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아연산화물의 습식식각방법

  • 기술번호 : KST2014037709
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 아연산화물의 습식식각방법에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 소정의 반응조건하에 있는 반응기에 산성의 식각액을 주입하여 아연산화물을 식각하는 방법에 관한 것이다. 본 발명에서 사용되는 식각액은 인산 및/또는 황산과 물의 혼합물임을 특징으로 하며, 상기의 혼합물에 염산이 추가로 포함될 수 있다. 본 발명에 의하여 식각된 아연산화물은 이방성 특성이 증가하고, 표면의 평탄도가 향상되며, 또한 사용목적에 적합하게끔 식각율을 조절할 수 있게 된다. 습식식각, 인산, 황산, 염산, 아연산화물
Int. CL H01L 21/306 (2006.01)
CPC H01L 21/32134(2013.01)
출원번호/일자 1020050071208 (2005.08.04)
출원인 순천대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0730038-0000 (2007.06.13)
공개번호/일자 10-2007-0016490 (2007.02.08) 문서열기
공고번호/일자 (20070620) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 발송처리완료
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.08.04)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 순천대학교 산학협력단 대한민국 전라남도 순천시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이지면 대한민국 전남 순천시
2 김병일 대한민국 전남 순천시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이동희 대한민국 서울특별시 송파구 송파대로 ***, *층 (송파동, 옥명빌딩)(플랜국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 순천대학교 산학협력단 대한민국 전라남도 순천시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.08.04 수리 (Accepted) 1-1-2005-0430461-18
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2006.06.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.07.12 수리 (Accepted) 9-1-2006-0047890-06
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.08.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0510352-86
5 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2006.10.30 수리 (Accepted) 1-1-2006-0789120-18
6 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2006.11.27 수리 (Accepted) 1-1-2006-0874169-16
7 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2006.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2006-0982166-35
8 복대리인해임신고서
Report on Dismissal of Sub-agent
2006.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2006-0982089-17
9 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2007.01.29 수리 (Accepted) 1-1-2007-0083965-46
10 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2007.02.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0173684-55
11 의견서
Written Opinion
2007.02.28 수리 (Accepted) 1-1-2007-0173602-22
12 등록결정서
Decision to grant
2007.06.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0321843-48
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2008-5028130-37
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.06.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5115813-66
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2013-5083728-15
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.18 수리 (Accepted) 4-1-2014-5021788-47
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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200℃ 이하의 온도와 1,000RPM 이하의 조건 하에 있는 반응기 내의 서셉터 상에 아연산화물이 증착된 기판을 안착시키고, 인산, 황산 중에서 선택되는 하나 이상의 성분과 물의 혼합물로 이루어지며, 상기 인산, 황산 중에서 선택되는 하나 이상의 성분과 물의 부피비가 1 : 10 내지 1,000으로 이루어지는 혼합물을 주입하여 상기 아연산화물을 식각하는 것을 특징으로 하는 아연산화물의 습식식각방법
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제1항에 있어서, 상기 인산, 황산 중에서 선택되는 하나 이상의 성분과 물의 혼합물에 염산이 추가로 혼합되며, 상기 인산, 황산 중에서 선택되는 하나 이상의 성분과 염산, 물의 부피비가 1 : 0
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5 5
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.