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하나 이상의 절연 기둥을 구비하고 진공 상태에서 X-선을 방출시키는 엑스레이 소스;상기 방출된 X-선을 인가 받아 결 맞는(coherent) X-선을 생성하고, 위상차를 형성하여 내측에 위치한 피검체를 투과한 X-선을 전달하는 회절 격자들; 및상기 전달되는 X-선을 인가 받아 전기신호로 변환하여 디지털 영상정보로 전송하는 엑스레이 디텍터; 를 구비하고, 상기 회절 격자들은 상기 방출된 X-선을 인가 받아 상기 결 맞는 X-선을 생성하는 흡수 격자;상기 결 맞는 X-선을 인가 받아 상기 위상차를 형성하여 광 간섭을 발생시키는 위상 격자; 및상기 광 간섭이 발생되어 상기 피검체를 투과한 X-선을 인가 받아 격자 간 간격에 따라 나타나는 무늬에 따라 상기 피검체의 내부 구조를 검출하는 상기 X-선을 전달하는 검광자 격자;인 것을 특징으로 하는, 회절 격자 기반의 엑스레이 장치
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제1항에 있어서, 상기 위상 격자는 회절조건에 만족하는 동일 위상의 X-선을 중첩시켜 전파하여 휘도가 증가된 X-선을 발생시키는 것을 특징으로 하는, 회절 격자 기반의 엑스레이 장치
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제1항에 있어서, 상기 위상 격자에는 다층박막이 증착되어 반사율이 증가된 격자 면이 형성됨으로써 회절이득이 증가되는 것을 특징으로 하는, 회절 격자 기반의 엑스레이 장치
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제1항에 있어서, 상기 피검체를 투과한 X-선의 위상차는 상기 회절 격자들의 위상 변화값이 발생되어 형성되고, 상기 피검체를 투과한 X-선의 에너지 세기는상기 회절 격자들의 흡수 계수가 변화되어 조절되는 것을 특징으로 하는, 회절 격자 기반의 엑스레이 장치
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제5항에 있어서, 상기 위상 변화값은 상기 회절 격자들 간의 거리(d1, d2) 및 상기 회절 격자들 각각의 피치(P1, P2, P3) 중 어느 하나 이상을 조절하여 변화되는 것을 특징으로 하는, 회절 격자 기반의 엑스레이 장치
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제5항에 있어서, 상기 흡수 계수는 상기 회절 격자들 각각의 흡수부의 두께 및 구성 성분 중 어느 하나 이상 에 따라 조절되는 것을 특징으로 하는, 회절 격자 기반의 엑스레이 장치
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제1항에 있어서, 상기 엑스레이 소스는 하나 또는 2개 이상의 단위 엑스레이 소스 또는 겐트리 엑스레이 소스인 것을 특징으로 하는, 회절 격자 기반의 엑스레이 장치
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제1항에 있어서, 상기 엑스레이 소스는, 캐소드 전극; 상기 캐소드 전극 상에 형성되는 에미터;상기 에미터 상측에 위치하는 애노드 전극;상기 에미터와 상기 애노드 전극 사이에 위치하는 게이트 전극; 및상기 에미터와 상기 애노드 전극 사이에 위치하는 포커싱 전극;을 포함하고, 상기 캐소드 전극에는 상기 게이트 전극 및 상기 포커싱 전극의 위치를 조절할 수 있는 하나 이상의 절연 기둥이 제공되는 것을 특징으로 하는, 회절 격자 기반의 엑스레이 장치
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제9항에 있어서, 상기 게이트 전극 및 상기 포커싱 전극은 상기 하나 이상의 절연 기둥이 관통될 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는, 회절 격자 기반의 엑스레이 장치
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제9항에 있어서, 상기 에미터는 점광원 형태 및 면광원 형태 중 어느 하나 이상의 형태인 것을 특징으로 하는, 회절 격자 기반의 엑스레이 장치
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제9항에 있어서, 상기 하나 이상의 절연 기둥은 그 내부가 중공형 또는 꽉 찬 기둥 형태로 형성되며, 그리고 상기 하나 이상의 절연 기둥이 중공형일 경우, 상기 하나 이상의 절연 기둥의 내부에는 외부 전원과 연결된 전선이 위치하는 것을 특징으로 하는, 회절 격자 기반의 엑스레이 장치
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제12항에 있어서, 상기 하나 이상의 절연 기둥 각각에는 하나 이상의 제1홀이 제공되며,상기 게이트 전극 및 상기 포커싱 전극 각각에는 하나 이상의 제2홀이 제공되며,상기 제2홀 및 상기 제1홀을 관통하여 상기 전선에 접촉하는 전원 연결 부재를 통하여, 상기 외부 전원으로부터 상기 게이트 전극 및 상기 포커싱 전극 각각에 전원이 인가되는 것을 특징으로 하는, 회절 격자 기반의 엑스레이 장치
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제9항에 있어서, 상기 하나 이상의 절연 기둥은 세라믹, 석영, 유리, 테프론, 폴리머 및 이의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나의 재료로 구성되는 것을 특징으로 하는, 회절 격자 기반의 엑스레이 장치
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제9항에 있어서, 상기 게이트 전극 및 상기 포커싱 전극 각각의 고정 위치를 상기 하나 이상의 절연 기둥을 통하여 조절함으로써, 상기 에미터로부터 방출되는 전자의 궤적을 제어하는 것을 특징으로 하는, 회절 격자 기반의 엑스레이 장치
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제1항에 있어서, 상기 회절 격자 기반의 엑스레이 장치는 상기 엑스레이 소스의 일측면이 부착되고 내부를 진공 상태로 유지시키는 메인 진공 챔버; 를 더 구비하는 것을 특징으로 하는, 회절 격자 기반의 엑스레이 장치
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