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1
기판,
상기 기판 위에 형성되어 있으며 표면에 요철부를 가지는 제1 박막,
상기 제1 박막 위에 형성되어 있으며 상기 요철부를 평탄화하는 제2 박막,
상기 제2 박막 위에 형성되어 있는 제1 전극,
상기 제1 전극 위에 형성되어 있는 발광 부재, 그리고
상기 제1 전극 위에 형성되어 있는 제2 전극
을 포함하는 유기 발광 표시 장치
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2
제1항에서,
상기 제1 박막과 상기 제2 박막은 굴절률이 다른 유기 발광 표시 장치
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3
제2항에서,
상기 제1 박막 및 상기 제2 박막의 굴절률은 각각 1
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4
제3항에서,
상기 제1 박막과 상기 제2 박막의 굴절률 차이는 적어도 0
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5
제2항에서,
상기 제1 박막의 굴절률은 1
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6
제2항에서,
상기 제1 박막의 굴절률은 1
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7
제2항에서,
상기 제1 박막은 산화규소, 질화규소, 폴리아크릴, 폴리이미드 또는 이들의 조합을 포함하고,
상기 제2 박막은 질화규소, 산화알루미늄 또는 이들의 조합을 포함하는
유기 발광 표시 장치
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8
제1항에서,
상기 요철부는 불규칙하게 분포되어 있는 유기 발광 표시 장치
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9
기판 위에 요철부를 가진 제1 박막을 형성하는 단계,
상기 제1 박막 위에 상기 요철부를 평탄화하는 제2 박막을 형성하는 단계,
상기 제2 박막 위에 제1 전극을 형성하는 단계,
상기 제1 전극 위에 발광 부재를 형성하는 단계, 그리고
상기 발광 부재 위에 제2 전극을 형성하는 단계
를 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
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10
제9항에서,
상기 요철부를 가진 제1 박막을 형성하는 단계는
제1 박막을 적층하는 단계,
상기 제1 박막 위에 제1 크기의 유기 미립자를 포함하는 분산액을 도포하는 단계,
상기 분산액을 건조하는 단계,
상기 유기 미립자를 식각하여 상기 제1 크기보다 작은 제2 크기의 유기 미립자를 형성하는 단계, 그리고
상기 제2 크기의 유기 미립자를 마스크로 하여 상기 제1 박막을 식각하는 단계
를 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
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11
제10항에서,
상기 유기 미립자는 구(sphere) 모양을 가지는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
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12
제10항에서,
상기 유기 미립자는 폴리스티렌(polystyrene)을 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
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13
제10항에서,
상기 유기 미립자를 식각하는 단계는 플라스마를 사용하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
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14
제10항에서,
상기 제1 박막을 식각하는 단계는 반응성 이온 식각으로 수행하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
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15
제9항에서,
상기 요철부를 가진 제1 박막을 형성하는 단계는
유기 물질을 포함하는 제1 박막을 적층하는 단계, 그리고
상기 제1 박막의 표면을 플라스마 처리하는 단계
를 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
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16
제15항에서,
상기 제1 박막을 적층하는 단계 후에 상기 제1 박막 위에 금속 클러스터를 적용하는 단계를 더 포함하고,
상기 제1 박막의 표면을 플라스마 처리하는 단계는 상기 금속 클러스터를 마스크로 하여 수행하는
유기 발광 표시 장치의 제조 방법
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