노와이어 갭 전극을 포함하는 바이오센서를 제작하는 방법, 상기 방법에 의해 제작된 바이오센서 및 상기 바이오센서를 이용하여 바이오 물질을 검출하기 위한 바이오 디스크 시스템에 관한 것이다. 바이오센서, 금속 나노와이어, 나노채널, 수직형 갭 전극
Int. CL B82Y 35/00 (2011.01) G01N 35/00 (2011.01) G01N 33/48 (2011.01)
CPC
출원번호/일자 1020080009649 (2008.01.30)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0958307-0000 (2010.05.10)
공개번호/일자 10-2009-0083689 (2009.08.04) 문서열기
공고번호/일자 (20100519) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.01.30)
심사청구항수 18

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이병철 대한민국 서울 도봉구
2 문성욱 대한민국 경기 남양주시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인씨엔에스 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, 대림아크로텔 *층(도곡동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 양선진 충청남도 아산시 용화고
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.01.30 수리 (Accepted) 1-1-2008-0078901-52
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.09.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.10.13 수리 (Accepted) 9-1-2008-0063505-98
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.06.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0246659-29
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.08.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0483256-34
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.08.07 수리 (Accepted) 1-1-2009-0483257-80
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.11.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0483750-24
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.01.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0043936-99
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.01.22 수리 (Accepted) 1-1-2010-0043939-25
11 등록결정서
Decision to grant		 2010.05.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0186406-13
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하부 면에 복수의 금속 나노와이어가 형성되고, 바이오 물질이 포함된 샘플이 주입되는 주입구를 구비하는 상부기판부; 상부 면에 복수의 금속 나노와이어가 형성된 하부기판부; 및 상기 상부 및 하부 기판부가 이격되도록 지지하여 일정 간격의 나노채널을 형성하는 지지부를 포함하고, 상기 상부 및 하부 기판부에 형성된 금속 나노와이어가 3차원 금속 나노와이어 갭 전극을 형성하는 것을 특징으로 하는 바이오센서
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 상부 및 하부 기판부에 형성된 금속 나노와이어는 상기 바이오센서의 상부에서 투과하여 볼 때 상기 나노채널의 진행 방향과 수직을 이루도록 배열되는 것을 특징으로 바이오센서
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 바이오센서의 상부에서 투과하여 볼 때 상기 하부 기판부에 형성된 금속 나노와이어의 배열이 상기 상부 기판부에 형성된 금속 나노와이어의 배열과 겹치는 것을 특징으로 하는 바이오센서
4 4
제 2 항에 있어서, 상기 바이오센서의 상부에서 투과하여 볼 때 상기 상부 기판부에 형성된 금속 나노와이어 다음에 상기 하부 기판부에 형성된 금속 나노와이어가 교대로 배열되는 것을 특징으로 하는 바이오센서
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 상부 및 하부 기판부에 형성된 금속 나노와이어 중 어느 하나는 상기 바이오센서의 상부에서 투과하여 볼 때 상기 나노채널의 진행 방향과 수직을 이루도록 배열되고, 나머지 하나는 상기 나노채널과 수평으로 배열되는 것을 특징으로 하는 바이오센서
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 상부 기판부에 형성된 금속 나노와이어와 상기 하부 기판부에 형성된 금속 나노와이어는 상기 바이오센서의 상부에서 투과하여 볼 때 서로 임의의 각도를 형성하도록 배열되는 것을 특징으로 하는 바이오센서
7 7
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 상부 및 하부 기판부에 형성된 금속 나노와이어는 Ag, Cu, Au, Al, Pt 중 어느 하나, 혹은 이들 중 어느 하나를 포함하는 합금으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 바이오센서
8 8
하부 면에 금속 전극이 형성되고, 바이오 물질이 포함된 샘플이 주입되는 주입구를 구비하는 상부기판부; 상부 면에 금속 전극이 형성된 하부기판부; 및 상기 상부 및 하부 기판부가 이격되도록 지지하여 일정 간격의 나노채널을 형성하는 지지부를 포함하고, 상기 상부 및 하부 기판부에 형성된 금속 전극 중 어느 하나는 복수의 금속 나노와이어로 형성되며, 상기 상부 및 하부 기판부에 형성된 금속 전극이 3차원 금속 나노와이어 갭 전극을 형성하는 것을 특징으로 하는 바이오센서
9 9
제 8 항에 있어서, 상기 상부 및 하부 기판부에 형성된 금속 전극은 Ag, Cu, Au, Al, Pt 중 어느 하나, 혹은 이들 중 어느 하나를 포함하는 합금으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 바이오센서
10 10
(a) 하부기판의 상부 면에 금속 전극을 형성하는 단계; (b) 나노채널의 폭과 길이를 결정하기 위해 상부기판의 하부 면에 도포된 레지스트에 나노채널을 패터닝하는 단계; (c) 상기 (b)단계에서 형성된 패턴을 마스크로 이용하여 나노채널을 식각하는 단계; (d) 상기 (c)단계에서 형성된 나노채널상에 금속 전극을 형성하는 단계; (e) 상기 상부 및 하부 기판에 형성된 금속 전극을 이용하여 상기 상부 및 하부 기판을 정렬하는 단계; 및 (f) 상기 (e)단계에서 정렬된 상기 상부 및 하부 기판을 접착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오센서 제작방법
11 11
제 10 항에 있어서, 상기 상부 및 하부 기판에 형성하는 금속 전극 중 하나 이상은 복수의 금속 나노와이어로 구성하는 것을 특징으로 하는 바이오센서 제작방법
12 12
(a) 하부기판의 상부 면에 복수의 금속 나노와이어를 형성하는 단계; (b) 상부기판의 하부 면에 복수의 금속 나노와이어를 형성하는 단계; (c) 하부기판의 상부 면에 나노채널을 형성하기 위한 폴리머를 스핀코팅(spin-coating)하는 단계; (d) 나노채널의 폭과 길이를 결정하고 마스크 패턴을 이용하여 폴리머를 식각하는 단계; (e) 상기 상부 및 하부 기판에 형성된 금속 나노와이어를 이용하여 상기 상부 및 하부 기판을 정렬하는 단계; 및 (f) 상기 (e)단계에서 정렬된 상기 상부 및 하부 기판을 접착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오센서 제작방법
13 13
(a) 하부기판의 상부 면에 복수의 금속 나노와이어를 형성하는 단계; (b) 상부기판의 하부 면에 복수의 금속 나노와이어를 형성하는 단계; (c) 하부기판의 상부 면에 나노채널을 형성하기 위한 폴리머를 스핀코팅(spin-coating)하는 단계; (d) 상기 상부 및 하부 기판에 형성된 금속 나노와이어를 이용하여 상기 상부 및 하부 기판을 정렬하는 단계; (e) 상기 (d)단계에서 정렬된 상기 상부 및 하부 기판을 접착하는 단계; 및 (f) 나노채널의 폭과 길이를 결정하고 마스크 패턴을 이용한 감광을 통해 폴리머를 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오센서 제작방법
14 14
제 10 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 식각하는 단계는, 화학적인 습식식각, VPE(Vapor-Phase Etching), 플라즈마 에칭(Plasma Etching) 및 RIE(Reactive ion etching) 공정 중 어느 하나의 공정에 의해 행해지는 것을 특징으로 하는 바이오센서 제작방법
15 15
제 10 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 상부 및 하부 기판을 접착하는 단계는, 양극 본딩(anodic bonding), 융합 본딩(fusion bonding), 폴리머를 이용한 본딩(bonding) 및 SAM(Self Assembled Monolayer)을 이용한 본딩 중 어느 하나의 공정에 의해 행해지는 것을 특징으로 하는 바이오센서 제작방법
16 16
제 10 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 상부 및 하부 기판에 형성된 금속 나노와이어 사이, 또는 금속 전극 사이에 형성되는 갭의 거리는 상기 나노채널의 깊이 및 상기 금속 나노와이어 또는 상기 금속 전극의 증착 두께를 조절함으로써 상이하게 형성되는 것을 특징으로 하는 바이오센서 제작방법
17 17
제 1 항 또는 제 8 항에 의한 바이오센서를 이용하여 주입되는 샘플로부터 바이오 물질을 검출하는 바이오 디스크 시스템
18 18
제 17 항에 있어서, 상기 바이오센서는 CD-ROM, DVD, 바이오 CD 또는 바이오 DVD와 같은 박막 형태의 디스크형 몸체에 배치되는 것을 특징으로 하는 바이오 디스크 시스템
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1 CN101571535 CN 중국 FAMILY
2 EP02088430 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
3 JP04932860 JP 일본 FAMILY
4 JP21180726 JP 일본 FAMILY
5 US20090188784 US 미국 FAMILY

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1 CN101571535 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 EP2088430 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
3 JP2009180726 JP 일본 DOCDBFAMILY
4 JP4932860 JP 일본 DOCDBFAMILY
5 US2009188784 US 미국 DOCDBFAMILY
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