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이송중인 반도체의 리드 프레임 도금 선폭을 실시간으로 측정하고 검사하는 장치에 있어서,상기 반도체 리드 프레임의 도금면(460)에 조명(440, 450)을 조사하는 조명 시스템(400)과,상기 반도체 리드 프레임 도금 선폭을 촬상하는 카메라(500)와,상기 카메라(500)로부터 들어온 영상 신호를 컴퓨터로 처리할 수 있는 형태로 변환하는 프레임 그래버(frame grabber, 200)와,상기 프레임 그래버(frame grabber, 200)를 제어하며 프레임 그래버(frame grabber, 200)가 변환한 디지털 영상을 이용하여 제품을 검사하는 PC, 및상기 반도체 리드 프레임의 도금 선폭 측정시 반도체 리드 프레임의 진동을 방지하는 우레탄에 특수 코팅 처리된 롤러 또는 실리콘 롤러 중 어느 하나가 부착된 지그를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 리드 프레임 도금 선폭 측정 검사장치
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청구항 1에 있어서,상기 조명 시스템(400)은,내부에 홀이 형성되며 상기 홀 내부에서 상기 카메라(500)와 조명을 고정시키는 고정수단(420)과,상기 고정수단(420)의 내부에 설치되는 흰색의 확산판(430)과,상기 확산판(430)의 양측면에 설치되는 LED 조명을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 리드 프레임 도금 선폭 측정 검사장치
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청구항 2에 있어서,상기 고정수단(420)의 외부는 흑색 차단막으로 둘러싸인 것을 특징으로 하는 반도체 리드 프레임 도금 선폭 측정 검사장치
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청구항 1에 있어서,상기 카메라(500)는 이송중인 반도체가 조명시스템(400)에 도달시 50㎲(microsecond) 이상 100㎲(microsecond) 이하에서 반도체 리드 프레임 도금 선폭을 촬상하는 것을 특징으로 하는 반도체 리드 프레임 도금 선폭 측정 검사장치
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청구항 1에 있어서,상기 프레임 그래버(frame grabber, 200)와 카메라(500)의 동작시 위상차는 30μs인 것을 특징으로 하는 반도체 리드 프레임 도금 선폭 측정 검사장치
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청구항 1에 있어서,상기 PC에서 반도체 리드 프레임 도금 선폭 측정 검사는 캘리브레이션(calibration) 프로그램을 이용하여 하는 것을 특징으로 하는 반도체 리드 프레임 도금 선폭 측정 검사장치
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반도체의 리드 프레임 도금 선폭을 측정하고 검사하는 장치에서 카메라의 캘리브레이션(calibration) 방법에 있어서,카메라(500)에서 촬상된 이미지가 PC의 캘리브레이션(calibration) 프로그램에서 실행되는 단계;상기 캘리브레이션(calibration) 프로그램에서 카메라 파라메타(parameter) 파일이 실행 되는 단계;상기 카메라 파라메타(parameter)가 실행된 후 캘리브레이션(calibration) 파일이 실행되는 단계;상기 캘리브레이션(calibration) 파일이 캘리브레이션(calibration) Point를 조절하는 단계;상기 캘리브레이션(calibration) Point를 조절 후 ROI(Region of Interest)를 설정하는 단계;상기 ROI 설정 후 캘리브레이션(calibration)이 실행되는 단계를 포함하는 반도체 리드 프레임 도금 선폭 측정 검사장치에서 카메라의 캘리브레이션(calibration) 방법
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반도체 리드 프레임 도금 선폭 측정 검사장치에서 반도체 리드 프레임 도금 선폭을 측정하고 검사하는 방법에 있어서,PC에 입력된 명령에 따라 프레임 그레버(fram grabber)가 동작하는 단계와;상기 프레임 그레버(frame grabber)가 스트로보스코프(Stroboscope)와 카메라를 동시에 동작시키는 단계와;상기 스트로보스코프(Stroboscope)가 조명시스템의 조명을 켜는 단계와;상기 카메라가 반도체 리드 프레임 도금 선폭을 촬상하는 단계와;상기 촬상된 반도체 리드 프레임 도금 선폭이 PC로 전달되는 단계와;상기 PC에서 반도체 리드 프레임 도금 선폭 측정을 검사하는 단계를 포함하는 반도체 리드 프레임 도금 선폭 측정 검사방법
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청구항 8에 있어서,상기 PC에서 반도체 리드 프레임 도금 선폭 측정 검사는 캘리브레이션(calibration) 프로그램을 이용하여 하는 것을 특징으로 하는 반도체 리드 프레임 도금 선폭 측정 검사방법
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청구항 8에 있어서,상기 조명 시스템은,내부에 홀이 형성되며 상기 홀 내부에서 상기 카메라와 조명을 고정시키는 고정수단과,상기 고정수단의 내부에 설치되는 흰색의 확산판과,상기 확산판의 양측면에 설치되는 LED 조명을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 리드 프레임 도금 선폭 측정 검사방법
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청구항 10에 있어서,상기 고정수단의 외부는 흑색 차단막으로 둘러싸인 것을 특징으로 하는 반도체 리드 프레임 도금 선폭 측정 검사방법
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청구항 8에 있어서,상기 카메라는 이송중인 반도체가 조명시스템에 도달시 50㎲(microsecond) 이상 100㎲(microsecond) 이하에서 반도체 리드 프레임 도금 선폭을 촬상하는 것을 특징으로 하는 반도체 리드 프레임 도금 선폭 측정 검사방법
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청구항 8에 있어서,상기 카메라가 반도체 리드 프레임 도금 선폭을 촬상시 반도체 리드 프레임은 우레탄에 특수 코팅 처리된 롤러 또는 실리콘 롤러중 어느 하나가 부착된 지그에 의해 고정되는 것을 특징으로 하는 반도체 리드 프레임 도금 선폭 측정 검사방법
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