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회로의 기준 영상 및 검사 영상을 획득하여, 상기 검사 영상의 히스토그램(histogram) 극치를 보정하는 히스토그램 보정 단계(S100);히스토그램 극치를 보정한 상기 검사 영상의 공간 위치를 보정하여 상기 기준 영상과 공간 위치를 일치시키는 공간 위치 보정 단계(S200);획득한 상기 기준 영상을 이진화하고, 이진화한 상기 기준 영상과 공간 위치를 일치시킨 상기 검사 영상과의 차영상을 구하는 차영상 획득 단계(S300);상기 차영상에서 가장 큰 왜곡을 갖는 화소 위치를 기준으로 침식(erosion) 연산과 팽창(dilation) 연산을 적용하여 상기 검사 영상의 이물 영역을 추출하는 이물 영역 추출 단계(S400); 및상기 검사 영상의 이물 영역을 이용하여 특성 파라미터를 추출하고, 상기 회로의 불량을 판단하는 불량 검출 단계(S500);를 포함하여 이루어지며,상기 불량 검출 단계(S500)는추출한 상기 특성 파라미터인 상기 이물 영역 중에서 가장 큰 왜곡을 갖는 상기 이물 영역에서의 화소 위치의 최소 밝기 값(Lmin) 및 상기 최소 밝기 값에 대한 문턱치 값(Tmin)을 이용하여,상기 최소 밝기 값이 상기 문턱치 값보다 작을 경우, 상기 회로를 개방에 의한 불량으로 판단하는 것을 특징으로 하는 영상 정보를 이용한 회로의 불량 검출 방법
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제 1항에 있어서,상기 불량 검출 단계(S500)의 상기 특성 파라미터는이물의 개수(N), 이물의 넓이(S), 이물의 반지름(r), 이물의 폭(W), 상기 이물 영역 중에서 가장 큰 왜곡을 갖는 상기 이물 영역에서의 화소 위치의 최소 밝기 값(Lmin), 상기 이물 영역의 평균 밝기 값(Lavg), 상기 이물 영역의 밝기 값에 대한 표준 편차 값(Lstd), 상기 이물 영역 중에서 가장 큰 왜곡을 갖는 상기 이물 영역에서의 화소 위치에 대응되는 상기 기준 영상에서의 화소 위치의 평균 밝기 값(Lref)중 적어도 하나 이상인 것을 특징으로 하는 영상 정보를 이용한 회로의 불량 검출 방법
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제 2항에 있어서,상기 불량 검출 단계(S500)는추출한 상기 특성 파라미터인 상기 이물의 반지름(r) 및 상기 이물의 폭(W)을 이용하여,2r 003e# W/3일 경우, 상기 회로를 근사 개방에 의한 불량으로 판단하는 것을 특징으로 하는 영상 정보를 이용한 회로의 불량 검출 방법
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제 2항에 있어서,상기 불량 검출 단계(S500)는추출한 상기 특성 파라미터인 상기 이물 영역의 평균 밝기 값(Lavg), 상기 이물 영역의 밝기 값에 대한 표준 편차 값(Lstd), 상기 이물 영역의 평균 밝기 값의 차이 값에 대한 문턱치 값(Tavg), 상기 이물 영역의 표준 편차 값의 차이 값에 대한 문턱치 값(Tstd) 및 상기 기준 영상에서의 화소 위치의 평균 밝기 값(Lref)을 이용하여,Lref - Lavg 003e# Tavg 이고,Lstd 003c# Tstd일 경우, 상기 회로를 불량으로 판단하는 것을 특징으로 하는 영상 정보를 이용한 회로의 불량 검출 방법
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획득한 회로의 검사 영상의 히스토그램(histogram) 극치를 보정하는 히스토그램 보정부(100);상기 히스토그램 보정부(100)에서 히스토그램을 보정한 상기 검사 영상의 공간 위치를 보정하여, 획득한 회로의 기준 영상과 공간 위치를 일치시키는 공간 위치 보정부(200);상기 공간 위치 보정부(200)에서 공간 위치를 보정한 상기 검사 영상과, 이진화한 상기 기준 영상과의 차영상을 구하는 차영상 획득부(300);상기 차영상 획득부(300)에서 구한 상기 차영상에서 가장 큰 왜곡을 갖는 화소 위치를 기준으로 침식(erosion) 연산과 팽창(dilation) 연산을 적용하여, 상기 검사 영상의 이물 영역을 추출하는 이물 영역 추출부(400); 및상기 이물 영역 추출부(400)에서 추출한 상기 검사 영상의 이물 영역을 이용하여 특성 파라미터를 추출하고, 상기 특성 파라미터를 이용하여 상기 회로의 불량을 판단하는 불량 검출부(500);를 포함하여 구성되며,상기 불량 검출부(500)는추출한 특성 파라미터인 상기 이물 영역 중에서 가장 큰 왜곡을 갖는 상기 이물 영역에서의 화소 위치의 최소 밝기 값(Lmin) 및 상기 최소 밝기 값에 대한 문턱치 값(Tmin)을 이용하여,상기 최소 밝기 값이 상기 문턱치 값보다 작을 경우, 상기 회로를 개방에 의한 불량으로 판단하는 것을 특징으로 하는 영상 정보를 이용한 회로의 불량 검출 제어 시스템
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제 6항에 있어서,상기 불량 검출부(500)의 특성 파라미터는이물의 개수(N), 이물의 넓이(S), 이물의 반지름(r), 이물의 폭(W), 상기 이물 영역 중에서 가장 큰 왜곡을 갖는 상기 이물 영역에서의 화소 위치의 최소 밝기 값(Lmin), 상기 이물 영역의 평균 밝기 값(Lavg), 상기 이물 영역의 밝기 값에 대한 표준 편차 값(Lstd), 상기 이물 영역 중에서 가장 큰 왜곡을 갖는 상기 이물 영역에서의 화소 위치에 대응되는 상기 기준 영상에서의 화소 위치의 평균 밝기 값(Lref)중 적어도 하나 이상인 것을 특징으로 하는 영상 정보를 이용한 회로의 불량 검출 제어 시스템
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