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분자선 에피택시 장치용 기판 홀더

  • 기술번호 : KST2015145735
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 화합물 반도체의 성장 기능을 갖는 분자선 에피택시 장치의 기판 홀더에 관한 것으로, 상하로 개구된 관 형상을 이루고, 내면에는 에피택시의 대상 기판(D)을 수평하게 안착하기 위해 둘레를 따라 턱(11)이 형성되며, 턱(11)의 상면에는 기판(D)을 턱(11)으로부터 이격시키기 위한 다수의 지지돌기(12)가 임의 간격으로 돌출 형성되면서, 순수 몰리브덴 또는 몰리브덴 합금으로 제작되는 것이다.
Int. CL H01L 21/683 (2006.01) H01L 21/20 (2006.01)
CPC C23C 14/50(2013.01) C23C 14/50(2013.01)
출원번호/일자 1020100066862 (2010.07.12)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자 10-1185923-0000 (2012.09.19)
공개번호/일자 10-2012-0006237 (2012.01.18) 문서열기
공고번호/일자 (20120925) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.07.12)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 하민우 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 노정현 대한민국 경기도 성남시 분당구
3 한철구 대한민국 경기도 성남시 분당구
4 이준호 대한민국 서울특별시 강서구
5 최홍구 대한민국 경기도 하남시 덕풍북로 ***,
6 송홍주 대한민국 경기도 수원시 팔달구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이상문 대한민국 서울시 강남구 역삼로 *** 남경빌딩 ***호(삼오국제특허법률사무소)
2 박천도 대한민국 서울시 강남구 역삼로 *** 남경빌딩 ***호(삼오국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전자부품연구원 경기도 성남시 분당구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.07.12 수리 (Accepted) 1-1-2010-0447586-76
2 직권정정안내서
Notification of Ex officio Correction
2010.07.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2010-0062373-77
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2010.08.02 수리 (Accepted) 1-1-2010-0498485-47
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.01.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0011528-06
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.03.05 수리 (Accepted) 1-1-2012-0176733-82
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.03.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0176679-14
7 등록결정서
Decision to grant
2012.08.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0490987-95
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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상하로 개구된 관 형상을 이루고, 내면에는 에피택시의 대상 기판(D)을 수평하게 안착하기 위해 둘레를 따라 턱(11)이 형성되며, 턱(11)의 상면에는 기판(D)을 턱(11)으로부터 이격시키기 위한 다수의 지지돌기(12)가 임의 간격으로 돌출 형성되면서, 순수 몰리브덴 또는 몰리브덴 합금으로 제작되되, 상기 내면 상부는 그루브(13)가 절삭 형성되어 계단 형태를 이루는 것을 특징으로 하는 분자선 에피택시 장치용 기판 홀더
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 전자부품연구원(세부주관) 전력산업연구개발사업 계통연계형 인버터 시스템을 위한 고효율 GaN 전력소자 기반기술개발